우리 모두 알고 있듯이 스퍼터링 타겟에는 많은 사양이 있으며 적용 분야도 매우 넓습니다. 다양한 분야에서 일반적으로 사용되는 타겟 유형도 다릅니다. 오늘은 RSM 에디터와 함께 스퍼터링 타깃 응용 분야의 분류에 대해 알아보겠습니다!
1. 스퍼터링 타겟의 정의
스퍼터링은 박막재료를 제조하는 주요 기술 중 하나이다. 이온 소스에서 생성된 이온을 사용하여 진공에서 가속하고 모아 고속 이온빔을 형성하고 고체 표면에 충격을 가하며 이온은 고체 표면의 원자와 운동 에너지를 교환하여 고체의 원자가 표면은 고체로부터 분리되어 기판 표면에 증착됩니다. 충격을 받은 고체는 스퍼터링에 의해 증착된 박막을 제조하기 위한 원료로, 이를 스퍼터링 타겟이라 한다.
2, 스퍼터링 타겟 응용분야 분류
1. 반도체 타겟
(1) 공통 대상: 이 분야의 일반적인 대상에는 탄탈륨/구리/티타늄/알루미늄/금/니켈과 같은 고융점 금속이 포함됩니다.
(2) 용도 : 주로 집적 회로의 핵심 원료로 사용됩니다.
(3) 성능 요구사항: 순도, 크기, 통합 등에 대한 높은 기술적 요구사항.
2. 평판 디스플레이 대상
(1) 공통 타겟: 이 분야의 공통 타겟에는 알루미늄/구리/몰리브덴/니켈/니오븀/실리콘/크롬 등이 포함됩니다.
(2) 용도 : 이러한 종류의 타겟은 주로 TV, 노트북 등 다양한 유형의 대면적 필름에 사용됩니다.
(3) 성능 요구 사항: 순도, 대면적, 균일성 등에 대한 높은 요구 사항.
3. 태양전지용 타겟소재
(1) 일반적인 표적: 알루미늄/구리/몰리브덴/크롬/ITO/Ta 및 기타 태양전지 표적.
(2) 용도: 주로 “창층”, 배리어층, 전극 및 전도성 필름에 사용됩니다.
(3) 성능 요구 사항: 높은 기술 요구 사항과 넓은 적용 범위.
4. 정보보관 대상
(1) 공통 표적: 코발트/니켈/합금철/크롬/텔루르/셀레늄 및 기타 정보 저장 재료의 공통 표적.
(2) 용도: 이러한 종류의 타겟 재료는 주로 광학 드라이브 및 광학 디스크의 자기 헤드, 중간층 및 바닥층에 사용됩니다.
(3) 성능 요구 사항: 높은 저장 밀도와 높은 전송 속도가 필요합니다.
5. 공구 수정 대상
(1) 공통 타겟: 공구로 수정된 티타늄/지르코늄/크롬 알루미늄 합금과 같은 공통 타겟.
(2) 용도 : 일반적으로 표면 강화에 사용됩니다.
(3) 성능 요구 사항: 고성능 요구 사항과 긴 서비스 수명.
6. 전자기기 대상
(1) 공통 타겟: 전자 장치용 일반적인 알루미늄 합금/규화물 타겟
(2) 용도 : 일반적으로 박막 저항기 및 커패시터에 사용됩니다.
(3) 성능 요구 사항: 작은 크기, 안정성, 낮은 저항 온도 계수
게시 시간: 2022년 7월 27일