លក្ខណៈ​ពិសេស​នៃ​គោល​ដៅ​ស្ពែម​ម៉ូលីប​ដិន

ថ្មីៗនេះ មិត្តភ័ក្តិជាច្រើនបានសួរអំពីលក្ខណៈនៃគ្រាប់ផ្លិត molybdenum ។ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការបញ្ចេញទឹករំអិល និងធានាបាននូវគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ប្រាក់ តើតម្រូវការអ្វីខ្លះសម្រាប់លក្ខណៈនៃគោលដៅស្ពែមម៉ូលីបដិន? ឥឡូវនេះអ្នកជំនាញបច្ចេកទេសមកពី RSM នឹងពន្យល់យើង។

　　1. ភាពបរិសុទ្ធ

ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់គឺជាតម្រូវការលក្ខណៈមូលដ្ឋាននៃគោលដៅរលាយ molybdenum ។ ភាពបរិសុទ្ធនៃគោលដៅ molybdenum កាន់តែខ្ពស់ ការសម្តែងរបស់ខ្សែភាពយន្ត sputtered កាន់តែប្រសើរ។ ជាទូទៅ ភាពបរិសុទ្ធនៃម៉ូលីបដិន ចំណុចប្រទាក់ គួរតែមានយ៉ាងហោចណាស់ 99.95% (ប្រភាគម៉ាស ដូចគ្នាខាងក្រោម)។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយជាមួយនឹងការកែលម្អជាបន្តបន្ទាប់នៃទំហំនៃស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម LCD ប្រវែងនៃខ្សែភ្លើងត្រូវបានទាមទារដើម្បីពង្រីកហើយទទឹងបន្ទាត់ត្រូវបានទាមទារឱ្យស្តើងជាងមុន។ ដើម្បីធានាបាននូវភាពស្មើគ្នានៃខ្សែភាពយន្ត និងគុណភាពនៃខ្សែភ្លើង ភាពបរិសុទ្ធនៃវត្ថុបញ្ជូល molybdenum ក៏ត្រូវបានទាមទារឱ្យកើនឡើងទៅតាមនោះដែរ។ ដូច្នេះយោងទៅតាមទំហំនៃស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់ដែលបែកខ្ញែក និងបរិយាកាសប្រើប្រាស់ ភាពបរិសុទ្ធនៃវត្ថុធាតុគីមី molybdenum គឺទាមទារឱ្យមាន 99.99% - 99.999% ឬខ្ពស់ជាងនេះ។

Molybdenum sputtering target ត្រូវបានប្រើជាប្រភព cathode ក្នុងការ sputtering ។ ភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងរឹង និងអុកស៊ីហ្សែន និងចំហាយទឹកនៅក្នុងរន្ធញើស គឺជាប្រភពបំពុលចម្បងនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។ លើសពីនេះទៀតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចដោយសារតែអ៊ីយ៉ុងដែកអាល់កាឡាំង (Na, K) ងាយស្រួលក្នុងការក្លាយជាអ៊ីយ៉ុងចល័តនៅក្នុងស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ការសម្តែងនៃឧបករណ៍ដើមត្រូវបានកាត់បន្ថយ; ធាតុដូចជាអ៊ុយរ៉ាញ៉ូម (U) និងទីតាញ៉ូម (TI) នឹងត្រូវបានបញ្ចេញ α កាំរស្មីអ៊ិចដែលជាលទ្ធផលនៅក្នុងការបំបែកទន់នៃឧបករណ៍; ជាតិដែក និងនីកែលអ៊ីយ៉ុងនឹងបណ្តាលឱ្យលេចធ្លាយចំណុចប្រទាក់ និងការកើនឡើងនៃធាតុអុកស៊ីហ្សែន។ ដូច្នេះហើយ នៅក្នុងដំណើរការរៀបចំនៃ molybdenum sputtering target ធាតុមិនបរិសុទ្ធទាំងនេះចាំបាច់ត្រូវគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដើម្បីកាត់បន្ថយមាតិការបស់វានៅក្នុងគោលដៅ។

