Purškimo technologijos ir purškimo taikinio skirtumai bei jų pritaikymas

Visi žinome, kad purškimas yra viena iš pagrindinių plėvelės medžiagų paruošimo technologijų. Jis naudoja jonų šaltinio pagamintus jonus, kad pagreitintų agregaciją vakuume, kad susidarytų didelės spartos jonų pluoštas, bombarduotų kietą paviršių, o jonai keičiasi kinetine energija su kieto paviršiaus atomais, kad kietosios medžiagos atomai. paviršius palieka kietą medžiagą ir nusėda ant pagrindo paviršiaus. Bombarduota kieta medžiaga yra žaliava plėvelės nusodinimui purškiant, kuris vadinamas purškiančiu taikiniu.

Įvairių tipų purškiamos plėvelės buvo plačiai naudojamos puslaidininkių integriniuose grandynuose, įrašymo laikmenose, plokščiuose ekranuose, įrankių ir štampų paviršiaus dangose ​​ir pan.

Purškimo taikiniai daugiausia naudojami elektronikos ir informacijos pramonėje, pvz., integriniuose grandynuose, informacijos saugykloje, skystųjų kristalų ekranuose, lazerinėse atmintinėse, elektroninėje valdymo įrangoje ir kt. Jis taip pat gali būti naudojamas stiklo dengimo srityje; Jis taip pat gali būti naudojamas dilimui atspariose medžiagose, atsparumo korozijai aukštoje temperatūroje, aukščiausios klasės dekoratyviniuose gaminiuose ir kitose pramonės šakose.

Yra daugybė purškiančių taikinių rūšių ir yra skirtingi taikinių klasifikavimo metodai:

Pagal sudėtį jis gali būti suskirstytas į metalo taikinį, lydinio taikinį ir keraminio junginio taikinį.

Pagal formą jį galima suskirstyti į ilgą taikinį, kvadratinį taikinį ir apvalų taikinį.

Jis gali būti suskirstytas į mikroelektroninį taikinį, magnetinio įrašymo taikinį, optinio disko taikinį, tauriųjų metalų taikinį, plėvelės atsparumo taikinį, laidžios plėvelės taikinį, paviršiaus modifikavimo taikinį, kaukės taikinį, dekoratyvinio sluoksnio taikinį, elektrodo taikinį ir kitus taikinius pagal taikymo sritį.

Pagal skirtingas programas jis gali būti suskirstytas į puslaidininkinius keraminius taikinius, įrašymo terpės keraminius taikinius, ekrano keraminius taikinius, superlaidžius keraminius taikinius ir milžiniškus magnetinio atsparumo keraminius taikinius.