អ្វីទៅជាអ្វីទៅជាគោលដៅនៃការវាយលុករបស់ yttrium?
គោលដៅ Yttrium ត្រូវបានផលិតជាចម្បងដោយធាតុដែក yttrium sputtering target ពីព្រោះធាតុ yttrium (Y) គឺជាធាតុលោហៈធាតុកម្រមួយ ដូច្នេះគោលដៅ yttrium ត្រូវបានគេស្គាល់ថាជា គោលដៅកម្រ។
គោលដៅ Yttrium ត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យានៃការបំភាយ sputtering ។ បច្ចេកវិជ្ជាការបំភាយឧស្ម័ន Sputtering គឺជាបច្ចេកវិទ្យាមួយក្នុងចំនោមបច្ចេកវិជ្ជានៃការបំភាយចំហាយរាងកាយ (PVD) និងជាបច្ចេកវិជ្ជាសំខាន់មួយសម្រាប់ការរៀបចំសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើងអេឡិចត្រូនិច។ ដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃគោលដៅជាមួយនឹងភាគល្អិតថាមពលខ្ពស់ (ដូចជាអ៊ីយ៉ុង ឬធ្នឹមអេឡិចត្រុង) អាតូម ឬម៉ូលេគុលគោលដៅត្រូវបានបែកខ្ញែក ហើយដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមមួយទៀតដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត ឬថ្នាំកូតដែលចង់បាន។
គោលដៅ yttrium គឺគ្រាន់តែជាសម្ភារៈប្រភពនៃខ្សែភាពយន្តដែលចង់បាន ឬថ្នាំកូតដែលរៀបចំដោយបច្ចេកវិទ្យា PVD ។
តើអ្វីជានេះ។yttrium sputtering target ប្រើសម្រាប់?
គោលដៅ Yttrium មានកម្មវិធីធំទូលាយក្នុងវិស័យជាច្រើន ខាងក្រោមនេះគឺជាតំបន់កម្មវិធីសំខាន់ៗ៖
- សមា្ភារៈ semiconductor: នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor គោលដៅ yttrium ត្រូវបានប្រើដើម្បីផលិតស្រទាប់ជាក់លាក់នៅក្នុងសម្ភារៈ semiconductor ឬសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិចដូចជា transistors សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ល។
- ថ្នាំកូតអុបទិក៖ នៅក្នុងវិស័យអុបទិក គោលដៅ yttrium អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំថ្នាំកូតអុបទិកដែលមានសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរខ្ពស់ និងអត្រាខ្ចាត់ខ្ចាយទាប ដែលដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការផលិតឧបករណ៍អុបទិក ដូចជាឡាស៊ែរ និងតម្រងអុបទិក។
- ការដាក់ស្រទាប់ហ្វីលស្តើង៖ គោលដៅ yttrium កាន់កាប់ទីតាំងសំខាន់មួយនៅក្នុងបច្ចេកវិជ្ជានៃស្រទាប់ស្តើង ហើយភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ស្ថេរភាពល្អ និងលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត និងគីមីជាក់លាក់ ធ្វើឱ្យវាក្លាយជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់ការរៀបចំសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើងជាច្រើន។ សមា្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើងទាំងនេះមានកម្មវិធីទូលំទូលាយក្នុងវិស័យអុបទិក អេឡិចត្រូនិច ម៉ាញេទិក និងផ្នែកផ្សេងៗទៀត។
- វិស័យវេជ្ជសាស្ត្រ៖ គោលដៅ yttrium មានកម្មវិធីសំខាន់ៗក្នុងថ្នាំវិទ្យុសកម្ម ដូចជាប្រភពនៃកាំរស្មីអ៊ិច និងកាំរស្មីហ្គាម៉ា ការថតរូបភាពរោគវិនិច្ឆ័យ (ដូចជាការស្កែន CT) និងការព្យាបាលដោយវិទ្យុសកម្ម។ លើសពីនេះទៀត អ៊ីសូតូបជាក់លាក់នៃ yttrium (ដូចជា Y-90) ក៏អាចត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឱសថវិទ្យុសកម្មសម្រាប់ការព្យាបាលជំងឺមហារីកជាក់លាក់ផងដែរ។
- ឧស្សាហកម្មថាមពលនុយក្លេអ៊ែរ៖ នៅក្នុងម៉ាស៊ីនរ៉េអាក់ទ័រនុយក្លេអ៊ែរ គោលដៅ yttrium ត្រូវបានប្រើជាវត្ថុធាតុសម្រាប់គ្រប់គ្រងល្បឿន និងស្ថេរភាពនៃប្រតិកម្មនុយក្លេអ៊ែរ ដោយសារសមត្ថភាពស្រូបយកនឺត្រុងដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់ពួកគេ។
ចំណាំ៖ ដោយសារតម្រូវការការអនុវត្តនៃគោលដៅ yttrium នៅក្នុងវាលកម្មវិធីផ្សេងៗគ្នាអាចខុសគ្នា គោលដៅសមស្របចាំបាច់ត្រូវជ្រើសរើសដោយយោងទៅតាមស្ថានភាពជាក់ស្តែងនៅក្នុងកម្មវិធីជាក់លាក់។ (ដូចជាភាពបរិសុទ្ធជាក់លាក់ សមាមាត្រសមាសភាព ទំហំ រូបរាង។ល។ ប្ដូរតាមតម្រូវការជាក់លាក់។ )
បច្ចេកវិទ្យានៃការផលិត yttrium sputtering គោលដៅ?
