យើងត្រូវតែស៊ាំជាមួយគោលដៅឥឡូវនេះ ឥឡូវនេះទីផ្សារគោលដៅក៏កំពុងកើនឡើងផងដែរ ខាងក្រោមនេះជាអ្វីដែលជាការអនុវត្តសំខាន់នៃគោលដៅ sputtering ចែករំលែកដោយអ្នកកែសម្រួលពី RSM
ភាពបរិសុទ្ធ
ភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈគោលដៅគឺជាសន្ទស្សន៍ការអនុវត្តដ៏សំខាន់មួយ ពីព្រោះភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈគោលដៅមានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើដំណើរការនៃខ្សែភាពយន្តស្តើង។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយនៅក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែងតម្រូវការភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈគោលដៅគឺមិនដូចគ្នាទេ។ ជាឧទាហរណ៍ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍យ៉ាងឆាប់រហ័សនៃឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច ទំហំបន្ទះឈីបស៊ីលីកុនត្រូវបានបង្កើតឡើងពី 6 ", 8" ទៅ 12" ហើយទទឹងខ្សែភ្លើងត្រូវបានកាត់បន្ថយពី 0.5um ទៅ 0.25um, 0.18um ឬសូម្បីតែ 0.13um។ ពីមុន ភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈគោលដៅ 99.995% អាចបំពេញតម្រូវការដំណើរការនៃ 0.35umIC ។ ភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈគោលដៅគឺ 99.999% ឬសូម្បីតែ 99.9999% សម្រាប់ការរៀបចំបន្ទាត់ 0.18um ។
មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ
ភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងវត្ថុរឹងគោលដៅ និងឧស្ម័នអុកស៊ីសែន និងចំហាយទឹកនៅក្នុងរន្ធញើស គឺជាប្រភពនៃការបំពុលដ៏សំខាន់នៃការបញ្ចេញខ្សែភាពយន្ត។ សម្ភារៈគោលដៅសម្រាប់គោលបំណងផ្សេងគ្នាមានតម្រូវការផ្សេងគ្នាសម្រាប់មាតិកាមិនបរិសុទ្ធផ្សេងគ្នា។ ឧទាហរណ៍ គោលដៅអាលុយមីញ៉ូមសុទ្ធ និងអាលុយមីញ៉ូមដែលប្រើក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor មានតម្រូវការពិសេសសម្រាប់មាតិកានៃលោហធាតុអាល់កាឡាំង និងធាតុវិទ្យុសកម្ម។
ដង់ស៊ីតេ
ដើម្បីកាត់បន្ថយភាពផុយស្រួយនៅក្នុងគោលដៅរឹង និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការនៃខ្សែភាពយន្ត sputtering ដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៃគោលដៅជាធម្មតាត្រូវបានទាមទារ។ ដង់ស៊ីតេនៃគោលដៅប៉ះពាល់ដល់មិនត្រឹមតែអត្រា sputtering ប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែថែមទាំងលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីនិងអុបទិកនៃខ្សែភាពយន្ត។ ដង់ស៊ីតេគោលដៅកាន់តែខ្ពស់ ការសម្តែងខ្សែភាពយន្តកាន់តែប្រសើរ។ លើសពីនេះ ការបង្កើនដង់ស៊ីតេ និងកម្លាំងនៃគោលដៅ ធ្វើឱ្យគោលដៅមានភាពធន់នឹងភាពតានតឹងកម្ដៅក្នុងដំណើរការ sputtering កាន់តែប្រសើរឡើង។ ដង់ស៊ីតេក៏ជាសន្ទស្សន៍ការអនុវត្តសំខាន់មួយនៃគោលដៅផងដែរ។
ការបែងចែកទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ និងទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ
ជាធម្មតាគោលដៅគឺ polycrystalline ដែលមានទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិចាប់ពីមីក្រូម៉ែត្រទៅមីលីម៉ែត្រ។ សម្រាប់គោលដៅដូចគ្នា អត្រាប្រឡាក់នៃគោលដៅជាមួយគ្រាប់ធញ្ញជាតិតូចៗគឺលឿនជាងគោលដៅដែលមានគ្រាប់ធំ។ ការចែកចាយកម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ដោយការបាញ់ចំគោលដៅជាមួយនឹងភាពខុសគ្នានៃទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិតូចជាង (ការចែកចាយឯកសណ្ឋាន) គឺកាន់តែឯកសណ្ឋាន។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ សីហា-០៤-២០២២