ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಗುರಿ ಎಂದರೇನು

ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. SiO2 ಮತ್ತು ಇತರ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ವಿಧಾನವನ್ನು ಬಳಸುವುದರಿಂದ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ವಸ್ತುವು ಉತ್ತಮ ಆಪ್ಟಿಕಲ್, ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಟಚ್ ಸ್ಕ್ರೀನ್, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಉದ್ದವಾದ ಸ್ಫಟಿಕಗಳನ್ನು ಬಿತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಇಂಗೋಟ್ ಕುಲುಮೆಯ ಬಿಸಿ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಹೀಟರ್‌ನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಮೂಲಕ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ನಿರೋಧನ ವಸ್ತುವಿನ ಶಾಖದ ಹರಡುವಿಕೆಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಮೂಲಕ ದ್ರವ ಸಿಲಿಕಾನ್ನ ದಿಕ್ಕಿನ ಘನೀಕರಣವನ್ನು ಕೆಳಗಿನಿಂದ ಮೇಲಕ್ಕೆ ಕ್ರಮೇಣ ಅರಿತುಕೊಳ್ಳುವುದು. ಘನೀಕರಣ ದೀರ್ಘ ಹರಳುಗಳ ವೇಗ 0.8~1.2cm/h. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ದಿಕ್ಕಿನ ಘನೀಕರಣದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವಸ್ತುಗಳಲ್ಲಿ ಲೋಹದ ಅಂಶಗಳ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಹೆಚ್ಚಿನ ಲೋಹದ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಶುದ್ಧೀಕರಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಧಾನ್ಯ ರಚನೆಯನ್ನು ರಚಿಸಬಹುದು.

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕರಗುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ವೀಕಾರಕ ಕಲ್ಮಶಗಳ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವ ಸಲುವಾಗಿ, ಎರಕಹೊಯ್ದ ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಉದ್ದೇಶಪೂರ್ವಕವಾಗಿ ಡೋಪ್ ಮಾಡಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ p-ಟೈಪ್ ಎರಕಹೊಯ್ದ ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್‌ನ ಮುಖ್ಯ ಡೋಪಾಂಟ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬೋರಾನ್ ಮಾಸ್ಟರ್ ಮಿಶ್ರಲೋಹವಾಗಿದೆ, ಇದರಲ್ಲಿ ಬೋರಾನ್ ಅಂಶವು ಸುಮಾರು 0.025% ಆಗಿದೆ. ಡೋಪಿಂಗ್ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಗುರಿ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆಯಿಂದ ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸೂಕ್ತವಾದ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆಯು 0.02 ~ 0.05 Ω • cm, ಮತ್ತು ಅನುಗುಣವಾದ ಬೋರಾನ್ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಸುಮಾರು 2 × 1014cm-3。 ಆದಾಗ್ಯೂ, ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನಲ್ಲಿನ ಬೋರಾನ್‌ನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಗುಣಾಂಕವು 0.8 ಆಗಿದೆ, ಇದು ದಿಕ್ಕಿನ ಘನೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಬೋರಾನ್ ಅಂಶವನ್ನು ಲಂಬ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್‌ನಲ್ಲಿ ವಿತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಇಂಗು, ಮತ್ತು ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆಯು ಕ್ರಮೇಣ ಕೆಳಗಿನಿಂದ ಇಂಗೋಟ್‌ನ ಮೇಲ್ಭಾಗಕ್ಕೆ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ.