백보드 프로세스 바인딩:
1. 바인딩 바인딩이란 무엇입니까? 땜납을 사용하여 타겟재를 뒷면 타겟에 용접하는 것을 말합니다. 압착, 브레이징, 전도성 접착제의 세 가지 주요 방법이 있습니다. 브레이징에는 타겟 바인딩이 일반적으로 사용되며 브레이징 재료에는 일반적으로 In, Sn 및 In Sn이 포함됩니다. 일반적으로 연질 브레이징 소재를 사용할 경우 스퍼터링 파워는 20W/cm2 이하가 필요합니다.
2, 바인딩하는 이유 1. ITO, SiO2, 세라믹 및 소결 타겟과 같은 부서지기 쉬운 타겟과 같이 가열 중에 타겟 재료의 고르지 않은 조각화를 방지합니다. 2. * * * 저장하고 변형을 방지하세요. 타겟 재료가 너무 비싼 경우에는 변형을 방지하기 위해 더 얇게 만들어 뒷면 타겟에 바인딩할 수 있습니다.
3, 백 타겟 선택: 1. Rich Special Materials Co., Ltd.는 일반적으로 전도성이 좋은 무산소 구리를 사용하며 무산소 구리의 열전도도는 적동보다 우수합니다. 2. 두께는 적당하며 일반적으로 백타겟 두께는 3mm 정도를 권장합니다. 너무 두꺼워서 자력이 좀 소모됩니다. 너무 얇아서 변형되기 쉽습니다.
4, 바인딩 공정 1. 바인딩하기 전에 타겟 재료의 표면과 뒷면 타겟을 전처리합니다. 2. 타겟재와 백타겟을 브레이징 플랫폼 위에 놓고 결합 온도까지 온도를 올립니다. 3. 타겟재와 백타겟을 금속화합니다. 4. 타겟재와 뒷면 타겟을 접착합니다. 5. 냉각 및 후처리.
5、바운드 타겟 사용 시 주의 사항: 1. 스퍼터링 온도가 너무 높아서는 안됩니다. 2. 전류를 천천히 증가시켜야 합니다. 3. 순환하는 냉각수는 섭씨 35도 이하이어야 합니다. 4. 적합한 목표 밀도
6, 백 플레이트가 분리되는 이유는 스퍼터링 온도가 높고 백 타겟이 산화 및 휘어지기 쉽기 때문입니다. 고온 스퍼터링 중에 타겟 재료에 균열이 발생하여 후면 타겟이 분리됩니다. 2. 전류가 너무 높고 열전도가 너무 빨라서 온도가 너무 높고 땜납이 녹아서 땜납이 고르지 않고 백 타겟이 분리됩니다. 3. 순환 냉각수의 출구 온도는 섭씨 35도보다 낮아야 하며 순환 수의 온도가 높으면 방열 및 분리가 불량할 수 있습니다. 4. 표적물질 자체의 밀도는 표적물질의 밀도가 매우 높을 경우 흡착이 잘 되지 않고, 틈이 생기지 않으며, 뒷면 표적이 떨어지기 쉽습니다.
게시 시간: 2023년 10월 12일