ເປົ້າ​ຫມາຍ sputtering ແມ່ນ​ຫຍັງ​? ເປັນຫຍັງເປົ້າໝາຍຈຶ່ງສຳຄັນຫຼາຍ?

ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ມັກຈະເຫັນຄໍາສັບສໍາລັບວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍ, ເຊິ່ງສາມາດແບ່ງອອກເປັນວັດສະດຸ wafer ແລະວັດສະດຸຫຸ້ມຫໍ່. ອຸ​ປະ​ກອນ​ການ​ຫຸ້ມ​ຫໍ່​ມີ​ອຸ​ປະ​ສັກ​ດ້ານ​ວິ​ຊາ​ການ​ຂ້ອນ​ຂ້າງ​ຕ​່​ໍ​າ​ເມື່ອ​ທຽບ​ໃສ່​ກັບ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ການ​ຜະ​ລິດ wafer​. ຂະບວນການຜະລິດຂອງ wafers ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍ 7 ປະເພດຂອງວັດສະດຸ semiconductor ແລະສານເຄມີ, ລວມທັງຫນຶ່ງປະເພດຂອງອຸປະກອນເປົ້າຫມາຍ sputtering. ດັ່ງນັ້ນອຸປະກອນເປົ້າຫມາຍແມ່ນຫຍັງ? ເປັນຫຍັງວັດຖຸເປົ້າໝາຍຈຶ່ງສຳຄັນຫຼາຍ? ມື້ນີ້ພວກເຮົາຈະເວົ້າກ່ຽວກັບອຸປະກອນເປົ້າຫມາຍດັ່ງກ່າວແມ່ນຫຍັງ!

ວັດຖຸເປົ້າໝາຍແມ່ນຫຍັງ?

ເວົ້າງ່າຍໆ, ວັດຖຸເປົ້າໝາຍແມ່ນວັດຖຸເປົ້າໝາຍທີ່ຖືກລະເບີດໂດຍອະນຸພາກທີ່ມີຄ່າຄວາມໄວສູງ. ໂດຍການທົດແທນວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (ເຊັ່ນ: ອາລູມິນຽມ, ທອງແດງ, ສະແຕນເລດ, titanium, ເປົ້າຫມາຍ nickel, ແລະອື່ນໆ), ລະບົບຮູບເງົາທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (ເຊັ່ນ: superhard, ທົນທານຕໍ່ສວມໃສ່, ຮູບເງົາໂລຫະປະສົມຕ້ານ corrosion, ແລະອື່ນໆ) ສາມາດໄດ້ຮັບ.

ໃນປັດຈຸບັນ, (ຄວາມບໍລິສຸດ) ວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍ sputtering ສາມາດແບ່ງອອກເປັນ:

1) ເປົ້າຫມາຍໂລຫະ (ອະລູມິນຽມໂລຫະບໍລິສຸດ, titanium, ທອງແດງ, tantalum, ແລະອື່ນໆ)

2) ໂລຫະປະສົມເປົ້າຫມາຍ (ໂລຫະປະສົມ nickel chromium, ໂລຫະປະສົມ nickel cobalt, ແລະອື່ນໆ)

3) ເປົ້າຫມາຍປະສົມເຊລາມິກ (oxides, silicides, carbides, sulfides, ແລະອື່ນໆ).

ອີງຕາມການສະຫຼັບທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ມັນສາມາດແບ່ງອອກເປັນ: ເປົ້າຫມາຍຍາວ, ເປົ້າຫມາຍສີ່ຫລ່ຽມ, ແລະເປົ້າຫມາຍວົງ.

ອີງຕາມຂົງເຂດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ມັນສາມາດແບ່ງອອກເປັນ: ເປົ້າຫມາຍຊິບ semiconductor, ເປົ້າຫມາຍຈໍສະແດງຜົນຮາບພຽງ, ເປົ້າຫມາຍເຊນແສງຕາເວັນ, ເປົ້າຫມາຍການເກັບຮັກສາຂໍ້ມູນ, ເປົ້າຫມາຍດັດແກ້, ເປົ້າຫມາຍອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະເປົ້າຫມາຍອື່ນໆ.

ໂດຍການເບິ່ງນີ້, ທ່ານຄວນໄດ້ຮັບຄວາມເຂົ້າໃຈກ່ຽວກັບເປົ້າຫມາຍ sputtering ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບອາລູມິນຽມ, titanium, ທອງແດງ, ແລະ tantalum ທີ່ໃຊ້ໃນເປົ້າຫມາຍໂລຫະ. ໃນການຜະລິດ wafer semiconductor, ຂະບວນການອາລູມິນຽມປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນວິທີການຕົ້ນຕໍໃນການຜະລິດ wafers 200mm (8 ນິ້ວ) ແລະຂ້າງລຸ່ມນີ້, ແລະວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍທີ່ຖືກນໍາໃຊ້ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນອາລູມິນຽມແລະ titanium ອົງປະກອບ. ການຜະລິດ wafer 300 ມມ (12 ນິ້ວ), ສ່ວນຫຼາຍແມ່ນໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີການເຊື່ອມຕໍ່ລະຫວ່າງທອງແດງທີ່ກ້າວຫນ້າ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເປົ້າຫມາຍທອງແດງແລະ tantalum.

ທຸກໆຄົນຄວນເຂົ້າໃຈວ່າອຸປະກອນເປົ້າຫມາຍແມ່ນຫຍັງ. ໂດຍລວມແລ້ວ, ດ້ວຍລະດັບການໃຊ້ງານຊິບທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນໃນຕະຫຼາດຊິບ, ແນ່ນອນຈະມີຄວາມຕ້ອງການວັດສະດຸໂລຫະຟິມບາງໆ 4 ຊະນິດຕົ້ນຕໍໃນອຸດສາຫະກໍາຄືອາລູມີນຽມ, titanium, tantalum ແລະທອງແດງ. ແລະໃນປັດຈຸບັນ, ບໍ່ມີການແກ້ໄຂອື່ນທີ່ສາມາດທົດແທນການເຫຼົ່ານີ້ສີ່ວັດສະດຸໂລຫະຟິມບາງໆ.