현재 세계 주요 스패터링 타겟 제조업체에서는 알루미늄 합금 스패터링 타겟을 제조하는 두 가지 방법이 있습니다. 하나는 잉곳을 제조하기 위한 주조 방식을 선택한 후 주조 공정을 만드는 것이다. 다른 하나는 스프레이 성형으로 만들어졌습니다. 베이징 편집자가 티타늄 알루미늄 합금 타겟의 제조 공정에 대해 상식이 무엇인지 공유하도록 하겠습니다.
알려진 주조/주조 방법에 관한 한, 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 제조할 때 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟은 종종 합금 원소의 첨가로 인해 편석되어 스퍼터링 필름의 품질이 떨어지고 미세 입자가 발생하는 경우가 많습니다. 스퍼터링 타겟의 표면에 발생하기 쉬우며, 이는 막 특성의 균일성에 영향을 미칠 것입니다. 그러나, 공지된 스프레이 성형 방법을 사용하여 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 제조하는 경우, 위에서 언급한 관련 결함이 발생할 수 있습니다. 방지, 스퍼터링 타겟의 제조 비용은 크게 향상됩니다. 특히 주조가 쉽지 않고 열간 압착이 필요한 일부 스퍼터링 타겟을 제조할 때 열간 압착을 사용하면 비용이 향상됩니다.
티타늄 알루미늄 합금 타겟의 제조 공정을 보다 쉽고 저렴하게 만들기 위해 에어 스프레이 분말을 이용한 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 제조하는 방법이 여기에 소개됩니다. 그 원리는 스퍼터링 타겟의 재료 분말을 합금 조성비에 따라 에어 스프레이 방법으로 제조한 후 합금 분말을 스크리닝하여 적절한 분말 입자 크기를 얻는 것입니다. 마지막으로 분말을 진공 열간 압착하여 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 만듭니다.
이러한 에어스프레이 분말을 이용한 알루미늄합금 비말타겟 제조방법은 다양한 알루미늄합금 비말타겟(알루미늄크롬, 알루미늄실리콘구리, 알루미늄티타늄 등)을 제조하는데 사용될 수 있다. 선호되는 구현 단계는 다음과 같습니다: 알루미늄 합금 스플래시 타겟을 제조하기 위한 금속 재료를 공급하고 이를 금속 용융물로 녹입니다. 그런 다음, 용융된 금속을 에어 스프레이 방법으로 금속 분말로 만듭니다. 마지막으로 진공 열간 압착으로 금속 분말을 성형하여 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 만들고 유지 가스로 불활성 가스를 도입합니다. 이 방법을 사용하면 데이터 분리 및 미세 입자 결함을 방지하고 고품질 스퍼터링 타겟을 보다 빠르고 저렴하게 생산할 수 있습니다.
게시 시간: 2022년 6월 1일