타겟의 제조방법

타겟(Target)은 전자정보산업에서 흔히 사용되는 소재의 일종이다. 용도가 다양함에도 불구하고 일반 사람들은 이 물질에 대해 잘 알지 못합니다. 타겟의 제작방식에 대해 궁금해하시는 분들이 많으시죠? 다음으로 RSM 기술부 전문가들이 타겟의 제조방법을 소개합니다.

　　타겟의 제조방법

1. 주조방법

주조법은 합금원료를 일정한 조성비로 녹인 후, 녹인 후 얻은 합금용액을 주형에 부어 잉곳을 형성하고, 기계적 가공을 거쳐 타겟을 형성하는 방법이다. 주조 방법은 일반적으로 진공에서 녹여 주조해야 합니다. 일반적인 주조 방법에는 진공 유도 용해, 진공 아크 용해 및 진공 전자 충격 용해가 포함됩니다. 그 장점은 생산된 타겟이 불순물 함량이 낮고 밀도가 높으며 대규모로 생산할 수 있다는 것입니다. 단점은 녹는점과 밀도의 차이가 큰 두 가지 이상의 금속을 녹일 때 기존의 녹는 방법으로는 균일한 조성을 갖는 합금 타겟을 만들기 어렵다는 점이다.

　　2. 분말야금법

분말 야금법은 합금 원료를 특정 조성비로 녹인 다음, 녹인 후 얻은 합금 용액을 주괴로 주조하고, 주조된 주괴를 파쇄하고, 파쇄된 분말을 압축하여 형상을 만든 다음, 고온에서 소결하여 타겟을 형성하는 방법입니다. 이렇게 만들어진 타겟은 조성이 균일하다는 장점이 있습니다. 단점은 밀도가 낮고 불순물 함량이 높다는 것입니다. 일반적으로 사용되는 분말 야금 산업에는 냉간 압착, 진공 열간 압착 및 열간 등압 압착이 포함됩니다.