필름 기반 압전 MEMS(pMEMS) 센서 및 무선 주파수(RF) 필터 부품 산업을 지원하기 위해 (주)리치특수소재에서 제조한 알루미늄 스칸듐 합금을 스칸듐 도핑된 질화알루미늄 필름의 반응성 증착에 특별히 사용합니다. .
박막 압전 재료는 자동차, 산업 및 개인용 전자 장비에 점점 더 많이 사용되고 있습니다. 응용 분야에는 pmt 기반 지문 센서 및 동작 인식 장치, MEMS 마이크, 공진기 기반 화학 센서 및 의료 센서가 포함됩니다. 또한 5G 네트워크 애플리케이션용 RF 필터를 구현하기 위해 스칸듐 도핑된 질화알루미늄 필름의 필요성이 점점 더 커지고 있습니다. 동시에 알루미늄 스칸듐 합금의 양도 증가하고 있습니다.
AlSc 합금의 특성
합금 전반에 걸쳐 매우 일관된 화학적 균질성
칩과 합금의 수명 전반에 걸쳐 매우 일관된 필름 화학적 균질성
순도>99.9%, 낮은 산소 함량, 낮은 임계 오염 물질 함량
최고의 스퍼터링 성능을 달성하기 위해 미세 구조를 엄격하게 제어합니다.
진공 주조, 접착력이 낮고 변동성이 낮으며 입도가 낮은 완전 밀도의 합금
Rich Special Material Co., Ltd.는 다양한 합금 제련, 타겟 맞춤화 및 R&D 서비스를 지원합니다.
게시 시간: 2022년 11월 11일