ដូចដែលយើងទាំងអស់គ្នាដឹងហើយថា វិធីសាស្រ្តដែលប្រើជាទូទៅក្នុងការស្រោបដោយសុញ្ញកាស គឺការបញ្ចោញខ្យល់ និងការបញ្ចេញអ៊ីយ៉ុង។ តើអ្វីទៅជាភាពខុសគ្នារវាងការស្រោបដោយការចម្លងមេរោគនិងការស្រោបដោយសារធាតុស្ពាស្ពែរជាច្រើនមនុស្ស មានសំណួរបែបនេះ។ ចូរចែករំលែកជាមួយអ្នកនូវភាពខុសគ្នារវាងថ្នាំកូត transpiration និងថ្នាំកូត sputtering
ខ្សែភាពយន្ត Vacuum transpiration film គឺដើម្បីកំដៅទិន្នន័យដើម្បី transpiration ទៅសីតុណ្ហភាពថេរដោយមធ្យោបាយនៃកំដៅធន់ទ្រាំឬធ្នឹមអេឡិចត្រុងនិងសែលឡាស៊ែរនៅក្នុងបរិស្ថានដែលមានកម្រិតខ្វះចន្លោះមិនតិចជាង 10-2Pa ដូច្នេះថាមពលរំញ័រកម្ដៅនៃម៉ូលេគុលឬ អាតូមនៅក្នុងទិន្នន័យមានលើសពីថាមពលភ្ជាប់នៃផ្ទៃ ដូច្នេះហើយ ម៉ូលេគុល ឬអាតូមជាច្រើនបានសាយភាយ ឬកើនឡើង ហើយដាក់ពួកវាដោយផ្ទាល់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជា ខ្សែភាពយន្ត។ ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង sputtering ប្រើចលនា remonstrance ខ្ពស់នៃអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមានដែលបង្កើតឡើងដោយការបញ្ចេញឧស្ម័នក្រោមឥទ្ធិពលនៃវាលអគ្គិសនីដើម្បីទម្លាក់គោលដៅដែលជា cathode ដូច្នេះអាតូមឬម៉ូលេគុលនៅក្នុងគោលដៅរត់គេចខ្លួននិងដាក់នៅលើផ្ទៃនៃ workpiece plated ដើម្បីបង្កើត។ ខ្សែភាពយន្តដែលត្រូវការ។
វិធីសាស្រ្តដែលប្រើជាទូទៅបំផុតនៃការស្រោបដោយខ្វះចន្លោះគឺវិធីសាស្ត្រកំដៅធន់ទ្រាំ។ គុណសម្បត្តិរបស់វាគឺរចនាសម្ព័ន្ធសាមញ្ញនៃប្រភពកំដៅការចំណាយទាបនិងប្រតិបត្តិការងាយស្រួល។ គុណវិបត្តិរបស់វាគឺថាវាមិនសមរម្យសម្រាប់លោហៈ refractory និងប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយដែលធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ កំដៅធ្នឹមអេឡិចត្រុងនិងកំដៅឡាស៊ែរអាចយកឈ្នះគុណវិបត្តិនៃកំដៅធន់ទ្រាំ។ នៅក្នុងកំដៅធ្នឹមអេឡិចត្រុង ធ្នឹមអេឡិចត្រុងផ្តោតត្រូវបានប្រើដើម្បីកំដៅទិន្នន័យសែលដោយផ្ទាល់ ហើយថាមពល kinetic នៃធ្នឹមអេឡិចត្រុងក្លាយជាថាមពលកំដៅដើម្បីធ្វើឱ្យទិន្នន័យឆ្លងកាត់។ កំដៅឡាស៊ែរប្រើឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់ជាប្រភពកំដៅ ប៉ុន្តែដោយសារតម្លៃឡាស៊ែរដែលមានថាមពលខ្ពស់ វាអាចប្រើប្រាស់បានតែនៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ស្រាវជ្រាវមួយចំនួនតូចប៉ុណ្ណោះ។
ជំនាញ Sputtering គឺខុសពីជំនាញបូមធូលី។ Sputtering សំដៅលើបាតុភូតដែលភាគល្អិតចោទប្រកាន់ទម្លាក់ទៅលើផ្ទៃ (គោលដៅ) នៃរាងកាយ ដូច្នេះអាតូមរឹង ឬម៉ូលេគុលត្រូវបានបញ្ចេញចេញពីផ្ទៃ។ ភាគល្អិតដែលបញ្ចេញភាគច្រើនគឺជាអាតូម ដែលជារឿយៗត្រូវបានគេហៅថា អាតូមដែលបំភាយ។ ភាគល្អិតដែលប្រើសម្រាប់បាញ់ផ្លោងអាចជាអេឡិចត្រុង អ៊ីយ៉ុង ឬភាគល្អិតអព្យាក្រឹត។ ដោយសារតែអ៊ីយ៉ុងមានភាពងាយស្រួលក្នុងការទទួលបានថាមពល kinetic ដែលត្រូវការនៅក្រោមវាលអគ្គីសនី អ៊ីយ៉ុងភាគច្រើនត្រូវបានជ្រើសរើសជាភាគល្អិតសែល។
ដំណើរការនៃការបញ្ចេញទឹករំអិលគឺផ្អែកលើការបញ្ចេញពន្លឺ ពោលគឺអ៊ីយ៉ុង sputtering បានមកពីការបញ្ចេញឧស្ម័ន។ ជំនាញផ្លុំផ្លុំផ្សេងៗមានវិធីបញ្ចេញពន្លឺខុសៗគ្នា។ DC diode sputtering ប្រើ DC glow discharge; Triode sputtering គឺជាការបញ្ចេញពន្លឺដែលគាំទ្រដោយ cathode ក្តៅ; RF sputtering ប្រើការបញ្ចេញពន្លឺ RF; Magnetron sputtering គឺជាការបញ្ចេញពន្លឺដែលគ្រប់គ្រងដោយវាលម៉ាញេទិក annular ។
បើប្រៀបធៀបជាមួយថ្នាំកូតដែលមានជាតិសំណើម ថ្នាំកូត sputtering មានគុណសម្បត្តិជាច្រើន។ ប្រសិនបើសារធាតុណាមួយអាចត្រូវបាន sputtered ជាពិសេសធាតុនិងសមាសធាតុដែលមានចំណុចរលាយខ្ពស់និងសម្ពាធចំហាយទាប; adhesion រវាងខ្សែភាពយន្ត sputtered និងស្រទាប់ខាងក្រោមគឺល្អ; ដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៃខ្សែភាពយន្ត; កម្រាស់របស់ខ្សែភាពយន្តអាចគ្រប់គ្រងបាន ហើយភាពអាចដំណើរការឡើងវិញបានគឺល្អ។ គុណវិបត្តិគឺថាឧបករណ៍មានភាពស្មុគស្មាញហើយត្រូវការឧបករណ៍ដែលមានវ៉ុលខ្ពស់។
លើសពីនេះទៀតការរួមបញ្ចូលគ្នានៃវិធីសាស្រ្ត transpiration និងវិធីសាស្រ្ត sputtering គឺ ion plating ។ គុណសម្បត្តិនៃវិធីសាស្រ្តនេះគឺការ adhesion ដ៏រឹងមាំរវាងខ្សែភាពយន្តនិងស្រទាប់ខាងក្រោម, អត្រាការប្រាក់ខ្ពស់និងដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៃខ្សែភាពយន្ត។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ឧសភា-០៩-២០២២