ការប្រើប្រាស់សម្ភារៈគោលដៅយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងវិជ្ជាជីវៈផ្សេងៗ ធ្វើឱ្យតម្រូវការសម្ភារៈគោលដៅកើនឡើង និងខ្ពស់ជាង។ ខាងក្រោមនេះ យើងនឹង ណែនាំដោយសង្ខេប អ្នក តើអ្វីទៅជាតម្រូវការមុខងារចម្បងនៃគោលដៅ, ហបing ដើម្បីជួយអ្នក។
ភាពបរិសុទ្ធ៖ ភាពបរិសុទ្ធគឺជាសូចនាករមុខងារចម្បងមួយរបស់គោលដៅ ព្រោះភាពបរិសុទ្ធនៃគោលដៅមានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើមុខងាររបស់ខ្សែភាពយន្ត។ ប៉ុន្តែនៅក្នុងការអនុវត្តភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈគោលដៅគឺមិនដូចគ្នាទេ។ ឧទាហរណ៍ជាមួយនឹងការរីកចម្រើនយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃវិជ្ជាជីវៈមីក្រូអេឡិចត្រូនិចទំហំនៃស៊ីលីកុន wafer បានអភិវឌ្ឍពី 6 ", 8 "ទៅ 12" ហើយទទឹងខ្សែភ្លើងបានថយចុះពី 0.5um ទៅ 0.25um, 0.18um និងសូម្បីតែ 0.13um ។ នៅពេលដែល 99.995% នៃភាពបរិសុទ្ធគោលដៅអាចបំពេញតាមតម្រូវការបច្ចេកវិទ្យា 0.35UMIC ។ ការរៀបចំបន្ទាត់ 0.18um ទាមទារភាពបរិសុទ្ធ 99.999% ឬសូម្បីតែ 99.9999% នៃសម្ភារៈគោលដៅ។
ដង់ស៊ីតេ៖ ដើម្បីកាត់បន្ថយភាពផុយស្រួយនៅក្នុងវត្ថុរឹងគោលដៅ និងធ្វើឱ្យមុខងាររបស់ស្ពែតទ័រមានភាពប្រសើរឡើង គោលដៅជាធម្មតាត្រូវបានទាមទារឱ្យមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់។ ដង់ស៊ីតេនៃគោលដៅប៉ះពាល់ដល់មិនត្រឹមតែអត្រានៃការបញ្ចេញទឹករំអិលប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏មានលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី និងអុបទិកនៃខ្សែភាពយន្តផងដែរ។ ដង់ស៊ីតេគោលដៅកាន់តែខ្ពស់ មុខងាររបស់ខ្សែភាពយន្តកាន់តែប្រសើរ។ លើសពីនេះ ដង់ស៊ីតេ និងភាពរឹងមាំនៃវត្ថុធាតុគោលដៅត្រូវបានកើនឡើង ដើម្បីធ្វើឱ្យវាអាចទប់ទល់នឹងភាពតានតឹងកម្ដៅបានកាន់តែប្រសើរឡើងក្នុងអំឡុងពេលនៃការបាញ់ទឹក។ ដង់ស៊ីតេក៏ជាសូចនាករមុខងារសំខាន់មួយនៃសារធាតុគោលដៅផងដែរ។
មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ៖ ភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងវត្ថុរឹងគោលដៅ និងអុកស៊ីសែន និងចំហាយទឹកនៅក្នុងរន្ធញើសគឺជាប្រភពបំពុលចម្បងនៃខ្សែភាពយន្តបង្គរ។ វត្ថុធាតុគោលដៅផ្សេងៗគ្នាសម្រាប់គោលបំណងផ្សេងៗគ្នាមានតម្រូវការខុសៗគ្នាសម្រាប់មាតិកាមិនបរិសុទ្ធខុសៗគ្នា។ ឧទាហរណ៍ គោលដៅអាលុយមីញ៉ូមសុទ្ធ និងអាលុយមីញ៉ូមដែលប្រើក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor មានតម្រូវការពិសេសសម្រាប់មាតិកាលោហៈអាល់កាឡាំង និងមាតិកាធាតុវិទ្យុសកម្ម។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មិថុនា-០៦-២០២២