តើអ្វីទៅជាតម្រូវការនៃការអនុវត្តគោលដៅ

គោលដៅមានទីផ្សារធំទូលាយ តំបន់កម្មវិធី និងការអភិវឌ្ឍន៍ដ៏ធំនាពេលអនាគត។ ដើម្បីជួយអ្នកឱ្យយល់កាន់តែច្បាស់អំពីមុខងារគោលដៅ ខាងក្រោមនេះ វិស្វករ RSM នឹងណែនាំដោយសង្ខេបអំពីតម្រូវការមុខងារសំខាន់ៗនៃគោលដៅ។

ភាពបរិសុទ្ធ៖ ភាពបរិសុទ្ធគឺជាសូចនាករមុខងារសំខាន់មួយរបស់គោលដៅ ព្រោះភាពបរិសុទ្ធនៃគោលដៅមានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើមុខងាររបស់ខ្សែភាពយន្ត។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយនៅក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែងតម្រូវការភាពបរិសុទ្ធនៃគោលដៅក៏ខុសគ្នាដែរ។ ឧទាហរណ៍ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍យ៉ាងឆាប់រហ័សនៃឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច ទំហំនៃស៊ីលីកុន wafer ត្រូវបានពង្រីកពី 6 "ទៅ 8" ទៅ 12" ហើយទទឹងខ្សែភ្លើងត្រូវបានកាត់បន្ថយពី 0.5um ទៅ 0.25um, 0.18um ឬសូម្បីតែ 0.13um។ ពីមុន 99.995% នៃភាពបរិសុទ្ធគោលដៅអាចបំពេញតម្រូវការដំណើរការ 0.35umic ខណៈពេលដែលការរៀបចំ 0.18um ត្រូវការ 99.999% ឬសូម្បីតែ 99.9999% នៃភាពបរិសុទ្ធគោលដៅ។

មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ៖ ភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងវត្ថុរឹងគោលដៅ និងអុកស៊ីសែន និងចំហាយទឹកនៅក្នុងរន្ធញើស គឺជាប្រភពបំពុលដ៏សំខាន់នៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។ គោលដៅសម្រាប់គោលបំណងផ្សេងគ្នាមានតម្រូវការផ្សេងគ្នាសម្រាប់មាតិកាមិនបរិសុទ្ធផ្សេងគ្នា។ ឧទាហរណ៍ គោលដៅអាលុយមីញ៉ូមសុទ្ធ និងអាលុយមីញ៉ូមដែលប្រើក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor មានតម្រូវការពិសេសសម្រាប់មាតិកាលោហៈអាល់កាឡាំង និងមាតិកាធាតុវិទ្យុសកម្ម។

ដង់ស៊ីតេ៖ ដើម្បីកាត់បន្ថយរន្ធញើសក្នុងគោលដៅរឹង និងធ្វើឱ្យមុខងារនៃខ្សែភាពយន្តបាញ់ទឹកឱ្យប្រសើរឡើង គោលដៅជាធម្មតាត្រូវបានទាមទារឱ្យមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់។ ដង់ស៊ីតេនៃគោលដៅមិនត្រឹមតែប៉ះពាល់ដល់អត្រា sputtering ប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែថែមទាំងប៉ះពាល់ដល់មុខងារអគ្គិសនីនិងអុបទិកនៃខ្សែភាពយន្តផងដែរ។ ដង់ស៊ីតេគោលដៅកាន់តែខ្ពស់ មុខងាររបស់ខ្សែភាពយន្តកាន់តែប្រសើរ។ លើសពីនេះ ដង់ស៊ីតេ និងភាពខ្លាំងនៃគោលដៅត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង ដូច្នេះគោលដៅអាចទទួលយកបានកាន់តែប្រសើរឡើងនូវភាពតានតឹងកម្ដៅនៅក្នុងដំណើរការ sputtering ។ ដង់ស៊ីតេក៏ជាសូចនាករមុខងារសំខាន់មួយនៃគោលដៅផងដែរ។