ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಯ ವಿಧಗಳು ಯಾವುವು

ಈಗ ಹೆಚ್ಚು ಹೆಚ್ಚು ಬಳಕೆದಾರರು ಗುರಿಗಳ ಪ್ರಕಾರಗಳನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತುಅದರ ಅನ್ವಯಗಳು, ಆದರೆ ಅದರ ಉಪವಿಭಾಗವು ತುಂಬಾ ಸ್ಪಷ್ಟವಾಗಿಲ್ಲದಿರಬಹುದು. ಈಗ ನಾವುRSM ಇಂಜಿನಿಯರ್ ನಿಮ್ಮೊಂದಿಗೆ ಹಂಚಿಕೊಳ್ಳಿಕೆಲವು ಇಂಡಕ್ಷನ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಗಳ.

ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿ: ಲೋಹದ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಅಲಾಯ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಬೋರೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್, ನೈಟ್ರೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್, ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸೆರಾಮಿಕ್, ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿ, ಸಿಲಿಸೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿ, ಸಲ್ಫೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿ, ಟೆಲ್ಯುರೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿ, ಇತರ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಗುರಿಗಳು, ಕ್ರೋಮಿಯಂ ಡೋಪ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್ (CR SiO), ಇಂಡಿಯಮ್ ಫಾಸ್ಫೈಡ್ (INP), ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಆರ್ಸೆನೈಡ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಇನ್ಡಿಡಿಯಮ್ (ಎಆರ್ಸೆನೈಡ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್) (InAs).

ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಎರಡು ವಿಧಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಲಾಗಿದೆ: DC ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು RF ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್. ಡಿಸಿ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣದ ತತ್ವವು ಸರಳವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಲೋಹವನ್ನು ಚೆಲ್ಲುವಾಗ ಅದರ ದರವೂ ವೇಗವಾಗಿರುತ್ತದೆ. RF sputtering ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಾಹಕ ದತ್ತಾಂಶವನ್ನು ಚೆಲ್ಲುವುದರ ಜೊತೆಗೆ, ಇದು ವಾಹಕವಲ್ಲದ ದತ್ತಾಂಶವನ್ನು ಸಹ ಸ್ಪಟ್ಟರ್ ಮಾಡಬಹುದು. ಆಕ್ಸೈಡ್‌ಗಳು, ನೈಟ್ರೈಡ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ಗಳಂತಹ ಸಂಯುಕ್ತ ದತ್ತಾಂಶವನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಯನ್ನು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್‌ಗೆ ಸಹ ಬಳಸಬಹುದು. RF ಆವರ್ತನವು ಹೆಚ್ಚಾದರೆ, ಅದು ಮೈಕ್ರೋವೇವ್ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಆಗುತ್ತದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಸೈಕ್ಲೋಟ್ರಾನ್ ರೆಸೋನೆನ್ಸ್ (ECR) ಮೈಕ್ರೋವೇವ್ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.