„Rich Special Material Co., Ltd.“ puslaidininkių pramonei gali gaminti didelio grynumo aliuminio purškimo taikinius, vario purškimo taikinius, tantalo purškimo taikinius, titano purškimo taikinius ir kt.
Puslaidininkiniai lustai kelia aukštus techninius reikalavimus ir aukštas purškimo taikinių kainas. Jų reikalavimai purškiamų taikinių grynumui ir technologijai yra didesni nei plokščiųjų ekranų, saulės elementų ir kitų programų. Puslaidininkiniai lustai nustato itin griežtus purškimo taikinių grynumo ir vidinės mikrostruktūros standartus. Jei purškimo objekto priemaišų kiekis yra per didelis, susidariusi plėvelė negali atitikti reikiamų elektrinių savybių. Purškimo procese ant plokštelės nesunku susidaryti dalelių, dėl kurių įvyksta trumpasis jungimas arba grandinės pažeidimai, o tai labai paveikia plėvelės veikimą. Paprastai kalbant, lustų gamybai reikalingas aukščiausio grynumo purškimo tikslas, kuris paprastai yra 99,9995 % (5N5) arba didesnis.
Purškimo taikiniai naudojami barjeriniams sluoksniams gaminti ir metalinių laidų sluoksniams pakuoti. Plokščių gamybos procese taikinys daugiausia naudojamas laidžiam plokštelės sluoksniui, barjeriniam sluoksniui ir metaliniam tinkleliui gaminti. Drožlių pakavimo procese purškimo taikinys naudojamas metalo sluoksniams, laidų sluoksniams ir kitoms metalinėms medžiagoms po iškilimais generuoti. Nors vaflių gamyboje ir drožlių pakavimui naudojamų tikslinių medžiagų kiekis yra nedidelis, pagal SEMI statistiką tikslinių medžiagų kaina plokštelių gamybos ir pakavimo procese sudaro apie 3 proc. Tačiau purškimo taikinio kokybė tiesiogiai veikia laidžiojo sluoksnio ir barjerinio sluoksnio vienodumą ir veikimą, taip paveikdama perdavimo greitį ir lusto stabilumą. Todėl purškimo taikinys yra viena iš pagrindinių puslaidininkių gamybos žaliavų
Paskelbimo laikas: 2022-11-16