1. រៀបចំម្សៅ yttrium 2. HIP, pressing molding 3. High- temperature sintering 4.Subsequent processing (Cutting, Polishing, etc.) 5. ការសម្អាត និងការវេចខ្ចប់
ចំណាំ៖ ក្រៅពីជំហានជាមូលដ្ឋានខាងលើ យោងតាមវិធីសាស្ត្ររៀបចំជាក់លាក់ និងតម្រូវការកម្មវិធី គោលដៅ yttrium sputtering ក៏អាចពាក់ព័ន្ធនឹងជំហាន និងបច្ចេកវិទ្យាផ្សេងទៀតផងដែរ ដូចជាវិធីសាស្ត្រ sputtering វិធីសាស្ត្ររលាយខ្វះចន្លោះ។ល។ វិធីសាស្ត្រទាំងនេះជួយកែតម្រូវ និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពបន្ថែមទៀត ដំណើរការនិងរចនាសម្ព័ន្ធនៃសម្ភារៈគោលដៅ។
តើធ្វើដូចម្តេចដើម្បីជ្រើសរើសគោលដៅ sputtering ដែលមានគុណភាពខ្ពស់?
ខាងក្រោមនេះបង្ហាញពីកត្តាសំខាន់ទាំង ៧ សម្រាប់ការជ្រើសរើសគោលដៅដែលមានគុណភាពខ្ពស់៖
1. សួស្តីgh ភាពបរិសុទ្ធ
គោលដៅដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់មានលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈប្រសើរជាងមុន និងមានលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត និងគីមីមានស្ថេរភាពជាងមុន ដែលមានសារៈសំខាន់ក្នុងការធានាបាននូវគុណភាព និងដំណើរការនៃថ្នាំកូត sputtering ។ តម្រូវការភាពបរិសុទ្ធជាក់លាក់គួរតែត្រូវបានកំណត់ដោយយោងទៅតាមសេណារីយ៉ូនៃកម្មវិធី សេណារីយ៉ូកម្មវិធីសាមញ្ញមួយចំនួន មិនចាំបាច់ស្វែងរកភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នោះទេ ដើម្បីកុំឱ្យបង្កើនការចំណាយដែលមិនចាំបាច់។ អ្វីដែលសាកសមនឹងអ្នកគឺល្អបំផុត។
2.ស្ថេរភាព
ស្ថេរភាពនៃគោលដៅគឺមានសារៈសំខាន់ដូចគ្នា ដែលអាចជៀសវាងការបាត់បង់សម្ភារៈ ឬការប្រែប្រួលនៃការអនុវត្តក្នុងអំឡុងពេល sputtering ។ ដូច្នេះហើយក្នុងការជ្រើសរើសមួយជ្រើសរើសថាការព្យាបាលពិសេសឬមានស្ថិរភាពល្អរបស់ផលិតផល។
3. ទំហំនិងរូបរាង
ទំហំ និងរូបរាងរបស់គោលដៅបាញ់ទឹកគួរតែត្រូវបានជ្រើសរើសដោយយោងទៅតាមតម្រូវការជាក់លាក់នៃឧបករណ៍ស្រោប ដើម្បីសម្របទៅនឹងដំណើរការផ្លុំផ្លុំ និងតម្រូវការផលិតកម្មផ្សេងៗគ្នា។ ការធានាថាគោលដៅត្រូវបានផ្គូផ្គងទៅនឹងឧបករណ៍ បង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការបញ្ចេញទឹក និងកាត់បន្ថយកាកសំណល់។
4.ដង់ស៊ីតេ
ដង់ស៊ីតេគឺជាសូចនាករដ៏សំខាន់មួយដើម្បីវាស់ស្ទង់គុណភាពនៃសម្ភារៈគោលដៅ។ សម្ភារៈគោលដៅដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់អាចធានាបាននូវប្រសិទ្ធភាពនៃការបាញ់ទឹកបានប្រសើរជាងមុន។ នៅពេលជ្រើសរើសអ្នកគួរតែយកចិត្តទុកដាក់លើទិន្នន័យដង់ស៊ីតេនៃគោលដៅហើយព្យាយាមជ្រើសរើសផលិតផលដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ជាង។
5. ដំណើរការភាពត្រឹមត្រូវ
ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការនៃគោលដៅក៏ជាកត្តាមួយដែលត្រូវយកមកពិចារណាផងដែរ។ ជាទូទៅ ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការនៃគោលដៅគឺតម្រូវឱ្យស្ថិតនៅក្នុង ±0.1mm ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាពនៃដំណើរការ sputtering និងឯកសណ្ឋាននៃគុណភាពថ្នាំកូត។
6. តម្រូវការពិសេស
សម្រាប់សេណារីយ៉ូកម្មវិធីពិសេសមួយចំនួន ដូចជាតម្រូវការសម្រាប់ការបញ្ជូនពន្លឺខ្ពស់ ការស្រូបទាបនៃគោលដៅ (ថ្នាំកូតអុបទិក) ឬចរន្តអគ្គិសនីខ្ពស់ ស្ថេរភាពខ្ពស់នៃគោលដៅ (វាលអេឡិចត្រូនិច) គួរតែត្រូវបានជ្រើសរើសតាមតម្រូវការជាក់លាក់នៃគោលដៅដែលត្រូវគ្នា។ ប្រភេទ។
7.ជ្រើសរើសក្រុមហ៊ុនផលិត ឬអ្នកផ្គត់ផ្គង់ដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈ។
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ១៧ ខែមេសា ឆ្នាំ ២០២៤