Шашыратылған мақсатты материалдар пайдалану кезінде тазалық пен бөлшектердің өлшеміне ғана емес, сонымен қатар бөлшектердің біркелкі мөлшеріне де жоғары талаптар қояды. Бұл жоғары талаптар бізді шашыратқыш мақсатты материалдарды пайдалану кезінде көбірек назар аударуға мәжбүр етеді.
1. Шашыратуға дайындық
Вакуумдық камераның, әсіресе бүрку жүйесінің тазалығын сақтау өте маңызды. Майлау материалдары, шаң және алдыңғы жабындардың кез келген қалдықтары су сияқты ластаушы заттарды жинақтап, вакуумға тікелей әсер етіп, пленка түзілу ықтималдығын арттырады. Қысқа тұйықталу, нысана доғасы, кедір-бұдыр қабық түзетін беттер және шамадан тыс химиялық қоспалар әдетте таза емес бүрку камералары, қарулар және нысаналардан туындайды.
Қаптаманың композициялық сипаттамаларын сақтау үшін шашыратқыш газ (аргон немесе оттегі) таза және құрғақ болуы керек. Шашырату камерасына субстратты орнатқаннан кейін процеске қажетті вакуум деңгейіне жету үшін ауаны алу керек.
2. Мақсатты тазалау
Мақсатты тазалаудың мақсаты нысанның бетінде болуы мүмкін кез келген шаңды немесе кірді кетіру болып табылады.
3. Мақсатты орнату
Нысаналы материалды орнату процесінде назар аудару керек ең маңызды нәрсе - мақсатты материал мен бүріккіш пистолеттің салқындатқыш қабырғасы арасындағы жақсы жылу байланысын қамтамасыз ету. Салқындату қабырғасы немесе артқы тақта қатты қисық болса, ол мақсатты материалды орнату кезінде жарылып немесе майысып кетуі мүмкін. Артқы нысанадан мақсатты материалға жылудың берілуіне қатты әсер етеді, нәтижесінде шашырату кезінде жылуды тарата алмау, сайып келгенде, мақсатты материалдың крекингіне немесе ауытқуына әкеледі.
4. Қысқа тұйықталу мен тығыздағышты тексеру
Мақсатты материалды орнатқаннан кейін қысқа тұйықталуды және бүкіл катодтың тығыздалуын тексеру қажет. Катодтың қысқа тұйықталуын анықтау үшін омметр мен мегаомметрді пайдалану ұсынылады. Катодтың қысқа тұйықталмауын растағаннан кейін ағып кетудің бар-жоғын анықтау үшін катодқа суды айдау арқылы ағып кетуді анықтауға болады.
5. Шашырау алдындағы мақсатты материал
Мақсатты материалды алдын ала шашырату үшін таза аргон газын пайдалану ұсынылады, ол мақсатты материалдың бетін тазартады. Нысаналы материал үшін алдын ала бүрку процесі кезінде тозаңдату қуатын баяу арттыру ұсынылады. Керамикалық мақсатты материалдың күші
Хабарлама уақыты: 19 қазан 2023 ж