ការប្រុងប្រយ័ត្នចំពោះគោលដៅលោហធាតុ

1. ការរៀបចំ Sputtering

វាមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់ក្នុងការរក្សាបន្ទប់បូមធូលី ជាពិសេសប្រព័ន្ធបញ្ចេញទឹកឱ្យស្អាត។ សំណល់ណាមួយដែលបង្កើតឡើងដោយប្រេងរំអិល ធូលី និងថ្នាំកូតមុននឹងប្រមូលចំហាយទឹក និងការបំពុលផ្សេងៗ ដែលនឹងប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់កម្រិតខ្វះចន្លោះ និងបង្កើនលទ្ធភាពនៃការបរាជ័យនៃការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត។ សៀគ្វីខ្លី ឬ​ការប៉ះទង្គិច​គោលដៅ ផ្ទៃ​ខ្សែភាពយន្ត​រដិបរដុប និង​សារធាតុ​មិនបរិសុទ្ធ​គីមី​ច្រើន​ហួសហេតុ​ច្រើន​តែ​បង្កឡើង​ដោយ​អង្គជំនុំជម្រះ​មិន​ស្អាត កាំភ្លើង​បាញ់ និង​គោលដៅ។ ដើម្បីប្រកាន់ខ្ជាប់នូវលក្ខណៈនៃសមាសភាពនៃថ្នាំកូតវាចាំបាច់ត្រូវសម្អាតនិងសម្ងួតឧស្ម័ន sputtering (argon ឬអុកស៊ីសែន) ។ បន្ទាប់ពីស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានដំឡើងនៅក្នុងបន្ទប់ sputtering chamber ខ្យល់ត្រូវស្រង់ចេញដើម្បីទៅដល់កន្លែងទំនេរដែលត្រូវការដោយដំណើរការ។ គម្របការពារនៅកន្លែងងងឹត ជញ្ជាំងបែហោងធ្មែញ និងផ្ទៃដែលនៅជាប់គ្នាក៏ត្រូវរក្សាឱ្យស្អាតផងដែរ។ នៅពេលសម្អាតបន្ទប់បូមធូលី យើងតស៊ូមតិដោយប្រើការបាញ់ផ្លោងកញ្ចក់ដើម្បីព្យាបាលផ្នែកដែលមានធូលី រួមជាមួយនឹងខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ ដើម្បីយកសំណល់ដែលលេចចេញដំបូងនៅជុំវិញបន្ទប់នោះ ហើយបន្ទាប់មកសម្អាតផ្ទៃខាងក្រៅដោយស្ងាត់ស្ងៀមជាមួយនឹងក្រដាសខ្សាច់ដែលមានសារធាតុអាលុយមីញ៉ូម។ បនា្ទាប់ពីដុសខាត់ក្រដាសមារៈបង់រុំវាត្រូវបានសម្អាតដោយអាល់កុលអាសេតូននិងទឹក deionized ។ រួមគ្នា វាគាំទ្រការប្រើប្រាស់ម៉ាស៊ីនបូមធូលីឧស្សាហកម្មសម្រាប់ការសម្អាតជំនួយ។ គោលដៅដែលផលិតដោយដែក Gaozhan ត្រូវបានខ្ចប់ក្នុងថង់ផ្លាស្ទិចបិទជិតដោយខ្វះចន្លោះ។

បង្កើតឡើងនៅក្នុងភ្នាក់ងារការពារសំណើម។ នៅពេលប្រើគោលដៅ សូមកុំប៉ះគោលដៅដោយផ្ទាល់ដោយដៃរបស់អ្នក។ ចំណាំ៖ នៅពេលប្រើប្រាស់គោលដៅ សូមពាក់ស្រោមដៃថែទាំដែលស្អាត និងមិនមានជាតិសរសៃ។ កុំប៉ះគោលដៅដោយផ្ទាល់ដោយដៃរបស់អ្នក។

