Вольфрам силициддери

Вольфрам силициди WSi2 микроэлектроникада электр шок материалы катары колдонулат, полисиликон зымдарында маневр, антиоксиданттык каптоо жана каршылык зым каптоо. Вольфрам силициди микроэлектроникада контакттык материал катары колдонулат, каршылыгы 60-80μΩсм. 1000°С температурада түзүлөт. Ал, адатта, анын өткөргүчтүгүн жогорулатуу жана сигнал ылдамдыгын жогорулатуу үчүн polysilicon линиялары үчүн шунт катары колдонулат. Вольфрам силицидинин катмары химиялык бууларды жайгаштыруу жолу менен даярдалышы мүмкүн, мисалы, буу катмары. Чийки зат катары моносилан же дихлоросилан жана вольфрам гексафториди колдонуңуз. Депозиттик пленка стехиометриялык эмес жана андан да өткөргүч стехиометриялык формага айландырууну талап кылат.

Вольфрам силициди мурунку вольфрам пленкасын алмаштыра алат. Вольфрам силициди кремний менен башка металлдардын ортосундагы тосмо катмар катары да колдонулат.

Вольфрам силициди микроэлектромеханикалык системаларда да абдан баалуу, алардын арасында вольфрам силициди негизинен микросхемаларды жасоо үчүн жука пленка катары колдонулат. Бул максатта вольфрам силицидинин пленкасын, мисалы, силицидди колдонуу менен плазмадан түшүрсө болот.

Rich Special Materials Sputtering Target өндүрүшүнө адистешкен жана вольфрам силицидин чыгара алатдаанаКардарлардын спецификацияларына ылайык. Көбүрөөк маалымат алуу үчүн биз менен байланышыңыз.