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장거리 스퍼터링으로 생산되는 대형 망원경용 고반사 미러 코팅입니다.

차세대 대형 망원경에는 견고하고 반사율이 높으며 균일하고 기본 직경이 8미터보다 큰 거울이 필요합니다.
전통적으로 증발 코팅은 반사 코팅을 효과적으로 증발시키기 위해 넓은 광원 적용 범위와 높은 증착 속도가 필요합니다. 또한, 모따기의 증발을 방지하기 위해 특별한 주의를 기울여야 합니다. 이는 기둥 구조의 성장과 반사율 감소로 이어질 수 있습니다.
스퍼터 코팅은 대형 기판의 단일 및 다층 반사 코팅에 적합한 솔루션을 제공하는 고유한 기술입니다. 장거리 스퍼터링은 널리 사용되는 반도체 처리 방법이며 스퍼터링 코팅에 비해 더 높은 코팅 밀도와 접착력을 제공합니다.
이 기술은 거울의 전체 곡률을 따라 균일한 적용 범위를 생성하며 최소한의 마스킹이 필요합니다. 그러나 장거리 알루미늄 스퍼터링은 아직 대형 망원경에 효과적으로 적용되지 않았습니다. 단거리 원자화는 거울 곡률을 보상하기 위해 고급 장비 기능과 복잡한 마스크가 필요한 또 다른 기술입니다.
본 논문에서는 기존 전면 알루미늄 거울과 비교하여 거울 반사율에 대한 장거리 스프레이 매개변수의 영향을 평가하기 위한 일련의 실험을 보여줍니다.
실험 결과에 따르면 수증기 제어는 내구성이 뛰어나고 반사율이 높은 알루미늄 미러 코팅을 만드는 주요 요소이며, 낮은 수압 조건에서 장거리 분사가 매우 효과적일 수 있음을 보여줍니다.
RSM(Rich Special Materials Co.,LTD.)은 다양한 종류의 스퍼터링 타겟 및 합금 로드를 공급합니다.


게시 시간: 2023년 9월 28일