Мақсаттың кең нарығы, қолдану аймағы және болашақта үлкен дамуы бар. Мақсатты функцияларды жақсырақ түсінуге көмектесу үшін төменде RSM инженері мақсаттың негізгі функционалдық талаптарын қысқаша таныстырады.
Тазалық: тазалық нысананың негізгі функционалдық көрсеткіштерінің бірі болып табылады, өйткені нысананың тазалығы пленка функциясына үлкен әсер етеді. Дегенмен, практикалық қолдануда нысананың тазалық талаптары да әртүрлі. Мысалы, микроэлектроника өнеркәсібінің қарқынды дамуымен кремний пластинаның өлшемі 6 «8» -ден 12 «-ге дейін кеңейтілді, ал сымдардың ені 0,5 мм-ден 0,25 мм, 0,18 мм немесе тіпті 0,13 мм дейін азаяды. Бұрын мақсатты тазалықтың 99,995% 0,35umic технологиялық талаптарына жауап бере алады, ал 0,18um желілерін дайындау үшін мақсатты тазалықтың 99,999% немесе тіпті 99,9999% қажет.
Қоспалардың құрамы: мақсатты қатты заттардағы қоспалар және кеуектердегі оттегі мен су буы тұндырылған қабықшаларды ластаудың негізгі көзі болып табылады. Әртүрлі мақсаттарға арналған нысандардың әртүрлі қоспалар мазмұнына әртүрлі талаптары бар. Мысалы, жартылай өткізгіш өнеркәсібінде қолданылатын таза алюминий мен алюминий қорытпасының нысаналары сілтілі металдардың құрамына және радиоактивті элементтердің құрамына ерекше талаптар қояды.
Тығыздық: мақсатты қатты заттағы кеуектерді азайту және шашыратқыш пленка функциясын жақсарту үшін әдетте жоғары тығыздық қажет. Нысананың тығыздығы шашырау жылдамдығына ғана емес, пленканың электрлік және оптикалық функцияларына да әсер етеді. Мақсатты тығыздық неғұрлым жоғары болса, фильмнің қызметі соғұрлым жақсы болады. Сонымен қатар, нысананың тығыздығы мен беріктігі жақсартылады, осылайша нысан шашырату процесінде термиялық кернеуді жақсы қабылдай алады. Тығыздық та мақсаттың негізгі функционалдық көрсеткіштерінің бірі болып табылады.
Жіберу уақыты: 20.05.2022 ж