Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі көбінесе вафли материалдары мен орауыш материалдарына бөлуге болатын мақсатты материалдар терминін көреді. Вафельді өндіру материалдарымен салыстырғанда орау материалдары салыстырмалы түрде төмен техникалық кедергілерге ие. Вафельді өндіру процесі негізінен жартылай өткізгіш материалдар мен химиялық заттардың 7 түрін қамтиды, оның ішінде шашыратқыш материалдың бір түрі. Сонымен, мақсатты материал қандай? Неліктен мақсатты материал соншалықты маңызды? Бүгін біз мақсатты материалдың не екенін айтатын боламыз!
Мақсатты материал дегеніміз не?
Қарапайым тілмен айтқанда, мақсатты материал - жоғары жылдамдықты зарядталған бөлшектермен бомбаланған мақсатты материал. Әртүрлі мақсатты материалдарды (мысалы, алюминий, мыс, тот баспайтын болат, титан, никель нысаналары және т.б.) ауыстыру арқылы әртүрлі пленка жүйелерін (мысалы, өте қатты, тозуға төзімді, коррозияға қарсы легирленген пленкалар және т.б.) алуға болады.
Қазіргі уақытта (тазалық) шашыратқыш мақсатты материалдарды бөлуге болады:
1) Металл нысаналары (таза металл алюминий, титан, мыс, тантал және т.б.)
2) Қорытпа нысандары (никель хром қорытпасы, никель кобальт қорытпасы және т.б.)
3) Керамикалық қосылыстардың нысаналары (оксидтер, силицидтер, карбидтер, сульфидтер және т.б.).
Түрлі қосқыштар бойынша оны бөлуге болады: ұзын нысана, шаршы нысана және дөңгелек нысана.
Әртүрлі қолданбалы өрістерге сәйкес оны келесідей бөлуге болады: жартылай өткізгішті чиптердің нысаналары, жалпақ панельді дисплей нысандары, күн ұяшықтары нысандары, ақпаратты сақтау нысандары, өзгертілген нысандар, электрондық құрылғы нысандары және басқа да нысандар.
Осыған қарап, сіз жоғары тазалықтағы шашыратқыш нысандарды, сондай-ақ металл нысандарда қолданылатын алюминий, титан, мыс және тантал туралы түсінікке ие болуыңыз керек. Жартылай өткізгішті пластиналарды өндіруде алюминий процесі әдетте 200 мм (8 дюйм) және одан төмен пластиналарды өндірудің негізгі әдісі болып табылады және пайдаланылатын мақсатты материалдар негізінен алюминий және титан элементтері болып табылады. 300 мм (12 дюйм) пластинка өндірісі, негізінен мыс пен тантал нысандарын пайдалана отырып, алдыңғы қатарлы мыс қосылу технологиясын қолданады.
Мақсатты материалдың не екенін әркім түсінуі керек. Тұтастай алғанда, чиптерді қолдану ауқымының ұлғаюымен және чиптер нарығындағы сұраныстың артуымен саладағы төрт негізгі жұқа пленкалы металл материалдарына, атап айтқанда алюминий, титан, тантал және мыс сұранысының артуы сөзсіз. Қазіргі уақытта бұл төрт жұқа қабықшалы металды алмастыратын басқа шешім жоқ.
Жіберу уақыты: 06 шілде 2023 ж