តើអ្វីទៅជាលក្ខណៈនិងគោលការណ៍បច្ចេកទេសនៃសម្ភារៈគោលដៅថ្នាំកូត

ខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅលើគោលដៅស្រោបគឺជារូបរាងសម្ភារៈពិសេស។ នៅក្នុងទិសដៅជាក់លាក់នៃកម្រាស់ មាត្រដ្ឋានគឺតូចណាស់ ដែលជាបរិមាណដែលអាចវាស់វែងបានដោយមីក្រូទស្សន៍។ លើសពីនេះ ដោយសារតែរូបរាង និងចំណុចប្រទាក់នៃកម្រាស់របស់ខ្សែភាពយន្ត ការបន្តសម្ភារៈត្រូវបានបញ្ចប់ ដែលធ្វើឱ្យទិន្នន័យខ្សែភាពយន្ត និងទិន្នន័យគោលដៅមានលក្ខណៈទូទៅខុសៗគ្នា។ ហើយគោលដៅភាគច្រើនគឺការប្រើប្រាស់ថ្នាំកូត magnetron sputtering coating របស់ Beijing Richmat នឹងនាំយើងឱ្យយល់។ គោលការណ៍និងជំនាញនៃថ្នាំកូត sputtering ។

　　មួយ, គោលការណ៍នៃថ្នាំកូត sputtering

ជំនាញស្រោបស្រោបគឺប្រើរូបរាងគោលដៅ សំបកអ៊ីយ៉ុង នោះអាតូមគោលដៅត្រូវបានវាយលុកចេញពីបាតុភូតដែលគេស្គាល់ថាជាការបាញ់ផ្លោង។ អាតូមដែលដាក់លើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានគេហៅថា sputtering coating។ ជាទូទៅ អ៊ីយ៉ូដនៃឧស្ម័នត្រូវបានផលិតដោយការបង្ហូរឧស្ម័ន ហើយអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមានបានបំផ្ទុះគោលដៅ cathode ក្នុងល្បឿនលឿនក្រោមសកម្មភាពនៃវាលអគ្គិសនី ដោយវាយចេញអាតូម ឬម៉ូលេគុលនៃ គោលដៅ cathode និងហោះទៅផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីដាក់ចូលទៅក្នុងខ្សែភាពយន្តមួយ។ និយាយដោយសាមញ្ញ ថ្នាំកូត sputtering ប្រើពន្លឺសម្ពាធទាប inert gas ការហូរចេញដើម្បីបង្កើតអ៊ីយ៉ុង។

ជាទូទៅ គ្រឿងបរិក្ខារផ្លាស្ទិចហ្វីលត្រូវបានបំពាក់ដោយអេឡិចត្រូតពីរនៅក្នុងបន្ទប់បញ្ចេញសុញ្ញកាស ហើយគោលដៅ cathode ត្រូវបានផ្សំឡើងដោយទិន្នន័យថ្នាំកូត។ បន្ទប់បូមធូលីត្រូវបានបំពេញដោយឧស្ម័ន argon ជាមួយនឹងសម្ពាធ 0.1 ~ 10Pa ។ ការបញ្ចេញពន្លឺកើតឡើងនៅ cathode ក្រោមសកម្មភាពនៃតង់ស្យុងខ្ពស់អវិជ្ជមាននៃ 1 ~ 3kV dc ឬ rf voltage នៃ 13.56mhz.Argon ions ទម្លាក់គ្រាប់បែកទៅលើផ្ទៃគោលដៅ ហើយបណ្តាលឱ្យអាតូមគោលដៅដែលបែកខ្ញែកប្រមូលផ្តុំនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។

