ជាមួយនឹងការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវកម្រិតជីវភាពរបស់ប្រជាជន និងការអភិវឌ្ឍន៍ជាបន្តបន្ទាប់នៃវិទ្យាសាស្ត្រ និងបច្ចេកវិទ្យា មនុស្សមានតម្រូវការខ្ពស់ និងខ្ពស់ជាងសម្រាប់ការអនុវត្តផលិតផលថ្នាំកូតតុបតែងដែលធន់នឹងការពាក់ ធន់នឹងច្រេះ និងធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ជាការពិតណាស់ ការស្រោបក៏អាចកែលម្អពណ៌របស់វត្ថុទាំងនេះបានដែរ។ បន្ទាប់មក តើអ្វីជាភាពខុសគ្នារវាងការព្យាបាលគោលដៅ electroplating និង sputtering target? អនុញ្ញាតឱ្យអ្នកជំនាញមកពីនាយកដ្ឋានបច្ចេកវិទ្យានៃ RSM ពន្យល់វាសម្រាប់អ្នក។
គោលដៅនៃការផ្សាំអគ្គិសនី
គោលការណ៍នៃ electroplating គឺស្របទៅនឹងទង់ដែងចម្រាញ់អេឡិចត្រូលីត។ នៅពេលដែល electroplating អេឡិចត្រូលីតដែលមានអ៊ីយ៉ុងដែកនៃស្រទាប់ចានត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅដើម្បីរៀបចំដំណោះស្រាយនៃការដាក់ចាន; ជ្រមុជផលិតផលដែកដែលត្រូវដាក់ចូលទៅក្នុងដំណោះស្រាយចាននិងភ្ជាប់វាជាមួយអេឡិចត្រូតអវិជ្ជមាននៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល DC ដែលជា cathode; លោហធាតុស្រោបត្រូវបានប្រើជា anode និងភ្ជាប់ទៅនឹងអេឡិចត្រូតវិជ្ជមាននៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល DC ។ នៅពេលដែលចរន្ត DC វ៉ុលទាបត្រូវបានអនុវត្ត លោហៈ anode រលាយក្នុងសូលុយស្យុង ហើយក្លាយជា cation ហើយផ្លាស់ទីទៅ cathode ។ អ៊ីយ៉ុងទាំងនេះទទួលបានអេឡិចត្រុងនៅ cathode ហើយត្រូវបានកាត់បន្ថយទៅជាលោហៈដែលត្រូវបានគ្របដណ្តប់លើផលិតផលដែកដែលត្រូវដាក់។
Sputtering គោលដៅ
គោលការណ៍សំខាន់គឺប្រើការបញ្ចេញពន្លឺដើម្បីទម្លាក់អ៊ីយ៉ុង argon ទៅលើផ្ទៃគោលដៅ ហើយអាតូមនៃគោលដៅត្រូវបានច្រានចេញ និងដាក់លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើង។ លក្ខណៈសម្បត្តិ និងឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្តដែលមានចំហាយទឹកគឺល្អជាងខ្សែភាពយន្តដែលមានចំហាយទឹក ប៉ុន្តែល្បឿននៃការបោះចោលគឺយឺតជាងខ្សែភាពយន្តដែលមានចំហាយទឹក។ ឧបករណ៍ផ្លុំផ្លុំថ្មីស្ទើរតែប្រើមេដែកខ្លាំងដើម្បីតំរៀបអេឡិចត្រុងដើម្បីបង្កើនល្បឿនអ៊ីយ៉ូដនៃ argon ជុំវិញគោលដៅ ដែលបង្កើនប្រូបាប៊ីលីតេនៃការប៉ះទង្គិចរវាងគោលដៅ និងអ៊ីយ៉ុង argon និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអត្រា sputtering ។ ខ្សែភាពយន្តផ្លាស្ទិចដែកភាគច្រើនគឺ DC sputtering ខណៈពេលដែលវត្ថុធាតុម៉ាញ៉េទិចសេរ៉ាមិចមិនដំណើរការគឺ RF AC sputtering ។ គោលការណ៍ជាមូលដ្ឋានគឺត្រូវប្រើការបញ្ចេញពន្លឺនៅក្នុងកន្លែងទំនេរ ដើម្បីទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃគោលដៅជាមួយនឹង argon ions។ សារធាតុ cations នៅក្នុងប្លាស្មានឹងពន្លឿនដើម្បីប្រញាប់ប្រញាល់ទៅផ្ទៃអេឡិចត្រូតអវិជ្ជមានដែលជាវត្ថុធាតុផ្ទុះ។ ការទម្លាក់គ្រាប់បែកនេះនឹងធ្វើឱ្យសម្ភារៈគោលដៅហោះហើរចេញ ហើយដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើង។
លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យជ្រើសរើសសម្ភារៈគោលដៅ
(1) គោលដៅគួរតែមានកម្លាំងមេកានិចល្អ និងស្ថេរភាពគីមី បន្ទាប់ពីការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត។
(2) សម្ភារៈសម្រាប់ខ្សែភាពយន្តប្រតិកម្ម ត្រូវតែមានភាពងាយស្រួលក្នុងការបង្កើតខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុជាមួយឧស្ម័នប្រតិកម្ម។
(3) គោលដៅ និងស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវតែផ្គុំគ្នាយ៉ាងរឹងមាំ បើមិនដូច្នេះទេ សម្ភារៈខ្សែភាពយន្តដែលមានកម្លាំងភ្ជាប់ល្អជាមួយស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវយកមកប្រើ ហើយខ្សែភាពយន្តខាងក្រោមត្រូវប្រឡាក់ជាមុនសិន ហើយបន្ទាប់មកស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដែលត្រូវការត្រូវរៀបចំ។
(4) នៅលើមូលដ្ឋាននៃការបំពេញតាមតម្រូវការនៃការអនុវត្តខ្សែភាពយន្ត ភាពខុសគ្នារវាងមេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃគោលដៅ និងស្រទាប់ខាងក្រោមកាន់តែតូច កាន់តែល្អ ដើម្បីកាត់បន្ថយឥទ្ធិពលនៃភាពតានតឹងកម្ដៅនៃខ្សែភាពយន្តដែលបែកខ្ញែក។
(5) យោងតាមតម្រូវការកម្មវិធី និងការអនុវត្តនៃខ្សែភាពយន្ត គោលដៅដែលបានប្រើត្រូវតែបំពេញតាមតម្រូវការបច្ចេកទេសនៃភាពបរិសុទ្ធ មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ ឯកសណ្ឋានសមាសធាតុ ភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីន។ល។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ សីហា-១២-២០២២