Біз қазір мақсатты жақсы білуіміз керек, қазір мақсатты нарық та өсіп келеді, RSM редакторы бөліскен шашырату мақсатының негізгі өнімділігі мынада.
Тазалық
Мақсатты материалдың тазалығы негізгі көрсеткіштердің бірі болып табылады, өйткені мақсатты материалдың тазалығы жұқа қабықшаның өнімділігіне үлкен әсер етеді. Дегенмен, практикалық қолдануда мақсатты материалдардың тазалық талаптары бірдей емес. Мысалы, микроэлектроника өнеркәсібінің қарқынды дамуымен кремний чипінің өлшемі 6 ", 8" -ден 12 "-ге дейін жетілді, ал сымдардың ені 0,5 мм-ден 0,25 мм, 0,18 мм немесе тіпті 0,13 мм-ге дейін қысқарды. Бұрын 99,995% мақсатты материалдың тазалығы 0,35umIC процесс талаптарына жауап бере алады. Мақсатты материалдың тазалығы 0,18um желілерін дайындау үшін 99,999% немесе тіпті 99,9999% құрайды.
Қоспаның мазмұны
Мақсатты қатты заттағы қоспалар және кеуектердегі оттегі мен су буы пленка тұндыруының негізгі ластаушы көздері болып табылады. Әртүрлі мақсаттарға арналған мақсатты материалдардың әртүрлі қоспалар құрамы үшін әртүрлі талаптары бар. Мысалы, жартылай өткізгіш өнеркәсібінде қолданылатын таза алюминий мен алюминий қорытпасының нысаналары құрамында сілтілі металдар мен радиоактивті элементтерге ерекше талаптар қойылады.
тығыздығы
Мақсатты қатты заттың кеуектілігін азайту және шашыратқыш пленканың жұмысын жақсарту үшін әдетте нысананың жоғары тығыздығы қажет. Нысананың тығыздығы тек шашырау жылдамдығына ғана емес, сонымен қатар пленканың электрлік және оптикалық қасиеттеріне де әсер етеді. Мақсатты тығыздық неғұрлым жоғары болса, фильм өнімділігі соғұрлым жақсы болады. Сонымен қатар, нысананың тығыздығы мен беріктігін арттыру нысананы шашырату процесіндегі термиялық кернеуге жақсырақ төтеп береді. Тығыздық сонымен қатар мақсатты көрсеткіштердің негізгі көрсеткіштерінің бірі болып табылады.
Дәннің мөлшері және дән мөлшерінің таралуы
Мақсат әдетте микрометрден миллиметрге дейінгі түйір өлшемі бар поликристалды. Дәл сол нысана үшін ұсақ түйіршіктері бар нысананың шашырау жылдамдығы ірі дәндері бар нысанаға қарағанда жылдамырақ. Түйіршік өлшемдерінің айырмашылығы азырақ (біркелкі бөлу) шашырату нысанасы арқылы тұндырылған пленкалардың қалыңдығының таралуы біркелкі болады.
Жіберу уақыты: 04 тамыз 2022 ж