Armanc gelek bandor hene, û cîhê pêşkeftina bazarê mezin e. Di gelek waran de pir bikêrhatî ye. Hema hema hemî alavên şûştinê yên nû magnetên hêzdar bikar tînin da ku elektronên spiral lez bikin da ku ionîzasyona argonê li dora armancê bilezînin, û di encamê de îhtîmala lihevketina di navbera armanc û îyonên argonê de zêde dibe. Naha em ê li ser rola hedefa şilandinê di pêlava valahiya de mêze bikin.
Rêjeya avêtinê baştir bikin. Bi gelemperî, şûştina DC ji bo xêzkirina metalê tê bikar anîn, dema ku şilandina RF AC ji bo materyalên magnetîkî yên seramîk ên ne-rêvebir tê bikar anîn. Prensîba bingehîn ev e ku meriv dakêşana ronahiyê bikar bîne da ku îyonên argon (AR) li ser rûyê armancê di valahiyê de bixin, û kationên di plazmayê de dê bileztir bibin ku wekî materyalê şilandî berbi rûbera elektroda neyînî ve biçin. Ev bandor dê dihêle ku materyalê armancê bifire û li ser substratê razîne da ku fîlimek çêbike.
Bi gelemperî, çend taybetmendiyên xêzkirina fîlimê ji hêla pêvajoya rijandinê ve hene: (1) metal, alloy an îzolator dikare di daneyên fîlimê de were çêkirin.
(2) Di bin şert û mercên mîhengê guncan de, fîlima bi heman pêkhatî dikare ji armancên pirjimar û bêserûber were çêkirin.
(3) Tevlihevî an pêkhateya madeya armanc û molekulên gazê dikare bi zêdekirina oksîjenê an gazên din ên çalak di atmosfera dakêşanê de were hilberandin.
(4) Dema têketina armancê û dema rijandinê dikare were kontrol kirin, û hêsan e ku meriv qalindiya fîlimê ya rast-bilind bistîne.
(5) Li gorî pêvajoyên din, ew ji bo hilberîna fîlimên yekgirtî yên mezin-herêmî guncan e.
(6) Parçeyên rijandin hema hema ji hêla gravîtasyonê ve nayên bandor kirin, û pozîsyonên armanc û substratê dikarin bi serbestî werin rêz kirin.
Dema şandinê: Gulan-17-2022