Магнетронды шашыратқыш жабынның мақсаттары туралы түсініктісіз бе? Енді сізбен магнетронды шашырату нысанасы туралы жалпы оймен бөлісейік.
Металл шашырату жабынының нысанасы, қорытпалы шашыратқыш жабынның нысанасы, керамикалық шашыратқыштың нысанасы, боридті керамикалық бүрку нысаны, карбидті керамикалық бүрку нысанасы, фторидті керамикалық бүрку нысаны, нитридті керамикалық бүрку нысаны, керамикалық оксидті нысана, селенидті керамикалық бүрку нысанасы, селенидті керамикалық бүрку нысанасы, силицидтер керамикалық шашырату нысанасы, теллуридті керамикалық шашырату нысанасы, басқа керамикалық нысаналар, хром қосылған кремний оксиді керамикалық нысана (CR SiO), индий фосфиді нысанасы (INP), қорғасын арсениді нысанасы (pbas), индий арсениді нысанасы (InAs).
Жоғары тазалық пен жоғары тығыздықтағы құрылыс мақсаттарына мыналар жатады:
Шашырату мақсаты (тазалық: 99,9% – 99,999%)
1. Металл нысана:
Никель нысанасы, Ni, титан нысанасы, Ti, мырыш нысанасы, Zn, хром нысанасы, Cr, магний нысанасы, Mg, ниобий нысанасы, Nb, қалайы нысанасы, Sn, алюминий нысаны, Al, индий нысанасы, in, темір нысаны, Fe, цирконий алюминий нысанасы, zral, титан алюминий нысанасы, TiAl, цирконий нысанасы, Zr, алюминий кремний нысанасы, AlSi, кремний нысаны, Si, мыс нысанасы, Cu, тантал нысанасы, t, a, германий нысанасы, Ge, күміс нысанасы, Ag, кобальт нысанасы, Co, алтын нысанасы, Au, гадолиний нысанасы, Gd, лантан нысанасы, La, иттрий нысанасы, y, церий нысанасы, CE, вольфрам нысанасы, Вт, тот баспайтын болаттан жасалған нысана, никель хром нысанасы NiCr, гафний нысанасы, HF, молибден нысанасы, Mo, темір никель нысанасы, FeNi, вольфрам нысанасы, Вт және т.б.
2. Керамикалық нысана
ITO нысанасы, магний оксиді нысанасы, темір оксиді нысанасы, кремний нитриді нысанасы, кремний карбиді нысанасы, титан нитриді нысанасы, хром оксиді нысанасы, мырыш оксиді нысанасы, мырыш сульфиді нысанасы, кремний диоксиді нысанасы, кремний оксиді нысанасы, церий оксиді нысанасы, цирконий нысанасы , ниобий пентоксиді нысана, титан диоксид нысанасы, цирконий диоксиді нысанасы, гафний диоксиді нысанасы, титан дибориді нысанасы, цирконий дибориді нысанасы, вольфрам триоксиді нысанасы, алюминий триоксиді нысанасы, тантал пентоксиді нысанасы, ниобий пентоксиді нысанасы, магний фториді нысанасы итрий фториді нысанасы, цинк кремний нитриді нысана, бор нитриді нысанасы, титан нитриді нысанасы, кремний карбиді нысанасы, литий ниобаты нысанасы, празеодим титанаты нысанасы, барий титанаты нысанасы, лантан титанаты нысанасы, никель оксиді нысанасы, шашыратқыш нысана және т.б.
Хабарлама уақыты: 23 мамыр 2022 ж