ការអនុវត្ត និងគោលការណ៍នៃការបាញ់ផ្លោងគោលដៅ

អំពីកម្មវិធី និងគោលការណ៍នៃបច្ចេកវិទ្យាគោលដៅ sputtering អតិថិជនមួយចំនួនបានពិគ្រោះជាមួយ RSM ឥឡូវនេះសម្រាប់បញ្ហានេះដែលមានការព្រួយបារម្ភកាន់តែខ្លាំង អ្នកជំនាញបច្ចេកទេសចែករំលែកចំណេះដឹងពាក់ព័ន្ធជាក់លាក់មួយចំនួន។

　　កម្មវិធីគោលដៅ Sputtering៖

ភាគល្អិតនៃការសាកថ្ម (ដូចជា argon ions) ទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃរឹង បណ្តាលឱ្យភាគល្អិតលើផ្ទៃ ដូចជា អាតូម ម៉ូលេគុល ឬបណ្តុំដើម្បីគេចចេញពីផ្ទៃវត្ថុដែលហៅថា "sputtering" ។ នៅក្នុងថ្នាំកូត magnetron sputtering អ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមានដែលបង្កើតដោយ argon ionization ជាធម្មតាត្រូវបានប្រើដើម្បីបំផ្ទុះវត្ថុរឹង (គោលដៅ) ហើយអាតូមអព្យាក្រឹតដែលខ្ចាត់ខ្ចាយត្រូវបានដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ( workpiece) ដើម្បីបង្កើតស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។ ការស្រោបដោយមេដែកមានលក្ខណៈពិសេសពីរគឺ "សីតុណ្ហភាពទាប" និង "លឿន" ។

　　គោលការណ៍នៃការបាញ់មេដែក៖

វាលម៉ាញេទិក orthogonal និងវាលអគ្គិសនីត្រូវបានបន្ថែមរវាងបង្គោលគោលដៅ (cathode) និង anode ហើយឧស្ម័នអសកម្មដែលត្រូវការ (ជាធម្មតាឧស្ម័ន Ar) ត្រូវបានបំពេញនៅក្នុងបន្ទប់ទំនេរខ្ពស់។ មេដែកអចិន្ត្រៃយ៍បង្កើតជាដែនម៉ាញេទិច 250-350 Gauss នៅលើផ្ទៃនៃវត្ថុធាតុគោលដៅ ហើយបង្កើតជាវាលអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចអ័រតូហ្គោនជាមួយនឹងវាលអគ្គិសនីតង់ស្យុងខ្ពស់។

នៅក្រោមសកម្មភាពនៃវាលអគ្គិសនី ឧស្ម័ន Ar ត្រូវបាន ionized ទៅជាអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមាន និងអេឡិចត្រុង ហើយមានសម្ពាធខ្ពស់អវិជ្ជមានជាក់លាក់មួយនៅលើគោលដៅ ដូច្នេះអេឡិចត្រុងដែលបញ្ចេញចេញពីបង្គោលគោលដៅត្រូវបានប៉ះពាល់ដោយវាលម៉ាញេទិក និងប្រូបាប៊ីលីតេអ៊ីយ៉ូដនៃដំណើរការ។ ឧស្ម័នកើនឡើង។ ប្លាស្មាដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅជិត cathode ហើយ Ar ions បង្កើនល្បឿនទៅលើផ្ទៃគោលដៅក្រោមសកម្មភាពរបស់កម្លាំង Lorentz ហើយទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃគោលដៅក្នុងល្បឿនលឿន ដូច្នេះអាតូមដែលបែកនៅលើគោលដៅគេចចេញពីផ្ទៃគោលដៅដោយកម្រិតខ្ពស់។ ថាមពល kinetic និងហោះហើរទៅកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តមួយយោងទៅតាមគោលការណ៍នៃការបំប្លែងសន្ទុះ។

ជាទូទៅ​ការ​បញ្ចេញ​មេដែក​ត្រូវ​បាន​បែងចែក​ជា​ពីរ​ប្រភេទ​គឺ DC sputtering និង RF sputtering ។ គោលការណ៍នៃឧបករណ៍ DC sputtering គឺសាមញ្ញ ហើយអត្រាគឺលឿននៅពេលដែក sputtering ។ ការប្រើប្រាស់ RF sputtering គឺកាន់តែទូលំទូលាយ បន្ថែមពីលើការ sputtering សមា្ភារៈ conductive ប៉ុន្តែក៏ sputtering សមា្ភារៈ non-conductive ប៉ុន្តែក៏មាន reactive sputtering រៀបចំ oxides, nitrides និង carbides និងសមា្ភារៈសមាសធាតុផ្សេងទៀត។ ប្រសិនបើប្រេកង់នៃ RF កើនឡើងនោះវាក្លាយទៅជាមីក្រូវ៉េវប្លាស្មា។ នាពេលបច្ចុប្បន្ន អេឡិចត្រុងស៊ីក្លូតុងរ៉េសូណង់ (ECR) ប្រភេទមីក្រូវ៉េវប្លាស្មា ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅ។