Вольфрам силицидінің бөліктері

Вольфрам силициді WSi2 микроэлектроникада электр тогының соғу материалы ретінде, полисилиций сымдарында маневрлеу, тотығуға қарсы жабын және төзімді сым жабыны ретінде қолданылады. Вольфрам силициді микроэлектроникада байланыс материалы ретінде қолданылады, кедергісі 60-80μΩсм. Ол 1000°C температурада түзіледі. Ол әдетте өткізгіштігін жоғарылату және сигнал жылдамдығын арттыру үшін полисилиций желілері үшін шунт ретінде пайдаланылады. Вольфрам силицидті қабатын химиялық бу тұндыру арқылы дайындауға болады, мысалы, бу тұндыру. Шикізат газы ретінде моносилан немесе дихлоросилан және вольфрам гексафториді пайдаланыңыз. Шөгілген пленка стехиометриялық емес және одан да өткізгіш стехиометриялық пішінге айналдыру үшін жасытуды қажет етеді.

Вольфрам силициді бұрынғы вольфрам пленкасын алмастыра алады. Вольфрам силициді кремний мен басқа металдар арасындағы тосқауыл қабаты ретінде де қолданылады.

Вольфрам силициді микроэлектромеханикалық жүйелерде де өте құнды, олардың арасында вольфрам силицидтері негізінен микросұлбаларды жасау үшін жұқа пленка ретінде қолданылады. Осы мақсатта вольфрам силицидті қабықшаны, мысалы, силицидті пайдаланып, плазмалық оюға болады.

Rich Special Materials спутерлік мақсатты өндіруге маманданған және вольфрам силицидін шығара алады.данатұтынушылардың ерекшеліктеріне сәйкес. Қосымша ақпарат алу үшін бізге хабарласыңыз.