មិត្តភ័ក្តិជាច្រើនអំពីការថែទាំគោលដៅ មានចម្ងល់តិចឬច្រើន ថ្មីៗនេះក៏មានអតិថិជនជាច្រើនបានប្រឹក្សាអំពីការថែទាំបញ្ហាទាក់ទងនឹងគោលដៅ សូមអោយអ្នកកែសំរួលរបស់ RSM អោយពួកយើងចែករំលែកអំពីចំនេះដឹងនៃការថែទាំគោលដៅ sputtering ។
តើត្រូវរក្សាគោលដៅ sputter យ៉ាងដូចម្តេច?
1. ការថែរក្សាគោលដៅ
ដើម្បីជៀសវាងការសៀគ្វីខ្លី និង arcing ដែលបណ្តាលមកពីបែហោងធ្មែញមិនស្អាតនៅក្នុងដំណើរការ sputtering វាចាំបាច់ដើម្បីដក sputters ដែលប្រមូលផ្តុំនៅកណ្តាលនិងភាគីទាំងពីរនៃ sputtering track ដែលជួយអ្នកប្រើប្រាស់បន្ត sputter នៅដង់ស៊ីតេថាមពលខ្ពស់។
2, ការផ្ទុកគោលដៅ
យើងសូមណែនាំឱ្យអ្នកប្រើប្រាស់រក្សាទុកគោលដៅ (មិនថាលោហៈ ឬសេរ៉ាមិច) នៅក្នុងការវេចខ្ចប់ដោយខ្វះចន្លោះ ជាពិសេសគោលដៅសមត្រូវតែរក្សាទុកក្នុងកន្លែងទំនេរដើម្បីការពារការកត់សុីនៃស្រទាប់សមពីការប៉ះពាល់ដល់គុណភាពសម។ ចំពោះការវេចខ្ចប់គោលដៅដែក យើងស្នើថាពួកគេគួរតែខ្ចប់ក្នុងថង់ប្លាស្ទិកស្អាតយ៉ាងហោចណាស់។
3. ការសម្អាតគោលដៅ
ជំហានដំបូងគឺត្រូវសម្អាតដោយក្រណាត់ទន់គ្មានជាតិសរសៃដែលត្រាំក្នុងអាសេតូន។
ជំហានទីពីរគឺស្រដៀងទៅនឹងជំហានដំបូង ការលាងសម្អាតជាមួយនឹងជាតិអាល់កុល;
ជំហានទី 3: លាងសម្អាតដោយទឹក deionized ។ បន្ទាប់ពីការលាងសម្អាតជាមួយនឹងទឹក deionized គោលដៅត្រូវបានដាក់នៅក្នុង oven និងស្ងួតហួតហែងនៅ 100 ℃សម្រាប់ 30 នាទី។ វាត្រូវបានស្នើឱ្យប្រើ "ក្រណាត់គ្មានក្រណាត់" ដើម្បីសម្អាតគោលដៅអុកស៊ីដ និងសេរ៉ាមិច។
ជំហានទីបួនគឺត្រូវលាងសម្អាតគោលដៅជាមួយ argon ជាមួយនឹងសម្ពាធខ្ពស់ និងសំណើមទាប ដើម្បីលុបភាគល្អិតដែលមិនបរិសុទ្ធដែលអាចបណ្តាលឱ្យមានធ្នូនៅក្នុងប្រព័ន្ធ sputtering ។
4, ការត្រួតពិនិត្យសៀគ្វីខ្លីនិងតឹង
បន្ទាប់ពីការដំឡើងគោលដៅ cathode ទាំងមូលត្រូវការការត្រួតពិនិត្យសម្រាប់សៀគ្វីខ្លីនិងភាពតឹង។ វាត្រូវបានផ្ដល់អនុសាសន៍ឱ្យវិនិច្ឆ័យថាតើមានសៀគ្វីខ្លីនៅក្នុង cathode ដោយប្រើម៉ែត្រធន់ទ្រាំនិង megger ។ បន្ទាប់ពីបានបញ្ជាក់ថាមិនមានសៀគ្វីខ្លីនៅក្នុង cathode ការត្រួតពិនិត្យការលេចធ្លាយទឹកអាចត្រូវបានអនុវត្តហើយទឹកអាចត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុង cathode ដើម្បីកំណត់ថាតើមានការលេចធ្លាយទឹក។
5. ការវេចខ្ចប់ និងដឹកជញ្ជូន
គោលដៅទាំងអស់ត្រូវបានខ្ចប់ក្នុងថង់ផ្លាស្ទិចបិទជិតដោយខ្វះចន្លោះជាមួយនឹងភ្នាក់ងារការពារសំណើម។ កញ្ចប់ខាងក្រៅជាទូទៅគឺជាប្រអប់ឈើដែលមានស្រទាប់ប្រឆាំងនឹងការប៉ះទង្គិចជុំវិញដើម្បីការពារគោលដៅ និងយន្តហោះខាងក្រោយពីការខូចខាតក្នុងអំឡុងពេលដឹកជញ្ជូន និងការផ្ទុក។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៥ ខែកក្កដា ឆ្នាំ ២០២២