Sputtering titanium alloy target និង titanium metal ផ្សំឡើងដោយ titanium ដូច្នេះព័ត៌មានគឺប្រហែលដូចគ្នា ប៉ុន្តែភាពខុសគ្នារវាងទាំងពីរគឺសំខាន់នៅក្នុង sputtering titanium alloy target គឺធ្វើពីលោហៈទីតាញ៉ូមតាមវិធីជាច្រើន ហើយទីតាញ៉ូមកើតឡើងនៅក្នុងធម្មជាតិ។ រ៉ែទីតានីញ៉ូម។ គោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូមអាចត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងប្រភេទការងារជាច្រើន ឥឡូវនេះអ្នកនិពន្ធរបស់ Beijing Richmat បានសង្ខេបគោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូមទូទៅមួយចំនួនក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃការប្រើប្រាស់ស្ថានភាព ដើម្បីផ្តល់ឱ្យយើងនូវការណែនាំលម្អិត។
ន
一、Ti គោលដៅសម្រាប់សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា
តំរូវការសម្រាប់ការបញ្ជូលគោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូមមានភាពខុសប្លែកគ្នារវាងសៀគ្វីមិនរួមបញ្ចូលគ្នា និងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ ជាទូទៅ សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាមានតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់ទិន្នន័យថ្នាំកូត ដូចជាភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិតូចជាង និងភាពត្រឹមត្រូវនៃមាត្រដ្ឋានត្រឹមត្រូវ។ ភាពបរិសុទ្ធនៃគោលដៅទីតានីញ៉ូមនៅក្នុងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាគឺធំជាង 99.995% ដែលខ្ពស់ជាងដែលប្រើនៅក្នុងការមិនរួមបញ្ចូល។ សៀគ្វីដែលបង្ហាញថាការប្រើប្រាស់ផ្សេងគ្នានៃតម្រូវការគោលដៅទីតានីញ៉ូមគឺខុសគ្នាខ្លាំងណាស់។
二、Ti គោលដៅសម្រាប់ការបង្ហាញបន្ទះរាបស្មើ
គោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រទីតាញ៉ូមដែលប្រើក្នុងអេក្រង់រាបស្មើ រួមមានការបង្ហាញគ្រីស្តាល់រាវ ការបង្ហាញប្លាស្មា ការបង្ហាញអេឡិចត្រូលីតពន្លឺ និងការបង្ហាញការបំភាយវាល។ ខ្សែភាពយន្តស្តើងនៃអេក្រង់រាបស្មើគឺជាវិធីសាស្ត្របង្កើតទម្រង់ស្ពែម Al, Cu, Ti និង Mo គឺជាគោលដៅដែកចម្បងសម្រាប់បន្ទះរាបស្មើ។ displays.ភាពបរិសុទ្ធនៃគោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូមសម្រាប់ការបង្ហាញបន្ទះសំប៉ែតជាធម្មតាធំជាង 99.9%។
三、Ti គោលដៅសម្រាប់សម្ភារៈតុបតែង
សម្ភារៈគោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់មានភាពធន់ទ្រាំនឹងការច្រេះខ្យល់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ការប្រើប្រាស់រយៈពេលយូរនៅក្នុងខ្យល់មិនផ្លាស់ប្តូរពណ៌ ដើម្បីធានាថាពណ៌ដើមរបស់ទីតានីញ៉ូម និងទំនាក់ទំនងរបស់មនុស្សគឺមិនមានតិកម្មទំនាស់ និងលក្ខណៈដ៏ល្អឥតខ្ចោះផ្សេងទៀត។ ដូច្នេះ ទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ក៏អាចប្រើជាសម្ភារៈតុបតែងបានដែរ ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ដូចជាខ្សែដៃ នាឡិកា និងវ៉ែនតា និងគ្រឿងតុបតែងផ្សេងៗទៀតដែលមានភាពបរិសុទ្ធទីតានីញ៉ូមបានឈានដល់កម្រិត 5N ។
四、Ti គោលដៅសម្រាប់ប្រព័ន្ធបូមធូលីខ្ពស់ជ្រុល
ក្នុងនាមជាលោហៈធាតុគីមី ទីតាញ៉ូមអាចប្រតិកម្មជាមួយនឹងធាតុ និងសមាសធាតុជាច្រើននៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ គោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់មានសមត្ថភាពស្រូបយកឧស្ម័នសកម្ម (ដូចជា O2, N2, CO, CO2, ចំហាយទឹកលើសពី 650°C) ហើយខ្សែភាពយន្ត Ti ដែលហួតនៅលើជញ្ជាំងស្នប់អាចបង្កើតជាផ្ទៃជាមួយនឹងប្រសិទ្ធភាពស្រូបយកខ្ពស់ . ទ្រព្យសម្បត្តិនេះធ្វើឱ្យ Ti ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយជាអ្នកទទួលនៅក្នុងប្រព័ន្ធទាញយកឧស្ម័នសុញ្ញកាសដែលមានកម្រិតខ្ពស់បំផុត។ ប្រសិនបើប្រើដើម្បីកែលម្អស្នប់ ស្នប់អ៊ីយ៉ុង sputtering ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ២៥-មេសា-២០២២