2. ការសម្អាតគោលដៅ

គោលបំណងនៃការសម្អាតគោលដៅគឺដើម្បីលុបធូលី ឬភាពកខ្វក់ដែលអាចមានលើផ្ទៃគោលដៅ។

គោលដៅលោហៈអាចត្រូវបានសម្អាតជាបួនជំហាន,

ជំហានដំបូងគឺត្រូវសម្អាតដោយក្រណាត់ទន់គ្មានជាតិសរសៃដែលត្រាំក្នុងអាសេតូន។

ជំហានទីពីរគឺស្រដៀងទៅនឹងជំហានដំបូង ការលាងសម្អាតជាមួយនឹងជាតិអាល់កុល;

ជំហានទី 3: លាងសម្អាតដោយទឹក deionized ។ បន្ទាប់ពីលាងសម្អាតដោយទឹក deionized ដាក់គោលដៅនៅក្នុង oven និងស្ងួតវានៅ 100 ℃សម្រាប់ 30 នាទី។

ការសម្អាតគោលដៅអុកស៊ីត និងសេរ៉ាមិចត្រូវធ្វើឡើងដោយ "ក្រណាត់គ្មានជាតិសរសៃ"។

ជំហានទីបួនគឺត្រូវលាងសម្អាតគោលដៅដោយប្រើ argon ជាមួយនឹងសម្ពាធខ្ពស់ និងឧស្ម័នទឹកទាប បន្ទាប់ពីយកកន្លែងដែលមានធូលីចេញ ដើម្បីលុបភាគល្អិតមិនបរិសុទ្ធទាំងអស់ដែលអាចបង្កើតជាធ្នូនៅក្នុងប្រព័ន្ធ sputtering ។

3, ឧបករណ៍គោលដៅ

នៅក្នុងដំណើរការនៃការដំឡើងគោលដៅ ការប្រុងប្រយ័ត្នសំខាន់ៗ Z គឺដើម្បីធានាបាននូវទំនាក់ទំនងកម្ដៅដ៏ល្អរវាងគោលដៅ និងជញ្ជាំងត្រជាក់នៃកាំភ្លើងបាញ់។ ប្រសិនបើ warpage របស់ cooling stave មានសភាពធ្ងន់ធ្ងរ ឬ warpage នៃ back plate ធ្ងន់ធ្ងរ ឧបករណ៍គោលដៅនឹងប្រេះ ឬ ពត់ ហើយ conductivity កំដៅពី back target ទៅ target នឹងត្រូវបានប៉ះពាល់យ៉ាងខ្លាំង ដែលបណ្តាលឱ្យមានការបរាជ័យនៃ heat dissipation នៅក្នុងដំណើរការ sputtering ហើយគោលដៅនឹងបំបែក ឬខកខាន

ដើម្បីធានាបាននូវចរន្តកំដៅ ស្រទាប់ក្រដាសក្រាហ្វីតអាចត្រូវបានដាក់នៅចន្លោះជញ្ជាំងត្រជាក់ cathode និងគោលដៅ។ សូមយកចិត្តទុកដាក់ពិនិត្យដោយប្រុងប្រយ័ត្ន និងធ្វើឱ្យច្បាស់នូវភាពរាបស្មើនៃជញ្ជាំងត្រជាក់នៃកាំភ្លើងបាញ់ទឹកដែលប្រើ ដើម្បីធានាថា O-ring នៅនឹងកន្លែងជានិច្ច។