　　2. ការចែកចាយទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ

ជាទូទៅ គោលដៅនៃការបញ្ចេញសារធាតុ molybdenum គឺជារចនាសម្ព័ន្ធ polycrystalline ហើយទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិអាចមានចាប់ពីមីក្រូទៅមិល្លីម៉ែត្រ។ លទ្ធផលពិសោធន៍បង្ហាញថា អត្រានៃគ្រាប់ធញ្ញជាតិល្អគឺលឿនជាងគោលដៅគ្រាប់ធញ្ញជាតិ។ សម្រាប់គោលដៅដែលមានភាពខុសគ្នានៃទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិតូច ការចែកចាយកម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ក៏មានលក្ខណៈដូចគ្នាដែរ។

　　3. ទិសគ្រីស្តាល់

ដោយសារអាតូមគោលដៅងាយនឹងបែកខ្ញែកតាមទិសដៅនៃការរៀបចំជិតបំផុតនៃអាតូមក្នុងទិសប្រាំមួយកំឡុងពេល sputtering ដើម្បីសម្រេចបាននូវអត្រា sputtering ខ្ពស់បំផុត អត្រា sputtering ច្រើនតែកើនឡើងដោយការផ្លាស់ប្តូររចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់នៃគោលដៅ។ ទិសដៅគ្រីស្តាល់នៃគោលដៅក៏មានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើភាពដូចគ្នានៃកម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តដែលប្រឡាក់។ ដូច្នេះវាមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់ក្នុងការទទួលបានរចនាសម្ព័ន្ធគោលដៅតម្រង់ទិសគ្រីស្តាល់ជាក់លាក់សម្រាប់ដំណើរការប្រឡាក់នៃខ្សែភាពយន្ត។

　　4. ដង់ស៊ីតេ

នៅក្នុងដំណើរការនៃថ្នាំកូត sputtering នៅពេលដែលគោលដៅ sputtering ដែលមានដង់ស៊ីតេទាបត្រូវបានទម្លាក់ ឧស្ម័នដែលមាននៅក្នុងរន្ធញើសខាងក្នុងនៃគោលដៅត្រូវបានបញ្ចេញភ្លាមៗ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការផ្ទុះនៃភាគល្អិត ឬភាគល្អិតគោលដៅដែលមានទំហំធំ ឬសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តត្រូវបានបំផ្ទុះ។ ដោយអេឡិចត្រុងបន្ទាប់បន្សំ បន្ទាប់ពីការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ដែលបណ្តាលឱ្យមានការបែកខ្ញែកនៃភាគល្អិត។ រូបរាងនៃភាគល្អិតទាំងនេះនឹងកាត់បន្ថយគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្ត។ ដើម្បីកាត់បន្ថយរន្ធញើសនៅក្នុងគោលដៅរឹង និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការនៃខ្សែភាពយន្ត គោលដៅបាញ់ទឹកជាទូទៅត្រូវបានទាមទារដើម្បីឱ្យមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់។ សម្រាប់​គោលដៅ​បញ្ចេញ​ម៉ូលីប​ដិន ដង់ស៊ីតេ​ទាក់ទង​របស់​វា​គួរ​មាន​ច្រើនជាង 98% ។

　　5. ការចងនៃគោលដៅនិងតួ

ជាទូទៅ គោលដៅនៃការបញ្ចេញទឹករំអិលរបស់ម៉ូលីបដិនត្រូវតែភ្ជាប់ជាមួយនឹងតួស្ពាន់គ្មានអុកស៊ីហ្សែន (ឬអាលុយមីញ៉ូម និងវត្ថុធាតុផ្សេងទៀត) មុនពេលប្រឡាក់ ដូច្នេះចរន្តកំដៅនៃគោលដៅ និងតួគឺល្អកំឡុងពេលដំណើរការប្រឡាក់។ បន្ទាប់ពីការចង ការត្រួតពិនិត្យអ៊ុលត្រាសោនត្រូវតែធ្វើឡើងដើម្បីធានាថាផ្ទៃមិនជាប់នៃទាំងពីរគឺតិចជាង 2% ដូច្នេះដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការនៃការបញ្ចេញថាមពលខ្ពស់ដោយមិនធ្លាក់ចុះ។