스퍼터링된 타겟 재료는 순도와 입자 크기뿐만 아니라 균일한 입자 크기에 대해서도 사용 중에 높은 요구 사항을 갖습니다. 이러한 높은 요구 사항으로 인해 스퍼터링 타겟 재료를 사용할 때 더 많은 주의를 기울이게 됩니다.
1. 스퍼터링 준비
진공챔버, 특히 스퍼터링 시스템의 청결을 유지하는 것은 매우 중요합니다. 이전 코팅의 윤활제, 먼지 및 잔여물은 물과 같은 오염 물질을 축적하여 진공에 직접적인 영향을 미치고 필름 형성 실패 가능성을 높일 수 있습니다. 단락, 타겟 아크, 거친 필름 형성 표면 및 과도한 화학적 불순물은 일반적으로 깨끗하지 않은 스퍼터링 챔버, 건 및 타겟으로 인해 발생합니다.
코팅의 구성 특성을 유지하려면 스퍼터링 가스(아르곤 또는 산소)가 깨끗하고 건조해야 합니다. 스퍼터링 챔버에 기판을 설치한 후 공정에 필요한 진공 수준을 달성하려면 공기를 추출해야 합니다.
2. 타겟 청소
타겟 청소의 목적은 타겟 표면에 존재할 수 있는 먼지나 오물을 제거하는 것입니다.
3. 대상 설치
타겟 재료의 설치 과정에서 주의해야 할 가장 중요한 것은 타겟 재료와 스퍼터링 건의 냉각 벽 사이의 양호한 열 연결을 보장하는 것입니다. 냉각벽이나 뒷판의 뒤틀림이 심할 경우 타깃재 설치시 갈라짐이나 휘어짐이 발생할 수 있습니다. 뒤쪽 타겟에서 타겟 재료로의 열 전달이 크게 영향을 받아 스퍼터링 중에 열을 방출할 수 없게 되어 궁극적으로 타겟 재료의 균열이나 편차가 발생하게 됩니다.
4. 단락 및 밀봉 검사
타겟재를 장착한 후에는 음극 전체의 단락 및 밀봉 상태를 확인해야 합니다. 음극이 단락되었는지 확인하려면 저항계와 절연저항계를 사용하는 것이 좋습니다. 음극이 단락되지 않았음을 확인한 후 음극에 물을 주입하여 누출이 있는지 확인하는 누출 감지를 수행할 수 있습니다.
5. 타겟재 프리 스퍼터링
타겟 물질의 사전 스퍼터링에는 순수 아르곤 가스를 사용하는 것이 좋습니다. 이는 타겟 물질의 표면을 깨끗하게 할 수 있습니다. 타겟 물질의 사전 스퍼터링 과정에서 스퍼터링 파워를 천천히 높이는 것이 좋습니다. 세라믹 타겟재의 위력
게시 시간: 2023년 10월 19일