스퍼터링 타겟의 사양이 많다는 것은 모두가 알고 있듯이,아 뭐야응용 범위.T다양한 산업 분야에서 일반적으로 사용되는 대상 품종도 다릅니다. 오늘은 ~와 함께 베이징리치마트 스퍼터링 타겟 산업 분류에 대해 함께 알아보겠습니다..
一、스퍼터링 타겟 재료의 정의
스퍼터링은 박막재료를 제조하는 주요 기술 중 하나이다. 이온 소스에서 생성된 이온을 사용하여 진공에서 가속된 응집을 통해 고속 에너지의 이온빔을 형성합니다. 충격을 받은 고체 표면, 이온 및 고체 표면 원자는 운동 에너지 교환을 하여 고체 표면의 원자가 고체를 떠나 표면에 침전됩니다. 기판 표면에서 충격을 받은 고체는 스퍼터링 타겟으로 알려진 스퍼터링 증착 필름을 준비하기 위한 원료입니다.
2,스퍼터링 타겟 재료의 응용 분야 분류
1、반도체 타겟
(1)일반적으로 사용되는 재료:이 분야의 일반적인 대상에는 탄탈룸, 구리, 티타늄, 알루미늄, 금, 니켈 및 기타 고융점 금속이 포함됩니다.
(2)용법：기본적으로 집적 회로의 중요한 원본 데이터에 사용
(3)기능적 요구 사항：순도, 크기, 통합에 대한 기술적 요구 사항이 높습니다.
2、평면 디스플레이용 타겟 소재
(1)일반적으로 사용되는 재료：이 분야에서 흔히 사용되는 타겟으로는 알루미늄/구리/몰리브덴/니켈/니오븀/실리콘/크롬 등이 있습니다.
(2)용법：이러한 타겟재는 주로 TV, 노트북 등 다양한 형태의 대면적 필름에 사용됩니다.。
(3)기능적 요구 사항：순도, 넓은 면적, 균일성에 대한 높은 요구 사항.
3、태양전지 타겟
(1)일반적으로 사용되는 재료：알루미늄/구리/몰리브덴/크롬/ITO/Ta 타겟은 일반적으로 태양전지에 사용됩니다.
(2)용법：주로 "창 층", 장벽 층, 전극 및 전도성 필름 및 기타 경우에 사용됩니다.。
(3)기능적 요구 사항：높은 기술 요구 사항, 다양한 사용 범위.
4、정보저장 대상물질
(1)일반적으로 사용되는 재료：정보 저장에는 일반적으로 코발트/니켈/합금철/크롬/텔루르/셀레늄 타겟 재료가 사용됩니다.
(2)용법：여기서 타겟재는 주로 CD-ROM과 CD의 헤드, 중간층, 하단층에 사용됩니다..
(3) 기능적 요구 사항：높은 저장 밀도와 높은 전송 속도가 필요합니다..
5、공구 수정 대상 소재
(1)일반적으로 사용되는 재료：티타늄/지르코늄/격자/크롬-알루미늄 합금 및 기타 타겟의 공구 수정.
(2)용법:일반적으로 외관 개선을 위해 사용됩니다..
(3)기능적 요구 사항：높은 기능 요구 사항, 긴 서비스 수명.
6、전자기기용 타겟소재
(1)일반적으로 사용되는 재료:알루미늄 합금/규화물 타겟은 전자 장치에 일반적으로 사용됩니다.
(2)용법：일반적으로 필름 저항기 및 커패시터에 사용됩니다..
(3)기능적 요구 사항：작은 크기, 안정성, 낮은 저항 온도 계수
게시 시간: 2022년 4월 21일