នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ នៅក្នុងក្រុមហ៊ុនផលិតគោលដៅចំរុះធំៗរបស់ពិភពលោក មានវិធីសាស្រ្តពីរផ្សេងគ្នាសម្រាប់ការផលិតគោលដៅនៃការបំភាយអាលុយមីញ៉ូម។ មួយគឺត្រូវជ្រើសរើសវិធីសាស្រ្តក្នុងការផលិត ingot ហើយបន្ទាប់មកធ្វើដំណើរការចាក់។ មួយទៀតគឺធ្វើឡើងដោយការបាញ់ថ្នាំ។ សូមឲ្យកម្មវិធីនិពន្ធទីក្រុងប៉េកាំងបង្កើតឡើងសម្រាប់អ្នកដើម្បីចែករំលែក អំពីដំណើរការផលិតលោហៈធាតុអាលុយមីញ៉ូមទីតានីញ៉ូម គោលដៅអ្វីដែលជាសុភវិនិច្ឆ័យ។
តាមវិធីដែលគេស្គាល់ថា ការចាក់/ខាស មានការព្រួយបារម្ភ នៅពេលផលិត គោលដៅ ស្ពា អាលុយមីញ៉ូម គោលដៅ ស្ពែម អាលុយមីញ៉ូម ជារឿយៗ ទទួលរងនូវការ បំបែក ដោយសារតែការបន្ថែមធាតុ យ៉ាន់ស្ព័រ ដែលបណ្តាលឱ្យមាន គុណភាពអន់នៃ ខ្សែភាពយន្តដែលបែកខ្ញែក និងភាគល្អិតតូចៗ។ ងាយនឹងកើតមានលើផ្ទៃនៃគោលដៅ sputtering ដែលនឹងប៉ះពាល់ដល់ឯកសណ្ឋាននៃលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តនេះផងដែរ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ប្រសិនបើវិធីសាស្ត្របង្កើតទម្រង់បាញ់ដែលគេស្គាល់ត្រូវបានប្រើដើម្បីផលិតគោលដៅ sputtering alloy អាលុយមីញ៉ូម ទោះបីជា ពិការភាពដែលទាក់ទងខាងលើអាចត្រូវបានរារាំង ការចំណាយលើការផលិតនៃគោលដៅ sputtering នឹងត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំង ជាពិសេសនៅពេលផលិតគោលដៅ sputtering មួយចំនួនដែលមិនងាយស្រួលក្នុងការបោះ និងត្រូវតែចុចក្តៅ ការចំណាយនឹងត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងដោយប្រើការចុចក្តៅ។
ដើម្បីធ្វើឱ្យដំណើរការផលិតវត្ថុលោហធាតុអាលុយមីញ៉ូមទីតានីញ៉ូមមានភាពងាយស្រួល និងចំណាយតិច វិធីសាស្រ្តនៃការផលិតវត្ថុធាតុអាលុយមីញ៉ូមអាលុយមីញ៉ូមជាមួយម្សៅបាញ់ខ្យល់ត្រូវបានណែនាំនៅទីនេះ។ គោលការណ៍របស់វាសំដៅទៅលើម្សៅវត្ថុធាតុនៃគោលដៅ sputtering ត្រូវបានផលិតដោយវិធីបាញ់ខ្យល់តាមសមាមាត្រនៃសមាសធាតុ alloy ហើយបន្ទាប់មកម្សៅ alloy ត្រូវបានពិនិត្យដើម្បីទទួលបានទំហំភាគល្អិតម្សៅសមស្រប។ ជាចុងក្រោយ ម្សៅត្រូវបានបូមដោយក្តៅ ដើម្បីបង្កើតជាគោលដៅនៃលោហៈធាតុអាលុយមីញ៉ូម។
វិធីសាស្រ្តនៃការផលិតគ្រាប់បាញ់អាលុយមីញ៉ូមនេះជាមួយនឹងម្សៅបាញ់ខ្យល់អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការផលិតគោលដៅផ្លុំអាលុយមីញ៉ូមផ្សេងៗ (អាលុយមីញ៉ូ ក្រូមីញ៉ូម អាលុយមីញ៉ូម ស៊ីលីកុន ស្ពាន់ អាលុយមីញ៉ូ ទីតានីញ៉ូម ជាដើម)។ ជំហានអនុវត្តដែលពេញចិត្តគឺ៖ ការផ្គត់ផ្គង់សម្ភារៈលោហៈសម្រាប់ផលិតវត្ថុធាតុលោហធាតុអាលុយមីញ៉ូម ហើយរលាយវាទៅជាលោហៈរលាយ បន្ទាប់មក លោហៈធាតុរលាយត្រូវបានបង្កើតជាម្សៅដែកដោយវិធីបាញ់ខ្យល់។ ទីបំផុត ម្សៅដែកត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយការចុចក្តៅដោយខ្វះចន្លោះ ដើម្បីបង្កើតជាគោលដៅនៃលោហៈធាតុអាលុយមីញ៉ូម ហើយឧស្ម័នអសកម្មត្រូវបានណែនាំជាឧស្ម័នថែទាំ។ វិធីសាស្រ្តនេះអាចការពារការបំបែកទិន្នន័យ និងពិការភាពនៃភាគល្អិតតូចៗ និងបង្កើតគោលដៅដែលមានគុណភាពខ្ពស់បានលឿន និងថោក។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ០១-០២-២០២២