Sputtered Zilmaterialien hunn héich Ufuerderunge beim Gebrauch, net nëmme fir Rengheet a Partikelgréisst, awer och fir eenheetlech Partikelgréisst. Dës héich Ufuerderunge maachen eis méi Opmierksamkeet wann Dir Sputteren Zilmaterialien benotzt.
1. Sputtering Virbereedung
Et ass ganz wichteg d'Propperheet vun der Vakuumkammer ze erhalen, besonnesch de Sputtersystem. Schmierstoff, Stëbs an all Rescht vu fréiere Beschichtungen kënne Pollutanten wéi Waasser accumuléieren, direkt de Vakuum beaflossen an d'Wahrscheinlechkeet vu Filmbildungsfehler erhéijen. Kuerzkreesser, Zilbéi, rau filmbildende Flächen, an exzessiv chemesch Gëftstoffer ginn normalerweis duerch onreine Sputterkammer, Waffen an Ziler verursaacht.
Fir d'Kompositiounseigenschaften vun der Beschichtung z'erhalen, muss de Sputtergas (Argon oder Sauerstoff) propper a trocken sinn. Nodeems de Substrat an der Sputterkammer installéiert ass, muss d'Loft extrahéiert ginn fir de erfuerderleche Vakuumniveau fir de Prozess z'erreechen.
2. Zil Botzen
Den Zweck vun der Zilreinigung ass all Stëbs oder Dreck ze läschen, deen op der Uewerfläch vum Zil existéiere kann.
3. Zil Installatioun
Déi wichtegst Saach opmierksam ze bezuelen während dem Installatiounsprozess vum Zilmaterial ass eng gutt thermesch Verbindung tëscht dem Zilmaterial an der Killmauer vun der Sputterpistoul ze garantéieren. Wann d'Kühlmauer oder d'Réckplack staark verwéckelt ass, kann et Rëss oder Biegen während der Installatioun vum Zilmaterial verursaachen. D'Wärmetransfer vum Réckzil op d'Zilmaterial wäert staark beaflosst ginn, wat zu der Onméiglechkeet fir d'Hëtzt während der Sputtering ze dissipéieren, schlussendlech zu Rëss oder Ofwäichung vum Zilmaterial féiert.
4. Kuerzschluss- an Dichtungsinspektioun
No der Installatioun vum Zilmaterial ass et néideg fir de Kuerzschluss an d'Versiegelung vun der ganzer Kathode ze kontrolléieren. Et ass recommandéiert en Ohmmeter an e Megaohmmeter ze benotzen fir ze bestëmmen ob d'Kathode kierzlech ass. Nodeems Dir bestätegt huet datt d'Kathode net verkierzt ass, kann eng Leckdetektioun duerchgefouert ginn andeems Waasser an d'Kathode sprëtzt fir ze bestëmmen ob et Leckage gëtt.
5. Zil Material Pre sputtering
Et ass recommandéiert reng Argongas fir Pre-Sputtering vum Zilmaterial ze benotzen, wat d'Uewerfläch vum Zilmaterial botzen kann. Et ass recommandéiert d'Sputterkraaft lues während dem Pre-Sputterprozess fir d'Zilmaterial ze erhéijen. D'Kraaft vum Keramik Zilmaterial
Post Zäit: Okt-19-2023