타겟 유지 관리에 대해 많은 친구들이 다소 질문을 하고 있으며, 최근에는 타겟 유지 관리 관련 문제에 대해 상담하는 고객도 많습니다. RSM 편집자에게 스퍼터링 타겟 유지 관리 지식에 대해 공유하도록 하세요.
스퍼터 타겟은 어떻게 유지관리해야 합니까?
1、 목표 유지
스퍼터링 공정에서 불결한 캐비티로 인한 단락 및 아크를 방지하려면 스퍼터링 트랙의 중앙과 양쪽에 쌓인 스퍼터를 주기적으로 제거해야 하며, 이는 사용자가 높은 전력 밀도에서 지속적으로 스퍼터링하는 데 도움이 됩니다.
2、 대상 스토리지
사용자는 타겟(금속이든 세라믹이든)을 진공 포장하여 보관할 것을 권장합니다. 특히 피팅 층의 산화가 피팅 품질에 영향을 미치지 않도록 피팅 타겟을 진공 상태로 보관해야 합니다. 금속 타겟의 포장은 최소한 깨끗한 비닐봉지에 포장하는 것이 좋습니다.
3、 타겟 청소
첫 번째 단계는 아세톤에 적신 보푸라기가 없는 부드러운 천으로 청소하는 것입니다.
두 번째 단계는 첫 번째 단계와 유사하며 알코올로 청소합니다.
3단계: 탈이온수로 세척합니다. 탈이온수로 세척한 후 타겟을 오븐에 넣고 100℃에서 30분간 건조시킨다. 산화물 및 세라믹 대상을 청소하려면 "보푸라기가 없는 천"을 사용하는 것이 좋습니다.
네 번째 단계는 스퍼터링 시스템에서 아크를 일으킬 수 있는 불순물 입자를 제거하기 위해 고압, 저습의 아르곤으로 타겟을 세척하는 것입니다.
4, 단락 및 견고성 점검
타겟을 설치한 후 전체 음극의 단락 및 견고성을 점검해야 합니다. 저항계와 메거를 사용하여 음극에 단락이 있는지 판단하는 것이 좋습니다. 음극에 단락이 없음을 확인한 후 누수 검사를 실시하고, 음극에 물을 유입시켜 누수 여부를 판단할 수 있습니다.
5、 포장 및 운송
모든 타겟은 방습제가 함유된 진공 밀봉 비닐백에 포장되어 있습니다. 외부 패키지는 일반적으로 운송 및 보관 중에 대상과 백플레인이 손상되지 않도록 보호하기 위해 충돌 방지 층이 있는 나무 상자입니다.
게시 시간: 2022년 7월 15일