Шашыратылған молибден нысандары өздерінің артықшылықтарына байланысты электроника өнеркәсібінде, күн батареяларында, шыны жабындарында және басқа салаларда кеңінен қолданылды. Миниатюризация, интеграция, цифрландыру және интеллект саласындағы заманауи технологиялардың қарқынды дамуымен молибден мақсаттарын пайдалану арта береді және оларға қойылатын сапа талаптары да жоғары болады. Сондықтан біз молибденді пайдалану деңгейін арттыру жолдарын іздеуіміз керек. Енді RSM редакторы барлығы үшін шашыратқыш молибден нысандарын пайдалану жылдамдығын жақсартудың бірнеше әдістерін енгізеді.
1. Артқы жағына электромагниттік катушка қосыңыз
Шашыратылған молибден нысанасын пайдалану жылдамдығын жақсарту үшін жазық Магнетронды шашыратқыш молибден нысанасының кері жағына электромагниттік катушка қосуға болады, ал молибден нысанасының бетіндегі магнит өрісін ток күшін арттыру арқылы арттыруға болады. молибден нысанасын пайдалану жылдамдығын жақсарту үшін электромагниттік катушка.
2. Түтік тәрізді айналмалы мақсатты материалды таңдаңыз
Тегіс нысаналармен салыстырғанда құбырлы айналмалы нысананы таңдау оның маңызды артықшылықтарын көрсетеді. Әдетте, тегіс нысаналарды пайдалану деңгейі тек 30% - 50% құрайды, ал құбырлы айналмалы нысаналарды пайдалану жылдамдығы 80% жетуі мүмкін. Сонымен қатар, айналмалы қуыс түтік Магнетронды шашыратқыш нысананы пайдаланған кезде, нысан бекітілген жолақ магниттер жинағының айналасында үнемі айнала алатындықтан, оның бетінде қайта тұнба болмайды, сондықтан айналмалы нысананың қызмет ету мерзімі әдетте 5 еседен астам ұзағырақ болады. ұшақ нысанасына қарағанда.
3. Жаңа бүрку жабдығымен ауыстырыңыз
Мақсатты материалдарды пайдалану коэффициентін жақсартудың кілті тозаңдатқыш жабдықтарды ауыстыруды аяқтау болып табылады. Молибденді шашыратқыш материалды шашырату процесінде шашыратқыш атомдардың шамамен алтыдан бір бөлігі сутегі иондарымен соқтығысқаннан кейін вакуум камерасының қабырғасына немесе кронштейнге шөгеді, бұл вакуумдық жабдықты тазалау құнын және тоқтап қалуды арттырады. Сонымен, жаңа шашыратқыш жабдықты ауыстыру, сонымен қатар молибденді шашырату нысандарын пайдалану жылдамдығын жақсартуға көмектеседі.
Хабарлама уақыты: 24 мамыр 2023 ж