Déi breet Notzung vun Zilmaterial a verschiddene Beruffer mécht d'Nofro fir Zilmaterial méi héich a méi héich. Déi folgend Mir wäerten kuerz virstellen dech wat ass déi primär funktionell Ufuerderunge vum Zil, Hoping fir Iech ze hëllefen.
Purity: Purity ass ee vun de primäre funktionnelle Indikatoren vum Zil, well d'Rengheet vum Zil e groussen Impakt op d'Funktioun vum Film huet. Awer an der Praxis ass d'Rengheet vum Zilmaterial net déiselwecht. Zum Beispill, mam schnelle Wuesstum vum Mikroelektronik Beruff, huet d'Gréisst vum Siliziumwafer vu 6 ", 8" op 12 " entwéckelt, an d'Verdrahtungsbreet ass vun 0.5um op 0.25um, 0.18um a souguer 0.13um erofgaang. Eemol 99.995% vun der Zilrengheet kann den technologeschen Ufuerderunge vun 0.35UMIC treffen. D'Virbereedung vun 0,18um Linn erfuerdert 99,999% oder souguer 99,9999% Rengheet vum Zilmaterial.
Densitéit: Fir d'Porositéit am Zilfest ze reduzéieren an d'Funktioun vum Sputterfilm ze verbesseren, muss d'Ziel normalerweis eng héich Dicht hunn. D'Zieldicht beaflosst net nëmmen d'Sputterrate, awer och d'elektresch an optesch Eegeschafte vun de Filmer. Wat méi héich d'Zildicht ass, wat d'Funktioun vum Film besser ass. Zousätzlech goufen d'Dicht an d'Kraaft vum Zilmaterial erhéicht, fir datt et besser fäeg ass den thermesche Stress beim Sputteren ze widderstoen. D'Dicht ass och ee vun de wichtege funktionnelle Indikatoren vun Zilstoffer.
Gëftstoffer Inhalt: Gëftstoffer an der Zil- Feststoff a Sauerstoff a Waasser Damp an de Poren sinn der Primärschoul Pollutioun Quelle vun der akkumuléiert Filmer. Different Zil Material fir verschidden Zwecker hunn verschidden Ufuerderunge fir verschidden Gëftstoffer Inhalt. Zum Beispill, pure Aluminium an Aluminiumlegierungsziler, déi an der Hallefleitindustrie benotzt ginn, hu speziell Ufuerderunge fir Alkalimetallgehalt a radioaktiv Elementgehalt.
Post Zäit: Jun-06-2022