　　二、លក្ខណៈជំនាញនៃការស្រោបស្រោប

1. ល្បឿនជង់លឿន

ភាពខុសគ្នារវាងអេឡិចត្រូតម៉ាញ៉េទិចដែលមានល្បឿនលឿន និងអេឡិចត្រូតអេឡិចត្រុងដំណាក់កាលពីរបែបប្រពៃណី គឺថាមេដែកត្រូវបានរៀបចំនៅខាងក្រោមគោលដៅ ដូច្នេះវាលម៉ាញេទិកមិនស្មើគ្នាដែលបិទជិតកើតឡើងលើផ្ទៃនៃគោលដៅ។ កម្លាំង lorentz នៅលើអេឡិចត្រុងគឺឆ្ពោះទៅកណ្តាល នៃដែនម៉ាញេទិកខុសគ្នា។ ដោយសារតែឥទ្ធិពលនៃការផ្តោតអារម្មណ៍ អេឡិចត្រុងគេចចេញតិច។ ដែនម៉ាញេទិកខុសធម្មតាទៅជុំវិញផ្ទៃគោលដៅ ហើយអេឡិចត្រុងបន្ទាប់បន្សំដែលចាប់យកក្នុងដែនម៉ាញេទិចមិនស្មើគ្នាបានប៉ះទង្គិចជាមួយម៉ូលេគុលឧស្ម័នម្តងហើយម្តងទៀត ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអត្រាបំប្លែងខ្ពស់នៃម៉ូលេគុលឧស្ម័ន។ ដូច្នេះហើយ អេឡិចត្រុងម៉ាញេទិកល្បឿនលឿនប្រើប្រាស់ថាមពលតិច ប៉ុន្តែ អាចទទួលបានប្រសិទ្ធភាពនៃថ្នាំកូតដ៏អស្ចារ្យ ជាមួយនឹងលក្ខណៈនៃការឆក់ដ៏ល្អ។

2. សីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមគឺទាប

sputtering magnetron ល្បឿនលឿន ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា sputtering សីតុណ្ហភាពទាប។ មូលហេតុគឺដោយសារឧបករណ៍នេះប្រើការបញ្ចេញទឹកក្នុងចន្លោះនៃវាលអេឡិចត្រូម៉ាញេទិកដែលត្រង់ទៅគ្នាទៅវិញទៅមក។ អេឡិចត្រុងបន្ទាប់បន្សំដែលកើតឡើងនៅខាងក្រៅនៃគោលដៅនៅក្នុងគ្នាទៅវិញទៅមក។ នៅក្រោមសកម្មភាពនៃវាលអេឡិចត្រូម៉ាញេទិកត្រង់ វាត្រូវបានចងនៅជិតផ្ទៃគោលដៅ ហើយផ្លាស់ទីតាមបណ្តោយផ្លូវរត់ជារង្វង់មូល ដោយគោះម្តងហើយម្តងទៀតប្រឆាំងនឹងម៉ូលេគុលឧស្ម័ន ដើម្បីបំភាយម៉ូលេគុលឧស្ម័ន។ ជាមួយគ្នា អេឡិចត្រុងខ្លួនឯងបាត់បង់ថាមពលបន្តិចម្តងៗ តាមរយៈ រលាក់ម្តងហើយម្តងទៀត រហូតដល់ថាមពលរបស់ពួកគេស្ទើរតែបាត់បង់ទាំងស្រុង មុនពេលដែលពួកគេអាចគេចចេញពីផ្ទៃនៃគោលដៅនៅជិតស្រទាប់ខាងក្រោម។ ដោយសារថាមពលរបស់អេឡិចត្រុងមានកម្រិតទាប សីតុណ្ហភាពនៃគោលដៅមិនឡើងខ្ពស់ពេកទេ។ នោះជាការគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីទប់ទល់នឹងការកើនឡើងសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមដែលបណ្តាលមកពីការទម្លាក់គ្រាប់បែកអេឡិចត្រុងថាមពលខ្ពស់នៃការបាញ់ diode ធម្មតាដែលបញ្ចប់ការ cryogenization ។

