1. Magnetroninio purškimo metodas:
Magnetroninis purškimas gali būti suskirstytas į nuolatinės srovės, vidutinio dažnio ir RF dulkinimą.
A. Nuolatinės srovės purškimo maitinimo šaltinis yra pigus, o nusodintos plėvelės tankis yra prastas. Paprastai buitinės fototerminės ir plonasluoksnės baterijos naudojamos su mažai energijos, o purškimo taikinys yra laidus metalinis taikinys.
B. RD purškimo energija yra didelė, o purškimo taikinys gali būti nelaidus arba laidus taikinys.
C. Vidutinio dažnio purškimo taikinys gali būti keraminis arba metalinis taikinys.
2. Purškimo taikinių klasifikavimas ir taikymas
Yra daugybė purškiančių taikinių, o taikinių klasifikavimo metodai taip pat skiriasi. Pagal formą jie skirstomi į ilgą taikinį, kvadratinį taikinį ir apvalų taikinį; Pagal sudėtį jis gali būti suskirstytas į metalo taikinį, lydinio taikinį ir keraminio junginio taikinį; Pagal skirtingas taikymo sritis, jis gali būti suskirstytas į puslaidininkinius keraminius taikinius, įrašymo terpės keraminius taikinius, ekrano keraminius taikinius ir kt. Purškimo taikiniai daugiausia naudojami elektronikos ir informacijos pramonėje, pavyzdžiui, informacijos saugojimo pramonėje. Šioje pramonės šakoje purškimo taikiniai naudojami atitinkamiems plonasluoksniams gaminiams (kietajam diskui, magnetinei galvutei, optiniam diskui ir kt.) paruošti. Šiuo metu. Nuolat tobulėjant informacijos pramonei, įrašymo terpės keramikos taikinių paklausa rinkoje didėja. Įrašų laikmenų taikinių tyrimams ir gamybai buvo skiriamas didelis dėmesys.
Paskelbimo laikas: 2022-05-11