ಗುರಿ ವಸ್ತುವನ್ನು ಚೆಲ್ಲುವ ಮುಖ್ಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು

ನಾವು ಈಗ ಗುರಿಯೊಂದಿಗೆ ಬಹಳ ಪರಿಚಿತರಾಗಿರಬೇಕು, ಈಗ ಗುರಿ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಯು ಸಹ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿದೆ, RSM ನಿಂದ ಸಂಪಾದಕರು ಹಂಚಿಕೊಂಡ ಗುರಿಯ ಗುರಿಯ ಮುಖ್ಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿದೆ

　　ಶುದ್ಧತೆ

ಗುರಿ ವಸ್ತುವಿನ ಶುದ್ಧತೆಯು ಮುಖ್ಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸೂಚ್ಯಂಕಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಗುರಿ ವಸ್ತುವಿನ ಶುದ್ಧತೆಯು ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಭಾವ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಅನ್ವಯದಲ್ಲಿ, ಗುರಿ ವಸ್ತುಗಳ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಒಂದೇ ಆಗಿರುವುದಿಲ್ಲ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದ ಕ್ಷಿಪ್ರ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಚಿಪ್ ಗಾತ್ರವನ್ನು 6 ", 8" ರಿಂದ 12″ ಗೆ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ವೈರಿಂಗ್ ಅಗಲವನ್ನು 0.5um ನಿಂದ 0.25um, 0.18um ಅಥವಾ 0.13um ಗೆ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ. ಹಿಂದೆ, 99.995% ಗುರಿ ವಸ್ತುವಿನ ಶುದ್ಧತೆಯು 0.35umIC ನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ. 0.18um ರೇಖೆಗಳ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ಗುರಿ ವಸ್ತುವಿನ ಶುದ್ಧತೆ 99.999% ಅಥವಾ 99.9999% ಆಗಿದೆ.

　　ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಷಯ

ಗುರಿಯ ಘನದಲ್ಲಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಮತ್ತು ರಂಧ್ರಗಳಲ್ಲಿನ ಆಮ್ಲಜನಕ ಮತ್ತು ನೀರಿನ ಆವಿಯು ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆಯ ಮುಖ್ಯ ಮಾಲಿನ್ಯ ಮೂಲಗಳಾಗಿವೆ. ವಿಭಿನ್ನ ಉದ್ದೇಶಗಳಿಗಾಗಿ ಉದ್ದೇಶಿತ ವಸ್ತುಗಳು ವಿಭಿನ್ನ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಷಯಕ್ಕೆ ವಿಭಿನ್ನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಶುದ್ಧ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿಶ್ರಲೋಹ ಗುರಿಗಳು ಕ್ಷಾರ ಲೋಹಗಳು ಮತ್ತು ವಿಕಿರಣಶೀಲ ಅಂಶಗಳ ವಿಷಯಕ್ಕೆ ವಿಶೇಷ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ.

　　ಸಾಂದ್ರತೆ

ಗುರಿಯ ಘನದಲ್ಲಿನ ಸರಂಧ್ರತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು, ಗುರಿಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅಗತ್ಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಗುರಿಯ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ದರವನ್ನು ಮಾತ್ರವಲ್ಲದೆ ಚಿತ್ರದ ವಿದ್ಯುತ್ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಗುರಿಯ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಹೆಚ್ಚಾದಷ್ಟೂ ಚಿತ್ರ ಪ್ರದರ್ಶನವು ಉತ್ತಮವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಗುರಿಯ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಬಲವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದರಿಂದ ಗುರಿಯು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಉತ್ತಮವಾಗಿ ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಗುರಿಯ ಪ್ರಮುಖ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಸೂಚ್ಯಂಕಗಳಲ್ಲಿ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಸಹ ಒಂದಾಗಿದೆ.

　　ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ ವಿತರಣೆ

ಗುರಿಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್‌ನಿಂದ ಮಿಲಿಮೀಟರ್‌ವರೆಗಿನ ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರದೊಂದಿಗೆ ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಆಗಿದೆ. ಅದೇ ಗುರಿಗಾಗಿ, ಸಣ್ಣ ಧಾನ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ ಗುರಿಯ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ದರವು ದೊಡ್ಡ ಧಾನ್ಯಗಳ ಗುರಿಗಿಂತ ವೇಗವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಸಣ್ಣ ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರದ ವ್ಯತ್ಯಾಸದೊಂದಿಗೆ (ಏಕರೂಪದ ವಿತರಣೆ) ಗುರಿಯನ್ನು ಚೆಲ್ಲುವ ಮೂಲಕ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ದಪ್ಪ ವಿತರಣೆಯು ಹೆಚ್ಚು ಏಕರೂಪವಾಗಿರುತ್ತದೆ.