대상은 이중 진공 비닐 봉투에 포장되어 있습니다. 우리는 사용자가 금속이든 세라믹이든 타겟을 진공 포장에 보관할 것을 옹호합니다. 특히 결합 품질에 영향을 미치는 결합층 산화를 피하기 위해 결합 타겟은 진공에 보관해야 합니다. 금속 타겟의 포장에 관해서는 우리는 다음을 주장합니다. 최소 요구 사항은 깨끗한 비닐 봉지에 포장하는 것입니다. 아래 베이징 Richmat 저자는 합금 타겟 저장 및 유지 관리 기술에 대해 여러분과 공유합니다.
합금 타겟에 대한 유지 관리 기술은 다음과 같습니다.
스퍼터링 공정에서 불결한 공동으로 인한 단락 및 아크를 방지하려면 스퍼터링 트랙 중심과 스퍼터링 축적의 양쪽을 제거해야 하며 이는 사용자가 스퍼터링의 최대 출력 밀도를 계속 유지하는 데 도움이 됩니다.
1단계: 아세톤에 적신 양털이 없는 천으로 청소합니다.
2단계: 1단계와 마찬가지로 알코올로 청소합니다.
3단계: 탈이온수로 세척합니다. 탈이온수로 세척한 후 타겟을 오븐에 넣고 100℃에서 30분간 건조합니다. 산화물 및 세라믹 타겟은 "플란넬리스 천"으로 청소됩니다.
4단계: 먼지가 많은 부분을 제거한 후 고압 및 저수분 가스의 아르곤을 사용하여 타겟을 세척하여 스퍼터링 시스템에서 아크를 형성할 수 있는 모든 불순물 입자를 제거합니다.
게시 시간: 2022년 6월 7일