ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍នៃយុគសម័យអ៊ីនធឺណែត មនុស្សកាន់តែពឹងផ្អែកទៅលើផលិតផលអេឡិចត្រូនិច។ ផលិតផលអេឡិចត្រូនិចអាចមើលឃើញគ្រប់ទីកន្លែងនៅក្នុងផ្ទះរបស់មនុស្សសាមញ្ញ។ មនុស្សមិនអាចរស់នៅដោយគ្មានផលិតផលអេឡិចត្រូនិចបានទេ។ តើកម្មវិធីអ្វីខ្លះដែលនឹងមានគោលដៅវាយលុកក្នុងផលិតផលអេឡិចត្រូនិក? អ្នកនិពន្ធមកពី RSM នឹងនាំយើងទៅរៀនជាមួយគ្នា។
ផលិតផលអេឡិចត្រូនិកត្រូវបានប្រើប្រាស់នៅគ្រប់មជ្ឈដ្ឋាន ហើយភាគច្រើននៃផលិតផលអេឡិចត្រូនិកទាំងនេះត្រូវបានតម្រូវឱ្យស្រោបមុនពេលដាក់ចូលទៅក្នុងទីផ្សារ។ ឥឡូវនេះឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលីដែលប្រើជាទូទៅគឺម៉ាស៊ីនបូមធូលី magnetron sputtering ។ នៅទីនេះ សូមក្រឡេកមើលគោលដៅដែលប្រើក្នុងការបញ្ចេញទឹកកាម។ ជាទូទៅ យើងប្រើគោលដៅមិនលើសពីបីប្រភេទ៖ គោលដៅដែក គោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រ និងគោលដៅផ្សំ។
មានគោលដៅជាច្រើនដែលប្រើក្នុងថាសរឹង។ ស្រទាប់ជាច្រើននៃខ្សែភាពយន្តស្តើងត្រូវបានលាបលើផ្ទៃថត។ ស្រទាប់នីមួយៗមានតួនាទីរៀងៗខ្លួន។ នៅស្រទាប់ខាងក្រោម លោហធាតុក្រូមីញ៉ូម ឬក្រូមីញ៉ូមក្រាស់ 40nm នឹងត្រូវបានផ្លាក ដើម្បីបង្កើនភាពស្អិតជាប់ និងធន់នឹងច្រេះ។ នៅកណ្តាល យ៉ាន់ស្ព័រក្រូមីញ៉ូម cobalt ក្រាស់ 15nm និងយ៉ាន់ស្ព័រ cobalt ក្រាស់ 35nM នឹងត្រូវបានលាបជាវត្ថុធាតុម៉ាញ៉េទិច។ សម្ភារៈនេះអាចឆ្លុះបញ្ចាំងយ៉ាងពេញលេញនូវលក្ខណៈនៃមេដែក និងការជ្រៀតជ្រែកទាប។ ទីបំផុត ខ្សែភាពយន្តកាបូនក្រាស់ 15nm នឹងត្រូវបានលាប។
យ៉ាន់ស្ព័រនីកែលដែកត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅជាគោលដៅបាញ់ក្បាលម៉ាញេទិក ហើយសារធាតុផ្សំថ្មីមួយចំនួនត្រូវបានបន្ថែមនៅពេលក្រោយ ដូចជាជាតិដែកនីទ្រីត ជាតិដែក តង់តាឡុមនីត្រាត ជាតិដែកអាលុយមីញ៉ូមនីត្រាតជាដើម ដែលជាគោលដៅគុណភាពខ្ពស់សម្រាប់ស្រទាប់ហ្វីលម៉ាញ៉េទិច។
ឌីស CD នឹងត្រូវបានស្រោបដោយខ្សែភាពយន្តអាលុយមីញ៉ូមជាស្រទាប់ឆ្លុះបញ្ចាំងនៅលើដុំការងារប្លាស្ទិក ប៉ុន្តែសម្រាប់ឌីស CDROM និង dvdrom មិនអាចប្រើប្រាស់ខ្សែភាពយន្តអាលុយមីញ៉ូមបានទេ ព្រោះវានឹងមានស្រទាប់ជ្រលក់នៅលើឌីសទាំងនេះ ហើយសារធាតុនៅលើពួកវាមានសារធាតុប្រឆាំងនឹងអាលុយមីញ៉ូម។ ជាទូទៅនឹងត្រូវជំនួសដោយខ្សែភាពយន្តមាស ឬខ្សែភាពយន្តប្រាក់។ ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តនៃឌីសអុបទិកក៏មានស្រទាប់ជាច្រើនផងដែរ។ វាត្រូវបានស្រោបដោយយ៉ាន់ស្ព័រ cobalt ដែកក្រាស់ 30nm លាយជាមួយធាតុផ្លាស់ប្តូរនៃផែនដីកម្រអាម៉ូហ្វូសនៅលើស្រទាប់ថត បន្ទាប់មកលាបជាមួយស្រទាប់ឌីអេឡិចត្រិចស៊ីលីកុននីត្រាតដែលមានកម្រាស់ពី 20 ទៅ 100nm ហើយចុងក្រោយត្រូវបានបិតដោយបន្ទះកញ្ចក់អាលុយមីញ៉ូម។
ផលិតផលដែលទទួលបានតាមរបៀបនេះអាចកត់ត្រាទិន្នន័យ។ ដើម្បីបំពេញមុខងារទាំងនេះ វានៅតែអាស្រ័យទៅលើលក្ខណៈសម្បត្តិរបស់ខ្សែភាពយន្តដែលបែកខ្ញែកដោយសារធាតុផ្សេងៗ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ២៩ មិថុនា ឆ្នាំ ២០២២