Вакуумдық жабын деп булану көзін вакуумда қыздыру және буландыру немесе жылдамдатылған иондық бомбалау арқылы шашырату және оны бір қабатты немесе көп қабатты пленка қалыптастыру үшін астар бетіне қоюды айтады. Вакуумды жабу принципі қандай? Келесі кезекте оны RSM редакторы бізге таныстырады.
1. Вакуумды булану жабыны
Булану жабыны бу молекулаларының немесе атомдарының булану көзінен және қапталатын субстрат арасындағы қашықтық жабын бөлмесіндегі қалдық газ молекулаларының орташа еркін жүру жолынан аз болуын талап етеді, осылайша жабынның бу молекулаларын булану субстрат бетіне соқтығыспай жетуі мүмкін. Пленканың таза және қатты екеніне көз жеткізіңіз, ал булану тотықпайды.
2. Вакуумды шашыратқыш жабын
Вакуумда үдетілген иондар қатты денемен соқтығысқанда бір жағынан кристал зақымдалады, екінші жағынан кристалды құрайтын атомдармен, ең соңында қатты дененің бетіндегі атомдармен немесе молекулалармен соқтығысады. сыртқа шашу. Шашыратылған материал жұқа қабықша түзу үшін субстратқа жағылады, оны вакуумды шашыратқыш қаптау деп атайды. Шашыратудың көптеген әдістері бар, олардың ішінде ең ертесі диодты шашырату болып табылады. Әртүрлі катодтық мақсаттарға сәйкес оны тұрақты ток (тұрақты ток) және жоғары жиілікті (RF) бөлуге болады. Нысаналы бетке ионның әсерінен шашыраған атомдар саны шашырау жылдамдығы деп аталады. Жоғары шашырау жылдамдығымен пленка түзілу жылдамдығы жылдам. Шашырату жылдамдығы иондардың энергиясы мен түріне және мақсатты материал түріне байланысты. Жалпы айтқанда, адамның иондық энергиясының жоғарылауымен шашырау жылдамдығы артады, ал бағалы металдардың шашырау жылдамдығы жоғары.
Жіберу уақыты: 14 шілде 2022 ж