Нарық сұранысының артуына байланысты шашырату мақсаттарының көбірек түрлері үнемі жаңартылып отырады. Кейбіреулері таныс, ал кейбіреулері тұтынушыларға бейтаныс. Енді біз сіздермен магнетронды шашырату нысандарының түрлерімен бөліскіміз келеді.
Шашырату нысанасының келесі түрлері болады: металды шашыратқыш жабын нысанасы, қорытпалы шашыратқыш жабын нысаны, керамикалық бүріккіш жабын нысаны, боридті керамикалық бүрку нысанасы, карбидті керамикалық бүрку нысанасы, фторидті керамикалық бүрку нысанасы, нитридті керамикалық бүрку нысанасы, керамикалық қышқылды қышқылды бүрку нысанасы, , силицидті керамика шашырату нысанасы, сульфидті керамикалық бүрку нысанасы, теллуридті керамикалық шашырату нысанасы, басқа керамикалық нысаналар, хром қосылған кремний оксиді керамикалық нысана (CR SiO), индий фосфиді нысанасы (INP), қорғасын арсениді нысанасы (pbas), индий арсениді нысанасы (InAs).
Магнетронды шашырату әдетте екі түрге бөлінеді: тұрақты токтың шашырауы және РЖ шашыратқышы. Тұрақты токпен тозаңдату жабдығының жұмыс істеу принципі қарапайым, оның жылдамдығы металды шашыратқанда да жылдам. РЖ шашырату кеңінен қолданылады. Өткізгіш деректерді шашыратумен қатар, ол өткізбейтін деректерді де тарата алады. Сонымен қатар, шашырату нысанасы оксидтер, нитридтер және карбидтер сияқты құрама деректерді дайындау үшін реактивті шашыратуды жүзеге асырады. РЖ жиілігі жоғарыласа, ол микротолқынды плазманың шашырауына айналады. Қазіргі уақытта электронды циклотронды резонансты (ECR) микротолқынды плазмалық шашырау жиі қолданылады.
Хабарлама уақыты: 18 мамыр 2022 ж