ដោយសារភាពស្អាតនៃទឹកត្រជាក់ដែលបានប្រើ និងធូលីដែលអាចកើតឡើងកំឡុងពេលប្រតិបត្តិការឧបករណ៍នឹងត្រូវបានដាក់ក្នុងធុងទឹកត្រជាក់ cathode នោះ ចាំបាច់ត្រូវពិនិត្យ និងសម្អាតធុងទឹកត្រជាក់ cathode នៅពេលដំឡើងគោលដៅ ដើម្បីធានាបាននូវភាពរលូន។ លំហូរនៃទឹកត្រជាក់ ហើយថាច្រកចូល និងព្រីនឹងមិនត្រូវបានរារាំងឡើយ។

cathodes មួយចំនួនត្រូវបានគ្រោងទុកដើម្បីឱ្យមានចន្លោះតូចមួយជាមួយ anode ដូច្នេះនៅពេលដំឡើងគោលដៅវាត្រូវបានទាមទារដើម្បីធានាថាមិនមានការប៉ះឬ conductor រវាង cathode និង anode បើមិនដូច្នោះទេសៀគ្វីខ្លីនឹងកើតឡើង។

សូមមើលសៀវភៅណែនាំរបស់ប្រតិបត្តិករឧបករណ៍សម្រាប់ព័ត៌មានអំពីរបៀបដំណើរការគោលដៅឱ្យបានត្រឹមត្រូវ។ ប្រសិនបើមិនមានព័ត៌មានបែបនេះនៅក្នុងសៀវភៅណែនាំអ្នកប្រើប្រាស់ទេ សូមព្យាយាមដំឡើងឧបករណ៍នេះបើយោងតាមការផ្ដល់យោបល់ពាក់ព័ន្ធដែលផ្តល់ដោយ Gaozhan metal។ នៅពេលរឹតបន្តឹងឧបករណ៍កំណត់គោលដៅ ដំបូងត្រូវរឹតបន្តឹងប៊ូឡុងមួយដោយដៃ ហើយបន្ទាប់មករឹតបន្តឹងប៊ូឡុងមួយទៀតនៅលើអង្កត់ទ្រូងដោយដៃ។ ធ្វើម្តងទៀតរហូតទាល់តែប៊ូឡុងទាំងអស់នៅលើឧបករណ៍ត្រូវបានរឹតបន្តឹង ហើយបន្ទាប់មករឹតបន្តឹងជាមួយនឹងអ្វីមួយ។

4, ការត្រួតពិនិត្យសៀគ្វីខ្លីនិងតឹង

បន្ទាប់ពីការបញ្ចប់នៃឧបករណ៍គោលដៅវាត្រូវបានទាមទារដើម្បីពិនិត្យមើលសៀគ្វីខ្លីនិងភាពតឹងនៃ cathode ទាំងមូល,

វាត្រូវបានស្នើឡើងដើម្បីកំណត់ថាតើមានសៀគ្វីខ្លីនៅក្នុង cathode ដោយប្រើម៉ែត្រធន់ទ្រាំ

ការរើសអើងជួរ។ បន្ទាប់ពីបានបញ្ជាក់ថាមិនមានសៀគ្វីខ្លីនៅក្នុង cathode ការរកឃើញលេចធ្លាយអាចត្រូវបានអនុវត្តហើយទឹកអាចត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុង cathode ដើម្បីបញ្ជាក់ថាមានការលេចធ្លាយទឹក។

5, គោលដៅមុន sputtering

គោលដៅមុន sputtering តស៊ូមតិសុទ្ធ argon sputtering ដែលអាចសម្អាតផ្ទៃនៃគោលដៅ។ នៅពេលដែលគោលដៅត្រូវបាន sputtered ជាមុន វាត្រូវបានតស៊ូមតិដើម្បីបង្កើនថាមពល sputtering យឺត ហើយអត្រាបង្កើនថាមពលនៃគោលដៅសេរ៉ាមិចគឺ 1.5WH / cm2 ។ ល្បឿននៃការបាញ់មុននៃគោលដៅលោហៈអាចខ្ពស់ជាងប្លុកគោលដៅសេរ៉ាមិច ហើយអត្រាបង្កើនថាមពលសមរម្យគឺ 1.5WH / cm2 ។

នៅក្នុងដំណើរការនៃការ sputtering ជាមុន យើងត្រូវពិនិត្យមើល arcing នៃគោលដៅ។ ពេលវេលា​មុន​ការ​បាញ់​ទឹក​គឺ​ជា​ទូទៅ​ប្រហែល 10 នាទី។ ប្រសិនបើមិនមានបាតុភូត arcing, បន្តបង្កើនថាមពល sputtering

