현대 건물은 유리 조명의 넓은 영역을 사용하기 시작했습니다. 이러한 측면은 우리에게 더 밝은 방과 더 넓은 시야를 제공합니다. 반면, 유리를 통해 전달되는 열은 주변 벽보다 훨씬 높아 건물 전체의 에너지 소비가 크게 증가합니다..
선진국의 저방사선 유리 활용률이 90% 이상인 것에 비해 중국의 로이 유리 보급률은 12% 정도에 불과해 중국은 아직 발전 여지가 많다. 일반 유리와 온라인 로이 유리, 오프라인 로이 유리의 생산 비용이 높아 어느 정도 적용이 제한됩니다. 국내 유리 가공 기업은 코팅 제품의 생산 비용을 지속적으로 절감하고 구현 속도를 높여야 할 의무가 있습니다. 에너지를 절약하고, 환경을 개선하고, 사회적으로 지속 가능한 발전을 달성합니다.
1、표적 모양의 영향
넓은 면적의 코팅에는 평면 방향, 회전 방향 등 형상에 따라 타겟 재료를 사용하는 경우가 많습니다. 일반적인 평면 타겟에는 구리 타겟, 은 타겟,Ni-Cr 타겟과 그래파이트 타겟. 일반 회전 타겟에는 아연 알루미늄 타겟, 아연 주석 타겟, 실리콘 알루미늄 타겟, 주석 타겟, 산화 티타늄 타겟, 산화 아연 알루미늄 타겟 등이 있습니다. 타겟 모양은 마그네트론 스퍼터링 코팅의 안정성과 필름 특성 및 활용에 영향을 미칩니다. 목표 달성률이 매우 높습니다. 타겟의 형상계획을 변경한 후 코팅의 품질 및 생산력을 향상시키고 비용을 절감할 수 있습니다..
2、상대밀도와 타겟 클리어런스의 영향
타겟의 상대 밀도는 타겟의 이론 밀도에 대한 실제 밀도의 비율이고, 단일 성분 타겟의 이론 밀도는 결정 밀도이며, 합금 또는 혼합물 타겟의 이론 밀도는 이론에 따라 계산됩니다. 각 원소의 밀도와 합금 또는 혼합물의 비율.. 용사기의 타겟 배열은 다공성이며 산소가 많이 함유되어 있으며(진공 스프레이를 사용해도 합금 타겟에 산화물 및 아질산 화합물 생성이 불가피함) 외관은 회색이고 금속 광택이 부족합니다. 흡착된 불순물과 수분은 오염의 주요 원인입니다.
3、목표 입자 크기와 결정 방향의 영향
동일한 무게의 타겟에서 작은 입자 크기의 타겟이 큰 입자 크기의 타겟보다 빠릅니다. 이는 주로 튀는 과정에서 입자 경계가 침입하기 쉽기 때문에 입자 경계가 많을수록 필름 형성이 빨라지기 때문입니다. 입자 크기는 스퍼터링 속도에 영향을 미칠 뿐만 아니라 성막 품질에도 영향을 줍니다. 예를 들어 EowE 제품의 생산 과정에서 NCr은 적외선 반사층 Ag의 유지층 역할을 하며 그 품질은 성막 품질에 큰 영향을 미칩니다. 코팅 제품. NiCr 필름층의 소광계수가 크기 때문에 일반적으로 얇습니다(약 3nm). 입자 크기가 너무 크면 스퍼터링 시간이 짧아지고 필름층의 치밀화가 악화되어 Ag층의 유지 효과가 떨어집니다. 감소하며, 코팅제품의 산화탈색이 발생됩니다.
결론
타겟재의 형상계획은 주로 타겟재의 활용률에 영향을 미친다. 합리적인 입도 계획은 대상 물질의 활용률을 높이고 비용을 절감할 수 있습니다. 입자 크기가 작을수록 코팅 속도가 빨라지고 균일성이 좋아집니다. 순도와 밀도가 높을수록 기공률이 낮아져 막질이 좋아지고 방전슬래그 감소 확률도 낮아집니다.
게시 시간: 2022년 4월 27일