Materyalên armancê yên rijandin di dema karanîna de hewcedariyên bilind hene, ne tenê ji bo paqijî û mezinahiya parçikan, lê di heman demê de ji bo mezinahiya perçeya yekgirtî jî. Van hewcedariyên bilind me dihêle ku dema ku materyalên armancê sputtering bikar tînin bêtir bala xwe bidin.
1. Amadekirina Sputtering
Pir girîng e ku meriv paqijiya jûreya valahiya, nemaze pergala şilandinê biparêze. Lubricants, toz, û her bermayiyên ji cil û berên berê dikarin gemarên mîna avê berhev bikin, rasterast bandorê li valahiya xwe bike û îhtîmala têkçûna avakirina fîlimê zêde bike. Têlên kurt, kemera armancê, rûberên fîlimê yên hişk, û nepaqijiyên zêde yên kîmyewî bi gelemperî ji hêla odeyên nepaqij, çek û hedefan ve têne çêkirin.
Ji bo ku taybetmendiyên pêkhatî yên kincê bidomînin, divê gaza rijandinê (argon an oksîjen) paqij û hişk be. Piştî sazkirina substratê di jûreya avêtinê de, pêdivî ye ku hewa were derxistin da ku asta valahiya hewce ya ji bo pêvajoyê bigihîje.
2. Paqijkirina armancê
Armanca paqijkirina armancê rakirina toz an qirêjê ku dibe ku li ser rûyê armancê hebe.
3. Sazkirina armancê
Tişta herî girîng a ku meriv di pêvajoya sazkirinê ya materyalê armanc de balê bikişîne ev e ku meriv pêwendiyek germî ya baş a di navbera materyalê armanc û dîwarê sarbûna çeka şûştinê de peyda bike. Ger dîwarê sarkirinê an plakaya piştê bi tundî gemarî be, dibe ku di dema sazkirina materyalê armancê de bibe sedema şikestin an qutbûnê. Veguheztina germê ji hedefa paşîn ber bi materyalê armancê ve dê pir bandor bibe, di encamê de nekarebûna germê di dema şilandinê de belav bike, di dawiyê de dibe sedema şikestin an veguheztina materyalê armanc.
4. Kêşeya kurt û teftîşa morkirinê
Piştî sazkirina materyalê armancê, pêdivî ye ku meriv kurteya kurt û girtina tevahiya katodê kontrol bike. Tête pêşniyar kirin ku meriv ohmmeter û megohmmeterek bikar bînin da ku diyar bikin ka katod dorvekirî ye. Piştî ku piştrast kirin ku katod ne dorhêla kurt e, dikare bi vekirina avê di nav katodê de vedîtina lehiyê were kirin da ku were destnîşankirin ka lehiyek heye.
5. Pre sputtering maddî hedef
Tê pêşniyar kirin ku gaza argonê ya paqij ji bo pêşîlêgirtina materyalê armancê bikar bînin, ku dikare rûyê materyalê armanc paqij bike. Tête pêşniyar kirin ku di dema pêvajoya pêşdibistanê de ji bo materyalê armancê hêdî hêdî hêza rijandinê zêde bikin. Hêza materyalê armanca seramîk
Dema şandinê: Oct-19-2023