1, Sputtering Virbereedung
Et ass ganz wichteg d'Vakuumkammer ze halen, besonnesch de Sputtersystem propper. All Rescht geformt duerch Schmieröl, Stëbs a fréiere Beschichtung sammelen Waasserdamp an aner Verschmotzung, déi direkt de Vakuumgrad beaflossen an d'Méiglechkeet vu filmbildende Feeler erhéijen. Kuerzschluss- oder Zil-Arcing, rau Filmoberfläche an exzessive chemesche Gëftstoffer sinn dacks duerch onrein Sputtering Chamber, Sputtering Pistoul an Zil verursaacht. Fir un d'Zesummesetzungseigenschaften vun der Beschichtung ze halen, ass et néideg de Sputtergas (Argon oder Sauerstoff) ze botzen an ze trocken. Nodeems de Substrat an der Sputterkammer installéiert ass, muss d'Loft extrahéiert ginn fir de Vakuum z'erreechen, dee vum Prozess erfuerderlech ass. D'Schirmdeckel an der donkeler Géigend, der Huelraummauer an der Nopeschfläch mussen och propper gehal ginn. Wann Dir d'Vakuumkammer botzt, plädéiere mir fir d'Benotzung vu Glaskugelschéissen fir déi staubeg Deeler ze behandelen, zesumme mat kompriméierter Loft fir déi fréi Sputterreschter ronderëm d'Kammer ze läschen, an dann roueg d'äusseren Uewerfläch mat Aluminiumoxid imprägnéiertem Sandpapier ze poléieren. Nodeems de Gazepapier poléiert ass, gëtt et mat Alkohol, Aceton an deioniséiertem Waasser gereinegt. Zesummen plädéiert et fir d'Benotzung vun engem industrielle Staubsauger fir Hëllefsreinigung. D'Ziler, déi vum Gaozhan Metal produzéiert ginn, sinn a Vakuum versiegelte Plastikstuten gepackt,
Gebaut an feuchtbeständeg Agent. Wann Dir d'Zil benotzt, beréiert w.e.g. d'Zil net direkt mat Ärer Hand. Notiz: wann Dir d'Zil benotzt, gitt w.e.g. propper a flauscheg Ënnerhalthandschuesch. Touch ni d'Zil direkt mat Ären Hänn
2, Ziel Botzen
Den Zweck vun der Zilreinigung ass de Stëbs oder Dreck ze läschen, deen op der Uewerfläch vum Zil existéiere kann.
D'Metallziel kann a véier Schrëtt gebotzt ginn,
Den éischte Schrëtt ass fir mat engem flauschege mëllen Tuch ze botzen, deen an Aceton getippt ass;
Den zweete Schrëtt ass ähnlech wéi den éischte Schrëtt, d'Botzen mat Alkohol;
Schrëtt 3: propper mat deioniséiertem Waasser. Nodeems Dir mat deioniséiertem Waasser gewascht hutt, setzen d'Ziel an den Ofen an dréchen et bei 100 ℃ fir 30 Minutten.
D'Botzen vun Oxid- a Keramikziler gëtt mat "fënsterfräien Tuch" duerchgefouert.
De véierte Schrëtt ass d'Zil mat Argon mat héijen Drock a nidderegen Waassergas ze wäschen nodeems de staubege Gebitt ewechgeholl gouf, fir all Gëftstoffpartikel ze entfernen, déi Bogen am Sputtersystem bilden
3, Zil Apparat
Am Prozess vun der Zilinstallatioun sinn Z wichteg Virsiichtsmoossname fir eng gutt thermesch Leedungsverbindung tëscht dem Zil an der Killmauer vun der Sputterpistoul ze garantéieren. Wann d'Kräizung vum Kühlstéck schwéier ass oder d'Verréckelung vun der Réckplack schwéier ass, wäert d'Zilgerät knacken oder béien, an d'thermesch Konduktivitéit vum Réckzil op d'Zil gëtt staark beaflosst, wat zu der Versoen vun der Wärmevergëftung resultéiert am Sputterprozess, an d'Zil wäert knacken oder verpassen
Fir d'thermesch Konduktivitéit ze garantéieren, kann eng Schicht vu Grafitpabeier tëscht der Kathodekühlwand an dem Zil gepolstert ginn. Opgepasst w.e.g. fir suergfälteg ze iwwerpréiwen a kloer ze maachen d'Flaachheet vun der Killmauer vun der Sputterpistoul déi benotzt gëtt fir sécherzestellen datt den O-Ring ëmmer op der Plaz ass.
Zënter datt d'Sauberheet vum benotzte Killwaasser an de Stëbs, deen während der Operatioun vun der Ausrüstung optriede kann, am Kathode-Kühlwasserbehälter deposéiert ginn, ass et néideg, de Kathode-Kühlwasserbehälter ze kontrolléieren an ze botzen wann Dir d'Zil installéiert fir de glatte Kühlwasserbehälter ze garantéieren. Zirkulatioun vum Killwaasser an datt den Inlet an Outlet net blockéiert ginn.
