내화성 텅스텐 금속 및 텅스텐 합금은 고온 안정성, 전자 이동에 대한 높은 저항성 및 높은 전자 방출 계수라는 장점을 가지고 있습니다. 고순도 텅스텐 및 텅스텐 합금 타겟은 주로 반도체 집적 회로의 게이트 전극, 연결 배선, 확산 방지층을 제조하는 데 사용됩니다. 재료의 순도, 불순물 원소 함량, 밀도, 입자 크기 및 균일한 입자 구조에 대한 요구 사항이 매우 높습니다. 고순도 텅스텐 타겟 제조에 영향을 미치는 요인을 살펴보겠습니다.by R아이특수소재(주).
I. 소결 온도의 영향
텅스텐 타겟 배아의 형성 과정은 일반적으로 냉등방압에 의해 이루어집니다. 텅스텐 입자는 소결 중에 자랄 것입니다. 텅스텐 입자의 성장은 결정 경계 사이의 간격을 채워 텅스텐 타겟의 밀도를 증가시킵니다. 소결 시간이 증가함에 따라 텅스텐 타겟의 밀도 증가는 점차 느려집니다. 주된 이유는 여러 번의 소결 과정을 거친 후에도 텅스텐 타겟 재료의 품질이 크게 변하지 않았기 때문입니다. 결정 경계의 대부분의 공극은 텅스텐 결정으로 채워져 있기 때문에 각 소결 공정 후에 텅스텐 타겟의 전체 크기 변화율이 매우 작아서 텅스텐 타겟 밀도가 증가할 수 있는 공간이 제한됩니다. 소결이 진행됨에 따라 큰 텅스텐 입자가 공극에 채워져 더 작은 크기와 더 조밀한 타겟이 생성됩니다.
2. 효과h보존 시간을 먹는다
동일한 소결 온도에서 소결 시간이 길어질수록 텅스텐 타겟재의 치밀성이 향상됩니다. 소결 시간이 길어질수록 텅스텐 입자 크기는 증가하고, 소결 시간이 길어질수록 입자 크기 성장 인자는 점차 느려집니다. 이는 소결 시간을 늘리면 텅스텐 타겟의 성능도 향상될 수 있음을 보여줍니다.
3. 목표 P에 대한 롤링 효과성능
텅스텐 타겟재의 밀도를 향상시키고 텅스텐 타겟재의 가공 구조를 얻기 위해서는 텅스텐 타겟재의 중온 압연이 재결정 온도 이하에서 이루어져야 한다. 타겟 블랭크의 압연 온도가 높을수록 타겟 블랭크의 섬유 구조는 더 두꺼워지고 타겟 블랭크의 섬유 구조는 더 미세해집니다. 열간압연 수율이 95% 이상인 경우. 서로 다른 소결 원래 입자 또는 압연 온도로 인한 섬유 구조의 차이는 제거되지만 타겟 내부에는 보다 균질한 섬유 구조가 형성되므로 온간 압연 가공 속도가 높을수록 타겟의 성능이 좋아집니다.
게시 시간: 2022년 5월 5일