Pêdivî ye ku em nuha pir bi armancê nas bin, naha bazara armanc jî zêde dibe, ya jêrîn performansa sereke ya armanca sputtering-ê ku ji hêla edîtorê RSM ve hatî parve kirin çi ye
Paqijiya
Paqijiya materyalê armanc yek ji nîşaneyên performansê yên sereke ye, ji ber ku paqijiya materyalê armanc bandorek mezin li ser performansa fîlima nazik heye. Lêbelê, di serîlêdana pratîkî de, hewcedariyên paqijiya materyalên armanc ne yek in. Mînakî, bi pêşkeftina bilez a pîşesaziya mîkroelektronîkî re, mezinahiya çîpê silicon ji 6 ", 8 "berbi 12" ve hatî pêşve xistin, û firehiya têlê ji 0.5um berbi 0.25um, 0.18um an jî 0.13um kêm bûye. Berê, paqijiya 99.995% materyalê armanc dikare hewcedariyên pêvajoyê yên 0.35umIC bicîh bîne. Paqijiya materyalê armanc ji bo amadekirina xetên 0.18um 99.999% an jî 99.9999% e.
Naveroka nepakiyê
Nepaqijiyên di zibilê armancê de û oksîjen û buhara avê ya di poran de çavkaniyên gemarî yên sereke yên hilgirtina fîlimê ne. Materyalên armanc ji bo mebestên cihêreng ji bo naveroka nepakiyê cûda hewcedariyên cûda hene. Mînakî, armancên paqij ên aluminium û aligirê aluminiumê yên ku di pîşesaziya nîvconductor de têne bikar anîn ji bo naveroka metalên alkali û hêmanên radyoaktîf hewcedariyên taybetî hene.
The density
Ji bo kêmkirina porozîtê di hedefa zexm de û baştirkirina performansa fîlima şilandinê, bi gelemperî tansiyona bilind a armancê hewce ye. Zêdebûna armancê ne tenê li ser rêjeya rijandinê lê di heman demê de taybetmendiyên elektrîkî û optîkî yên fîlimê jî bandor dike. Tişta mebest çiqas bilindtir be, performansa fîlimê baştir e. Digel vê yekê, zêdekirina tîrêj û hêza armancê armanc dike ku di pêvajoya şilandinê de li hember stresa termal çêtir bisekinin. Density di heman demê de yek ji nîşaneyên performansa sereke yên armancê ye.
Mezinahiya genim û belavkirina gewrê
Hedef bi gelemperî pirkrîstalîn e ku mezinahiya genim ji mîkrometre heya milîmetre ye. Ji bo heman armancê, rêjeya sputteringê ya armancê bi dexlên piçûk ji ya hedefa bi dexlên mezin zûtir e. Dabeşkirina qalindahiya fîlimên ku ji hêla mebesta şilandinê ve bi cûdahiya mezinahiya genimê piçûktir (belavbûna yekreng) ve hatine razandin yekrengtir e.
Dema şandinê: Tebax-04-2022