យើងទាំងអស់គ្នាដឹងហើយថា វាមានលក្ខណៈពិសេសជាច្រើននៃគោលដៅ sputtering,ដែលមាន awជួរគំនិតនៃកម្មវិធី.Tគាត់កំណត់គោលដៅពូជដែលប្រើជាទូទៅក្នុងឧស្សាហកម្មផ្សេងៗគ្នាក៏ខុសគ្នាដែរ ថ្ងៃនេះសូមមក ជាមួយ ទីក្រុងប៉េកាំងរីម៉ាត រួមគ្នាដើម្បីស្វែងយល់អំពីការចាត់ថ្នាក់ឧស្សាហកម្មគោលដៅដែលផ្ទុះឡើង.
មួយនិយមន័យនៃសម្ភារៈគោលដៅ sputtering
Sputtering គឺជាបច្ចេកវិជ្ជាសំខាន់មួយសម្រាប់រៀបចំសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើង។ វាប្រើអ៊ីយ៉ុងដែលបង្កើតដោយប្រភពអ៊ីយ៉ុងដើម្បីបង្កើតជាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងដែលមានថាមពលល្បឿនខ្ពស់តាមរយៈការប្រមូលផ្តុំលឿនក្នុងសុញ្ញកាស។ ផ្ទៃរឹងដែលបំផ្ទុះ អ៊ីយ៉ុង និងអាតូមផ្ទៃរឹងមានការផ្លាស់ប្តូរថាមពល kinetic ដូច្នេះអាតូមនៅលើផ្ទៃរឹងទុកវត្ថុរឹង ហើយដាក់នៅលើ ផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម វត្ថុរឹងដែលត្រូវបានទម្លាក់គ្រាប់បែក គឺជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់រៀបចំខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់បញ្ចូលដោយ sputtering ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជាគោលដៅ sputtering ។
二ការចាត់ថ្នាក់តំបន់នៃកម្មវិធីនៃសម្ភារៈគោលដៅ sputtering
1,គោលដៅ semiconductor
(1)សម្ភារៈប្រើប្រាស់ទូទៅ:គោលដៅទូទៅក្នុងវិស័យនេះរួមមាន តង់តាឡំ ទង់ដែង ទីតានីញ៉ូម អាលុយមីញ៉ូម មាស នីកែល និងលោហធាតុដែលមានចំណុចរលាយខ្ពស់ផ្សេងទៀត។
(2)ការប្រើប្រាស់:ប្រើជាមូលដ្ឋាននៅទិន្នន័យដើមដ៏សំខាន់នៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា
(3)តម្រូវការមុខងារ:តម្រូវការបច្ចេកទេសលើភាពបរិសុទ្ធ ទំហំ ការរួមបញ្ចូលគឺខ្ពស់។
២.សម្ភារៈគោលដៅសម្រាប់ការបង្ហាញប្លង់
(1)សម្ភារៈប្រើប្រាស់ទូទៅ:គោលដៅដែលប្រើជាទូទៅក្នុងវិស័យនេះរួមមាន អាលុយមីញ៉ូម / ទង់ដែង / ម៉ូលីបដិនម / នីកែល / niobium / ស៊ីលីកុន / chromium ។ល។
(2)ការប្រើប្រាស់:ប្រភេទនៃសម្ភារៈគោលដៅនេះត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងប្រភេទផ្សេងៗនៃខ្សែភាពយន្តផ្ទៃធំនៃទូរទស្សន៍ និងសៀវភៅកត់ត្រា.
(3)តម្រូវការមុខងារ:តម្រូវការខ្ពស់លើភាពបរិសុទ្ធ តំបន់ធំ ឯកសណ្ឋាន និងដូច្នេះនៅលើ។
3,គោលដៅសម្រាប់កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ
(1)សម្ភារៈប្រើប្រាស់ទូទៅ:អាលុយមីញ៉ូ / ទង់ដែង / ម៉ូលីបដិនម / ក្រូមីញ៉ូម / ITO / Ta ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។
(2)ការប្រើប្រាស់:ប្រើជាចម្បងនៅក្នុង "ស្រទាប់បង្អួច" ស្រទាប់របាំង អេឡិចត្រូត និងខ្សែភាពយន្ត conductive និងឱកាសផ្សេងទៀត។.
(3)តម្រូវការមុខងារ:តម្រូវការជំនាញខ្ពស់ ជួរប្រើប្រាស់ធំទូលាយ។
4,សម្ភារៈគោលដៅសម្រាប់ការរក្សាទុកព័ត៌មាន
(1)សម្ភារៈប្រើប្រាស់ទូទៅ:ការផ្ទុកព័ត៌មានត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅ cobalt/nickel/ferroalloy/chromium/tellurium/selenium target material។
(2)ការប្រើប្រាស់:សម្ភារៈគោលដៅនៅទីនេះត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ក្បាល ស្រទាប់កណ្តាល និងស្រទាប់ខាងក្រោមនៃស៊ីឌីរ៉ូម និងស៊ីឌី.
(3) តម្រូវការមុខងារ:ដង់ស៊ីតេផ្ទុកខ្ពស់ និងល្បឿនបញ្ជូនខ្ពស់ត្រូវបានទាមទារ.
5,សម្ភារៈគោលដៅសម្រាប់ការកែប្រែឧបករណ៍
(1)សម្ភារៈប្រើប្រាស់ទូទៅ:ការកែប្រែឧបករណ៍នៃ titanium/zirconium/lattice/chrome-aluminium alloy និងគោលដៅផ្សេងទៀត.
(2)ការប្រើប្រាស់៖ជាធម្មតាវាត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការកែលម្អរូបរាង.
(3)តម្រូវការមុខងារ:តម្រូវការមុខងារខ្ពស់ អាយុកាលសេវាកម្មយូរ.
6,សម្ភារៈគោលដៅសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
(1)សម្ភារៈប្រើប្រាស់ទូទៅ:គោលដៅអាលុយមីញ៉ូម/ស៊ីលីកុន ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
(2)ការប្រើប្រាស់:ជាទូទៅប្រើសម្រាប់ រេស៊ីស្តង់ ហ្វីល និងកុងទ័រ.
(3)តម្រូវការមុខងារ:ទំហំតូច ស្ថេរភាព មេគុណសីតុណ្ហភាពធន់ទ្រាំទាប
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២១ ខែមេសា ឆ្នាំ ២០២២