3. ជួរដ៏ធំទូលាយនៃរចនាសម្ព័ន្ធភ្នាស

រចនាសម្ព័ននៃខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលទទួលបានដោយការហួតដោយសុញ្ញកាស និងការចាក់បញ្ចូលទឹក គឺមានភាពខុសប្លែកគ្នាយ៉ាងខ្លាំងពីអ្វីដែលទទួលបានដោយសារធាតុរឹងស្តើង។ ផ្ទុយទៅនឹងវត្ថុធាតុរឹងដែលមានស្រាប់ជាទូទៅ ដែលត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ជារចនាសម្ព័ន្ធដូចគ្នាជាបីវិមាត្រ ខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ក្នុងដំណាក់កាលឧស្ម័នត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ថាជារចនាសម្ព័ន្ធខុសគ្នា។ ខ្សែភាពយន្តស្តើងមានលក្ខណៈជាជួរឈរ ហើយអាចត្រូវបានស៊ើបអង្កេតដោយការស្កែនមីក្រូទស្សន៍អេឡិចត្រុង។ ការលូតលាស់ជួរឈរនៃខ្សែភាពយន្តគឺបណ្តាលមកពីផ្ទៃប៉ោងដើមនៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងស្រមោលមួយចំនួននៅក្នុងផ្នែកលេចធ្លោនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ រូបរាង និងទំហំនៃជួរឈរមានភាពខុសគ្នាខ្លាំង ដោយសារសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោម ការបែកខ្ចាត់ខ្ចាយនៃផ្ទៃនៃអាតូមដែលជាប់គាំង ការកប់អាតូមមិនបរិសុទ្ធ និងឧបទ្ទវហេតុមុំនៃអាតូមឧបទ្ទវហេតុទាក់ទងទៅនឹងផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ នៅក្នុងជួរសីតុណ្ហភាពខ្លាំងពេក ខ្សែភាពយន្តស្តើងមានរចនាសម្ព័ន្ធសរសៃ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ ផ្សំឡើងពីគ្រីស្តាល់ columnar ដ៏ល្អ ដែលជារចនាសម្ព័ន្ធតែមួយគត់នៃខ្សែភាពយន្ត sputtering ។

សម្ពាធស្ពែម និងល្បឿនជង់ខ្សែភាពយន្តក៏ប៉ះពាល់ដល់រចនាសម្ព័ន្ធនៃខ្សែភាពយន្តផងដែរ។ ដោយសារម៉ូលេគុលឧស្ម័នមានឥទ្ធិពលទប់ស្កាត់ការបែកខ្ចាត់ខ្ចាយនៃអាតូមលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម ឥទ្ធិពលនៃសំពាធខ្ពស់គឺសមរម្យសម្រាប់ការធ្លាក់ចុះសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមនៅក្នុងគំរូ។ ដូច្នេះខ្សែភាពយន្ត porous ដែលមានគ្រាប់ធញ្ញជាតិល្អអាចទទួលបាននៅសម្ពាធ sputtering ខ្ពស់។ ខ្សែភាពយន្តទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិតូចនេះគឺសមរម្យសម្រាប់ការបញ្ចេញទឹករំអិល ធន់នឹងការពាក់ ការឡើងរឹងលើផ្ទៃ និងកម្មវិធីមេកានិចផ្សេងទៀត។

4. រៀបចំសមាសភាពឱ្យស្មើគ្នា

សមាសធាតុ ល្បាយ យ៉ាន់ស្ព័រ។ល។ ដែលពិបាកនឹងស្រោបដោយការហួតដោយសុញ្ញកាស ដោយសារសម្ពាធចំហាយនៃសមាសធាតុមានភាពខុសគ្នា ឬដោយសារវាខុសគ្នានៅពេលឡើងកំដៅ។ វិធីសាស្ត្រថ្នាំកូត Sputtering គឺដើម្បីធ្វើឱ្យស្រទាប់ផ្ទៃគោលដៅនៃស្រទាប់អាតូមដោយស្រទាប់។ ចំពោះស្រទាប់ខាងក្រោម ក្នុងន័យនេះ គឺជាជំនាញបង្កើតខ្សែភាពយន្តដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ សម្ភារៈគ្រប់ប្រភេទអាចត្រូវបានប្រើនៅក្នុងការផលិតថ្នាំកូតឧស្សាហកម្មដោយ sputtering ។