ទៅថាមពលដែលបានកំណត់។ យោងទៅតាមបទពិសោធន៍ ថាមពលបញ្ចេញសំឡេងខ្ពស់ Z ដែលអាចទទួលយកបាននៃគោលដៅលោហៈគឺ

25watts / cm2, 10watts / cm2 សម្រាប់គោលដៅសេរ៉ាមិច។ សូមយោងទៅលើមូលដ្ឋាននៃការកំណត់ និងបទពិសោធន៍នៃសម្ពាធក្នុងបន្ទប់បូមធូលី កំឡុងពេលបញ្ចេញទឹកនៅក្នុងសៀវភៅណែនាំប្រតិបត្តិការប្រព័ន្ធរបស់អ្នកប្រើប្រាស់។ ជាទូទៅវាគួរតែត្រូវបានធានាថាសីតុណ្ហភាពទឹកនៅព្រីភ្លើងនៃទឹកត្រជាក់គួរតែទាបជាង 35 ℃ ប៉ុន្តែ Z វាជាការសំខាន់ដើម្បីធានាថាប្រព័ន្ធចរាចរនៃទឹកត្រជាក់អាចដំណើរការប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។

លំហូរយ៉ាងលឿននៃទឹក supercooling យកកំដៅចេញ ដែលជាការធានាដ៏សំខាន់មួយដើម្បីធានាបាននូវ sputtering ជាបន្តបន្ទាប់ជាមួយនឹងថាមពលខ្ពស់។ សម្រាប់គោលដៅលោហៈវាត្រូវបានតស៊ូមតិជាទូទៅថាលំហូរទឹកត្រជាក់គឺ

សម្ពាធទឹក 20lpm គឺប្រហែល 5gmp; សម្រាប់គោលដៅសេរ៉ាមិច វាត្រូវបានតស៊ូមតិជាទូទៅថា លំហូរទឹកគឺ 30lpm និងសម្ពាធទឹកគឺប្រហែល 9gmp

6. ការថែរក្សាគោលដៅ

ដើម្បីបងា្ករការសៀគ្វីខ្លីនិង arcing ដែលបណ្តាលមកពីបែហោងធ្មែញមិនស្អាតនៅក្នុងដំណើរការ sputtering វាចាំបាច់ត្រូវដក sputter ដែលប្រមូលផ្តុំនៅកណ្តាលនិងភាគីទាំងពីរនៃផ្លូវ sputtering ជាដំណាក់កាល។

នេះ​ក៏​ជួយ​អ្នក​ប្រើ​ឱ្យ​បន្ត​ស្ពែម​នៅ​ដង់ស៊ីតេ​ថាមពល​ខ្ពស់​ផងដែរ។

7, ការផ្ទុកគោលដៅ

គោលដៅដែលផ្តល់ដោយដែក Gaozhan ត្រូវបានខ្ចប់ក្នុងថង់ផ្លាស្ទិចបូមធូលីពីរជាន់។ យើងតស៊ូមតិថាអ្នកប្រើប្រាស់រក្សាគោលដៅមិនថាលោហៈ ឬសេរ៉ាមិច នៅក្នុងការវេចខ្ចប់ដោយខ្វះចន្លោះ។ ជាពិសេស គោលដៅនៃការភ្ជាប់ត្រូវរក្សាទុកនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះ ដើម្បីទប់ស្កាត់អុកស៊ីតកម្មនៃស្រទាប់ផ្សារភ្ជាប់ពីការប៉ះពាល់ដល់គុណភាពនៃការផ្សារភ្ជាប់។ ទាក់ទងនឹងការវេចខ្ចប់គោលដៅលោហៈ យើងតស៊ូមតិថា Z គួរតែត្រូវបានវេចខ្ចប់ក្នុងថង់ប្លាស្ទិកស្អាត