E puer Kathoden sinn geplangt fir e klenge Raum mat der Anode ze hunn, also wann Dir d'Ziel installéiert, ass et néideg ze garantéieren datt et keen Touch oder Dirigent tëscht der Kathode an der Anode gëtt, soss entstinn e Kuerzschluss.
Kuckt d'Ausrüstungsbetreiberhandbuch fir Informatioun iwwer wéi Dir d'Zil richteg funktionéiert. Wann et keng esou Informatioun am Benotzerhandbuch ass, probéiert w.e.g. den Apparat no den zoustännege Virschléi vum Gaozhan Metal ze installéieren. Wann Dir d'Zielarmatur festhält, fir d'éischt ee Bolt mat der Hand festzehalen, an dann en anere Bolt op der Diagonal mat der Hand. Widderhuelen dëst bis all d'Bolzen um Apparat festgehalen sinn, an dann mat eppes fest.
4, Kuerzschluss an Dichtheetsinspektioun
No der Réalisatioun vun der Zil- Apparat, ass et néideg der Kuerzschluss an tightness vun der ganzer cathode ze kontrolléieren,
Et gëtt proposéiert fir ze bestëmmen ob et e Kuerzschluss an der Kathode gëtt mat engem Resistenzmeter
Rei Diskriminatioun. Nodeems Dir bestätegen datt et keng Kuerzschluss an der Kathode ass, kann Leckdetektioun duerchgefouert ginn, a Waasser kann an d'Kathode agefouert ginn fir ze bestätegen ob et Waasserleck ass.
5, Zil Pre-Sputtering
Target Pre-Sputtering plädéiert fir reng Argon-Sputtering, wat d'Uewerfläch vum Zil kann botzen. Wann d'Zil pre-Sputtered ass, ass et ugeroden d'Sputterkraaft lues ze erhéijen, an d'KraaftErhéijungsquote vum Keramik Zil ass 1.5WH / cm2. D'Pre-Sputtering Geschwindegkeet vum Metallziel kann méi héich sinn wéi déi vum Keramik Zilblock, an eng raisonnabel KraaftErhéijungsquote ass 1.5WH / cm2.
Am Prozess vun der Pre-Sputtering musse mir d'Arcing vum Zil kontrolléieren. D'Pre-Sputterzäit ass normalerweis ongeféier 10 Minutten. Wann et kee arcing Phänomen ass, kontinuéierlech Erhéijung der sputtering Muecht
Zu der gesate Kraaft. No Erfahrung, akzeptabel Z héich Sputtering Muecht vun Metal Zil ass
25 Watt / cm2, 10 Watt / cm2 fir Keramik Zil. Gitt w.e.g. op d'Astellungsbasis an d'Erfahrung vum Vakuumkammerdrock beim Sputteren am Systembetribshandbuch vum Benotzer. Generell soll et gesuergt ginn, datt d'Waasser Temperatur um Outlet vun kille Waasser manner wéi 35 ℃ ginn soll, mee Z ass et wichteg ze suergen, datt d'Zirkulatioun System vun kille Waasser effikass Aarbecht kann.
Déi séier Zirkulatioun vum Supercooling Waasser hëlt Hëtzt ewech, wat eng wichteg Garantie ass fir kontinuéierlech Sputtering mat héijer Kraaft ze garantéieren. Fir Metallziler gëtt et allgemeng virgeschloen datt d'Kältewaasserfloss ass
20lpm Waasserdrock ass ongeféier 5gmp; Fir Keramik Ziler gëtt et allgemeng ugeholl datt de Waasserfloss 30lpm ass an de Waasserdrock ongeféier 9gmp ass
6, Zil Ënnerhalt
Fir Kuerzschluss a Bogen ze verhënneren, déi duerch onreine Kavitéit am Sputterprozess verursaacht ginn, ass et néideg, de Sputter, deen am Zentrum a béide Säiten vun der Sputterbunn accumuléiert ass, an Etappen ze läschen,
Dëst hëlleft och Benotzer kontinuéierlech Sputter bei z héich Muecht Dicht
7, Zillagerung
Ziler, déi vum Gaozhan Metal geliwwert ginn, sinn an duebelschichte Vakuum Plastikstuten verpackt. Mir plädéieren datt d'Benotzer d'Ziler, egal ob Metall oder Keramik, a Vakuumverpackungen halen. Besonnesch mussen d'Bindungsziler ënner Vakuumbedéngungen gelagert ginn fir ze vermeiden datt d'Oxidatioun vun der Bindungsschicht d'Bindungsqualitéit beaflosst. Wat d'Verpakung vu Metallziler ugeet, fuerdere mir derfir, datt Z a proppere Plastikstuten verpackt gëtt
Post Zäit: Mee-13-2022